【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶直拉生长过程中热场排气
，更具体的说，它涉及热场应用石墨导气套。技术背景 在单晶直拉生长工业生产中，参看图l，现有的热场排气系统，在带走高温挥发的 氧化物的同时，也会对热场中的下炉筒1和定位环2以及真空管道的表面进行冲刷和氧化， 给这些设备带来巨大的伤害，造成整个设备漏气
技术实现思路
本技术为克服现有技术的不足，提供一种结构简单，易于加工制造，使用效果 好的热场应用石墨导气套。 本技术提供的热场应用石墨导气套，其特征在于，该石墨导气套为中空筒体 结构，在所述石墨导气套的外套壁上设置有一定位圈。 本技术的石墨导气套的密度为1. 65 1. 75g/cm3，抗压强度为50 80MPa， 灰份含量小于20PPm，熔点在1420。C以上。 将本技术的石墨导气套安装在热场排气系统中，可以明显增强现有热场的使 用寿命，如从原来的120炉增加到了 150炉，节约了成本，同时可以避免氧化物高温带来的 灼伤，并且防止氧化物沉积于热场管道中，使排气更加顺畅。附图说明 以下结合附图和具体实施方式来进一步说明本技术。图1为现有单晶直拉生长工业生产中热场排气系统一个示例图。图2为本技术热场应用石墨导气套安装在热场排气系统中的一个示例结构图。具体实施方式 为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。 本技术为解决现有的热场排气系统，在带走高温挥发的氧化物的同时，也会 对热场和真空管道带来巨大的伤害的问题，而采用如图2所示的一种耐高温高压起热场防 护与气流排放作用的石墨导气套3。该石墨导气套3为一中空结构，...
【技术保护点】
热场应用石墨导气套，其特征在于，该石墨导气套为中空筒体结构，在所述石墨导气套的外套壁上设置有一定位圈。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李晶，
申请(专利权)人：上海申和热磁电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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