【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种功能性溶液供给系统,该系统是通过电解硫酸溶液来制造功能性溶液并供给至使用侧的功能性溶液供给系统,其特征在于, 该系统包括用于贮留硫酸溶液的贮留槽、用于电解硫酸溶液的电解装置、用于对硫酸溶液加温的加温单元、用于冷却硫酸溶液的冷却单元、以及下述的3个循环线路; (1)第一循环管路,该第一循环管路不经由所述加温单元、而是经由所述电解装置将从所述贮留槽排出的硫酸溶液返回至所述贮留槽; (2)第二循环管路,该第二循环管路不经由所述加温单元、而是依次经由所述冷却单元和所述贮留槽将从所述使用侧导入的硫酸溶液返回至所述使用侧; (3)第三循环管路,该第三循环管路不经由所述冷却单元和所述贮留槽、而是经由所述加温单元将从所述使用侧导入的硫酸溶液返回至所述使用侧。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:内田稔,永井达夫,山川晴义,
申请(专利权)人:栗田工业株式会社,
类型:发明
国别省市:JP
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