双层槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双层槽，包括：固定在设备上的外槽和活动套装在外槽内的内槽，所述的外槽和内槽之间设置有空腔，外槽底部设置有排液口。本实用新型专利技术设计的双层槽有效地提高了设备使用的可靠性和安全性。此外，内槽可取出，便于槽体的维护和更换，更利于化学处理工艺的调整。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学处理设备，尤其涉及一种用于硅材料酸碱处理设备 中的双层槽。
技术介绍
在硅片、硅料与硅芯处理中，经常涉及酸或碱处理工序，这些工序大都在 槽中处理。在槽式化学处理过程中，槽体时有漏液现象，为了不使槽内溶液， 特别是化学药液，漏至设备底板或设备外，损坏设备内元件或影响设备操作 环境，保证人身的安全，需要对现有槽设备进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有槽设备在酸或碱处理工作区易于漏液，污 染环境，损坏设备的缺陷，提供一种双层槽结构，其能提高设备使用的可靠 和安全性。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是设计一种双层槽， 包括固定在设备上的外槽和活动套装在外槽内的内槽，所述的外槽和内槽 之间设置有空腔，外槽底部设置有排液口。所述的外槽与设备做成一体，所述的内槽槽口周边设置有向外伸出搭接 放置在外槽槽口上的边缘。在本技术的一个较佳实施例中，所述的外槽和内槽采用相互配合的 方形槽，外槽侧壁向下伸出支撑在设备底部，外槽的底部与设备的底部间隔 一段距离。与现有技术相比，本技术将槽体设计成内、外槽结构，内槽为工作 处理区域，外槽用于内槽漏液的接收和排放。有效地提高了设备使用的可靠 行和安全性。此外，内槽可取出，便于槽体的维护和更换，更利于化学处理 工艺的调整。以下结合附图和实施例对本技术做进一步的说明附图说明图1为本技术一实施例的正面剖^L图； 图2为图1所示实施例的侧面剖视图。具体实施方式如图1和图2所示，本技术设计的双层槽结构包括固定在设备上 的外槽l和活动套装在外槽内的内槽2,所述的外槽和内槽之间设置有空腔， 外槽底部设置有排液口。内槽为工作处理区域，可以从外槽中取出。外槽完 全套住内槽，用于内槽漏液的接收和排放。外槽1可以与设备^f故成一体，也 可以单独成型后安装在设备上。内槽2槽口周边设置有向外伸出搭接放置在 外槽槽口上的边缘3。在该实施例中，外槽1和内槽2采用相互配合的方形槽，内槽顶部槽口 与外槽搭接，外槽侧壁向下伸出支撑在设备底部，外槽的底部与设备的底部 间隔一段距离。本技术设计的双层槽在化学处理过程中，避免了槽体内的液体漏出 损坏设备和伤及人的现象，有效地提高了设备使用的可靠性和安全性。此外， 内槽可取出，便于槽体的维护和更换，更利于化学处理工艺的调整。上述公开的具体实施例仅用于说明本技术，在本技术的构思下， 还可以有多种变化，这些变化应该涵盖在本技术权利要求的保护范围之 内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双层槽，其特征在于包括：固定在设备上的外槽和活动套装在外槽内的内槽，所述的外槽和内槽之间设置有空腔，外槽底部设置有排液口。

【技术特征摘要】
1、一种双层槽，其特征在于包括固定在设备上的外槽和活动套装在外槽内的内槽，所述的外槽和内槽之间设置有空腔，外槽底部设置有排液口。2、 如权利要求1所述的双层槽，其特征在于所述的外槽与设备做成一 体，所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，黄进权，
申请(专利权)人：深圳市捷佳创精密设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]