麦克风单元制造技术

一种麦克风单元（２），包括：麦克风基板（１３）；以及具有振动板（２２）的分隔单元（２０）。麦克风基板（１３）具有第一基板开口（１４）和第二基板开口（１５）。分隔单元（２０）覆盖第一基板开口（１４）并且振动板（２２）覆盖第一基板开口（１４）的一部分，以形成内部空间，该内部空间至少包括形成在麦克风基板（１３）中的基板内单元空间（１２），并且通过第一基板开口（１４）和第二基板开口（１５）与振动板（２２）的外部连通。这实现了这样一种麦克风单元，其中高密度地安装由单个振动板配置的差分麦克风。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种麦克风单元。
技术介绍
在通过电话等进行的通信、声音识别、声音记录等中，优选仅收集目标声音(讲话 者的声音)。然而，在声音输入装置的使用环境中，有时除了目标声音之外还会有例如背景 噪声之类的声音。因此，正在推进这样一种声音输入装置的发展，该声音输入装置即使在将 装置用于有噪声的环境中的情况下也允许准确提取目标声音，即，具有去除噪声的功能。此外，近年来，电子装置变得越来越小，从而用于缩小声音输入装置尺寸的技术变 得越来越重要。专利文献JP-A-2007-81614
技术实现思路
本专利技术要解决的问题作为抑制远处噪声的一种近讲麦克风(close-talking microphone)，公知一种差 分麦克风(differential microphone)，其产生并使用表示来自两个麦克风的电压信号之 间的差的差分信号。然而，由于使用了两个麦克风，因此难以通过高密度地安装差分麦克风 (即，通过在小区域中安装差分麦克风)来减小麦克风单元的尺寸。已经考虑到上述情形而作出了本专利技术，并且本专利技术的目的是提供一种麦克风单 元，其通过高密度地安装差分麦克风来减小尺寸。用于解决问题的方法(1)根据本专利技术的麦克风单元是这样一种麦克风单元，其包括麦克风基板和具有 振动板的分隔部；并通过作用于所述振动板的两个表面上的声压之间的差使所述振动板振 动，从而将输入声波转换成电信号；其中，所述麦克风基板具有被设置在一个表面上的第一基板开口部和第二基板开口 部；所述分隔部覆盖所述第一基板开口部；所述振动板覆盖所述第一基板开口部的至少一部分；以及形成一内部空间，所述内部空间为至少包括形成在所述麦克风基板内部的基板内 部空间的空间；并且通过所述第一基板开口部和所述第二基板开口部使所述振动板与外部 连通。分隔部可形成为所谓的MEMS(微机电系统)。此外，振动板可为这样一种物体， 其使用无机压电薄膜或有机压电薄膜通过压电效应执行声-电转换；或可为驻极体膜 (electret film)。此外，麦克风基板可由绝缘模制材料、烧结陶瓷、玻璃环氧树脂、塑料等 制成。根据本专利技术，可以实现这样一种麦克风单元，其中高密度地安装由振动板组成的差分麦克风。(2)在麦克风单元中，基板内部空间可沿在两端包括所述第一基板开口部和所述 第二基板开口部的区域的竖直方向设置。(3)麦克风单元包括盖部，该盖部被放在所述麦克风基板的一个表面侧 (one-surface side)上；其中所述盖部具有第一盖部开口部、第二盖部开口部、第三盖部开口部、第四盖部开 口部、第一盖部内部空间以及第二盖部内部空间，其中所述第一盖部内部空间将所述第一 盖部开口部和所述第二盖部开口部彼此连接，所述第二盖部内部空间将所述第三盖部开口 部和所述第四盖部开口部彼此连接；所述第一盖部内部空间通过所述第一盖部开口部与外部连通，并通过所述第二盖 部开口部与所述内部空间连通；以及所述第二盖部内部空间通过所述第三盖部开口部与外部连通，并可以至少在部分 的所述第四盖部开口部处通过分隔部与所述内部空间分隔。(4)在麦克风单元中，可通过以形成所述基板内部空间的方式将多个基板彼此贴 附而形成所述麦克风基板。(5)在麦克风单元中，所述麦克风基板具有设置在另一表面上的第三基板开口部； 并且除了所述第一基板开口部和所述第二基板开口部之外，所述内部空间还可通过所 述第三基板开口部将所述振动板与外部彼此连接。(6)在麦克风单元中，所述基板内部空间可沿所述第三基板开口部的竖直方向设置。(7)麦克风单元包括配线基板；其中所述配线基板设置在所述麦克风基板的另一表面侧上，并且接合到所述另一表面 侧以覆盖所述第三基板开口部。(8)在麦克风单元中，从所述第一盖部开口部到所述振动板的声波抵达时间与从 所述第三盖部开口部到所述振动板的声波抵达时间可以彼此相等。(9)麦克风单元可包括信号处理电路，所述信号处理电路设置在所述麦克风基板 的一个表面侧上并设置在所述第二盖部内部空间中。附图说明图IA为示出根据第一实施例的麦克风单元的结构的视图。图IB为用于描述根据第一实施例的麦克风单元的操作的剖面图。图2A为示出根据第一实施例的麦克风单元的麦克风基板的结构性实例的视图， 即，为示出通过将两个基板彼此贴附(attach)而形成的麦克风基板的下基板的结构的示 意性平面图。图2B为示出根据第一实施例的麦克风单元的麦克风基板的结构性实例的视图， 即，为示出通过将两个基板彼此贴附而形成的麦克风基板的上基板的结构的示意性平面 图。图3为示意性示出电容型麦克风的结构的剖面图。4图4A为示出根据第二实施例的麦克风单元的结构的视图。图4B为用于描述根据第二实施例的麦克风单元的操作的剖面图。图5A为示出根据第二实施例的麦克风单元的麦克风基板的结构性实例的视图， 即，为示出通过将三个基板彼此贴附而形成的麦克风基板的下基板的结构的示意性平面 图。图5B为示出根据第二实施例的麦克风单元的麦克风基板的结构性实例的视图， 即，为示出通过将三个基板彼此贴附而形成的麦克风基板的中间基板的结构的示意性平面 图。图5C为示出根据第二实施例的麦克风单元的麦克风基板的结构性实例的视图， 即，为示出通过将三个基板彼此贴附而形成的麦克风基板的上基板的结构的示意性平面 图。图6为示出根据第二实施例的麦克风单元的麦克风基板的另一结构性实例的视 图。图7A为示出根据第三实施例的麦克风单元的结构的视图。图7B为用于描述根据第二实施例的麦克风单元的操作的剖面图。图8A为示出根据第三实施例的麦克风单元的麦克风基板的结构性实例的视图， 即，为示出通过将两个基板彼此贴附而形成的麦克风基板的下基板的结构的示意性平面 图。图8B为示出根据第三实施例的麦克风单元的麦克风基板的结构性实例的视图， 即，为示出通过将两个基板彼此贴附而形成的麦克风基板的上基板的结构的示意性平面 图。图9A为示出根据第四实施例的麦克风单元的结构的视图。图9B为用于描述根据第四实施例的麦克风单元的操作的剖面图。图IOA为示出根据第五实施例的麦克风单元的结构的视图。图IOB为用于描述根据第五实施例的麦克风单元的操作的剖面图。图IlA为示出根据第六实施例的麦克风单元的结构的视图。图IlB为用于描述根据第六实施例的麦克风单元的操作的剖面图。其中，附图标记说明如下1-6麦克风单元10、13、16麦克风基板11基板开口部12基板内部空间14第一基板开口部15第二基板开口部17第三基板开口部20分隔部22振动板24保持部30配线基板31-32 电极33密封部40 盖部41第一盖部开口部42第二盖部开口部43第三盖部开口部44第四盖部开口部45第一盖部内部空间46第二盖部内部空间50信号处理电路200电容型麦克风202振动板204 电极具体实施例方式在下文中，将参照附图对应用本专利技术的各个实施例进行描述。然而，本专利技术不限于 下述这些实施例。此外，本专利技术覆盖了下述内容的自由组合。此处，在下文中描述的麦克风单元可应用于例如声音通信装置(例如移动电话、 公用电话、收发机、耳机等)，或可应用于记录装置、放大系统(扩音器)、麦克风系统等。1.根据第一实施例的麦克风单元参照图1A、图1B、图2A、图2B以及图3来描述根据第一实施例的麦克风单元1的结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种麦克风单元，包括麦克风基板和具有振动板的分隔部；并通过作用于所述振动板的两个表面上的声压之间的差使所述振动板振动，从而将输入声波转换成电信号；其中，所述麦克风基板具有设置在一个表面上的第一基板开口部和第二基板开口部；所述分隔部覆盖所述第一基板开口部；所述振动板覆盖所述第一基板开口部的至少一部分；以及形成一内部空间，所述内部空间为至少包括形成在所述麦克风基板内部的基板内部空间的空间，并且通过所述第一基板开口部和所述第二基板开口部将所述振动板与外部连通。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2008-2-8 2008-029572一种麦克风单元，包括麦克风基板和具有振动板的分隔部；并通过作用于所述振动板的两个表面上的声压之间的差使所述振动板振动，从而将输入声波转换成电信号；其中，所述麦克风基板具有设置在一个表面上的第一基板开口部和第二基板开口部；所述分隔部覆盖所述第一基板开口部；所述振动板覆盖所述第一基板开口部的至少一部分；以及形成一内部空间，所述内部空间为至少包括形成在所述麦克风基板内部的基板内部空间的空间，并且通过所述第一基板开口部和所述第二基板开口部将所述振动板与外部连通。2.根据权利要求1所述的麦克风单元，其中所述基板内部空间沿在两端包括所述第一 基板开口部和所述第二基板开口部的区域的竖直方向设置。3.根据权利要求1所述的麦克风单元，还包括盖部，所述盖部被放在所述麦克风基板 的一个表面侧上；其中所述盖部包括第一盖部开口部、第二盖部开口部、第三盖部开口部、第四盖部开口部、 第一盖部内部空间以及第二盖部内部空间，其中所述第一盖部内部空间将所述第一盖部开 口部和所述第二盖部开口部彼此连接，所述第二盖部内部空间将所述第三盖部开口部和所 述第四盖部开口部彼此连接；所述第一盖部内部空间通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中史记，堀边隆介，猪田岳司，高野陆男，杉山精，福冈敏美，小野雅敏，
申请(专利权)人：船井电机株式会社，株式会社船井电机新应用技术研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]