新型动力传动输电式高压隔离联动轴制造技术

本发明专利技术公开了一种动力传动输电式高压隔离联动轴，涉及一种电位隔离和电力传输装置，特别地涉及一种用于离子注入机中从市电向高电位工作区的动力传动输电式高压隔离装置，属于半导体设备领域。此装置中的绝缘传动轴采用环氧玻璃纤维材料，提高了高压隔离联动轴的刚度和绝缘特性，提高了离子注入机的可靠性。该装置包括：一前端轴１、两连轴器２、一绝缘传动轴３、一后端轴４，所述的其前端轴１通过连轴器２与绝缘传动轴３一端相连，绝缘传动轴３另一端通过另一连轴器２与其后端轴４连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电位隔离和电力传输装置，特别地涉及一种用于离子注入机中从 市电向高电位工作区的动力传动输电式高压隔离装置，属于半导体设备领域。
技术介绍
离子注入机属于粒子加速器的一种，有部分设备处在高电位工作区，其电位与粒 子的加速能量有关，但从普通市电向高电位设备供电的过程却将带来两级不同电位之间的 绝缘问题。目前，动力传动输电式高压隔离装置的应用解决了高压隔离问题，但此装置在高 速旋转和电压差很大的情况下，就要求绝缘传动轴具有很高的刚度和很好的绝缘特性。提 高整个联动轴装置运行的平稳度，克服由绝缘传动轴在高速旋转过程中由于材料刚度不够 产生扭摆，导致振动。为了解决这些问题，必须对绝缘传动轴进行新的设计和采用新型的材 料。
技术实现思路
本专利技术即是针对上述现有技术中的缺点而提出的一种结构简单、工作可靠的联动 轴装置。一种动力传动输电式高压隔离联动轴，此处对高压隔离联动轴的绝缘传动轴进行 新的专利技术设计，采用环氧玻璃纤维材料制作而成。本专利技术专利采用如下技术方案来实现前端轴1通过连轴器2与绝缘传动轴3 — 端相连，绝缘传动轴3另一端通过另一连轴器2与一后端轴4相连，如图1。本专利技术具有如下显著优点1.应用环氧玻璃纤维绝缘材料对绝缘传动轴进行改进，提高了绝缘传动轴的刚性 和绝缘特性，在高速运转中不会有扭摆现象；2.应用这种环氧玻璃纤维绝缘材料使得绝缘传动轴长度加大，因此隔离空间加 大，也使得绝缘特性增强；3.提高了注入机在工作中稳定性和可靠性。 附图说明图1为本专利技术的动力传动输电式高压隔离联动轴的结构图。 具体实施例下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步介绍，但不作为对本专利技术的限定。图1中包含一前端轴1、两连轴器2、一绝缘传动轴3、一后端轴4，其中，前端轴1 通过连轴器2与绝缘传动轴3 —端相连，绝缘传动轴3另一端通过另一连轴器2与后端轴4 连接，绝缘传动轴3采用环氧玻璃纤维绝缘材料，实现前后两级电位的绝缘。此处采用环氧 玻璃纤维，解决了绝缘传动轴因刚度或绝缘特性不好所带来的问题。此材料刚度大在高速 旋转中不会有断裂和扭摆的问题，绝缘好不会被高压电势击穿，实现了此装置的安全运行，为注入机的正常运行提供了保障。绝缘传动轴3实现了两级电位之间的绝缘，在本实施例中，连轴器2选用柔性连轴 器，有利于降低传动轴之间的同轴度要求，降低安装难度。本专利技术的特定实施例已对本专利技术的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而 言，在不背离本专利技术精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利 的侵犯，将承担相应的法律责任。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种动力传动输电式高压隔离联动轴装置，是对绝缘传动轴进行材料的改进，采用环氧玻璃纤维材料，此装置包括：一前端轴１、两连轴器２、一绝缘传动轴３、一后端轴４，其特征在于：（１）此绝缘传动轴采用环氧玻璃纤维材料制作而成，具有很高的刚度和绝缘特性；（２）所述的前端轴１通过连轴器２与绝缘传动轴３一端相连，绝缘传动轴３的另一端通过另一连轴器２与一后端轴４相连。

【技术特征摘要】
1. 一种动力传动输电式高压隔离联动轴装置，是对绝缘传动轴进行材料的改进，采用 环氧玻璃纤维材料，此装置包括一前端轴1、两连轴器2、一绝缘传动轴3、一后端轴4，其特 征在于(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡东京，罗宏洋，彭立波，许波涛，胡振东，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]