低温泵网络制造技术

一种真空网络控制系统包含多个节点，其建构成用于控制该系统的操作过程。该多个节点以一个网络环或其它拓朴建构，作为一个用于控制操作过程的可选择的主节点。控制能够分散于及传通于每一个节点之间。该网络上的每一个节点监视相邻网络连接器，以侦测该网络上一个错误。为了回应于一个侦测出的错误，一个断接映像至该错误，且该网络拓朴为重新建构，以用于节点之间及与外部装置的持续通讯。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】低温泵网络相关申请案本申请案主张于2008年1月22日提申的美国临时申请案第 61/011，819号的权利。所述申请案的整体教示以引用方式纳入本文中。
技术介绍
一个低温真空系统典型地包含至少一个低温真空泵(低温泵，cryopump)及至少 一个压缩器，其用于提供压缩的氦至该低温泵。该系统亦通常包含其它构件，诸如粗抽泵、 水泵(单级低温泵)、涡轮泵、隔离阀及量器。这些构件一起操作以提供真空给一个较广系 统，诸如一个用于半导体处理的群集工具。一个群集工具包含一个工具主控制器，其提供对于该群集工具内所有系统的上层 控制。该工具包含一系列用于实施各种半导体制造过程的处理室，诸如晶圆蚀刻、化学或电 浆气相沉积、氧化、烧结、除气、晶圆传送及退火。这些过程通常是于个别的室之内实施，每 一个室可以包含该低温真空系统的一个低温泵。除了低温泵之外，一个传统的真空系统典型地是包含一个网络接口终端，其作为 该系统内的该工具主控制器及低温泵的网络之间的接口。其它真空系统构件，诸如粗抽泵、 压缩器、量器、水泵、涡轮分子泵与门阀典型地是与该工具主控制器连接，以允许该工具主 控制器发出命令，以控制这些构件的操作。
技术实现思路
本专利技术的实施例是提供一种真空控制网络，其包含多个节点，该些节点包含一或 多个低温泵、压缩器、其它真空泵及相关装置。于节点对之间的网络环片段形成一个具有该 多个节点的环，藉此能够通过该环的节点间通讯。一个位于该些节点的一处或该些节点外 部处的网络控制器管理该网络，使得仅一个单一路径连接任两个节点，且其亦决定是否一 个错误已经于该些环片段的一处或于该些节点的一处发生。根据一个侦测出的错误，网络 环片段能够被致能及禁能，以重新建构该网络的拓朴，藉此致能所有网络节点之间的持续 通讯。在本专利技术的进一步的实施例中，网络环片段可以被禁能或致能，而不受该网络连 接器的整体性控制，举例而言，藉由禁能一个不危及的网络环片段连接器。于禁能网络环片 段中，实际网络环可以形成一个虚拟“总线”。一个先前禁能的网络环片段可以被致能，以运 送于另一个网络环片段或节点处一个错误之后的通讯。该些节点的每一个可以被建构成监 视及侦测相邻网络环片段及节点的错误，向一个共同节点或网络控制器报告这些错误。于一个进一步的实施例中，至少一个节点可以可通讯地连接至一个个别真空网络 控制器，以通过横跨该真空控制网络的通讯而控制真空泵及其它构件。为了提供额外的错 误复原，一个冗余讯号路径可以被设置，以连接一个额外的节点及该真空网络控制器。进一步的冗余保护是于一个实施例中达成，该实施例包含自该真空控制网络至该 工具主控制器或一个连接至该工具主控制器的集线器或类似装置的冗余通讯路径。于又一个进一步实施例中，该网络之一或多个节点可以包含逻辑电路，其是用于(或建构成用于)起始、控制及管理真空控制系统的操作过程，诸如氦管理；控制安全互锁 及协调低温泵的群组再生及涡轮分子泵的粗及净化控制。该些节点的每一个可以因此操 作作为一个过程主控器，控制位于本地且该网络的其它节点处的真空构件间的一组操作过 程。因此，每一个过程主节点可以确保控制对于构成操作及管理该真空控制系统的整个过 程的一部分的一组过程。于分配如此的功能中，一或多个节点可以建构成协调其它节点的 操作，举例而言，藉由控制或分配氦供应至一个节点或自一个节点供应而来及控制接取一 个真空歧管，以用于一个低温泵节点的再生。一个特别的节点可以建构成操作作为真空网 络管理器，其监视及控制该网络的操作及组态。于另一个实施例中，一个单一节点可以被选择作为一个“超级节点”，以用于控制 其它节点的过程。当作为该真空系统控制器的超级节点显示一个错误情况或者自该真空控 制网络移除时，控制的责任被传送至该网络上另一个节点，其被选择作为一个继任超级节 点。类似地，于一个包含多个过程主控器的实施例中，当该第一过程主控节点显示一个错误 或变成不能使用时，对于一组操作过程的责任可以自一个第一过程主控节点传送至一个第 二过程主控节点。另一个实施例是在包含以太网络环、星形及总线组态的拓朴中控制节点的错误之 后使用真空网络控制自一个节点传送至另一个节点。一个另外的实施例是包含该构件监视服务器及该真空网络上的节点之间的冗余 连接，以用于附加的错误容许。另一个实施例包含用于一个或多个真空构件是位于一或多个与该真空构件的其 余构件不同的集线器上的组态的错误容许，诸如一个子组构中的一个压缩器。错误容许是 透过其它项目冗余连接至不同的集线器及真空网络控制器监视及控制指定通讯片段至集 线器而达成。附图说明由显示于后附图式的本专利技术的示范性实施例的更特定叙述，本案将为显明的，其 中，类似的组件符号于不同的图中是指相同的组件。这些图不需要依比例绘制，反而是强调 显示本专利技术的实施例。图1为一个采用一个真空泵网络的系统的示意图；图2为一个采用一个具有一个总线组态的真空泵网络的系统的示意图；图3为一个具有一个以太网络环组态的真空控制系统的示意图，其为示范本专利技术 的一个实施例；图4a至b显示在一个网络环片段错误之前或期间一个具有一个以太网络环的真 空控制系统；图5a至c为显示于图4的真空泵系统的节点的过程的流程图；图6为一个显示图4的真空泵系统的节点处及节点之间的过程及通讯的暂时状态图；图7为一个具有一个星形拓朴内的节点的错误容许的真空控制系统的示意图。具体实施例方式本专利技术的示范性实施例的说明如下。图1为一个采用一个真空泵网络18的典型的先前技术真空系统的示意图。采用 如此的网络的示范性真空系统在标题为“真空系统信息网络”的美国专利第6，671，583号 中提出，其整体以参照方式并入本文。一个网络接口终端(Network Interface Terminal, NIT) 12通过该网络18连接至一个群集工具内的一或多个泵。图1所示的系统包含各种泵， 包含一个低温泵20、一个水泵22及一个涡轮及水泵的组合24。除此之外，该网络接口终端12通过一个RS-232连结6而与一个工具主控制器4 接口连接。该网络接口终端12亦能够通过一个中央控制链路10而连接至诸如一个中央控 制站8的其它系统，且通过一个服务链路14而连接至一个服务终端16。该网络接口终端12仅支持具有一个适当的网络通讯接口的真空构件。不能够连 接至该网络接口终端12的第三方传感器必须被直接连接至该工具主控制器4，因而对于工 具主控制器4放置更多负担。图2为一个先前技术已知的第二真空系统30的一个示意图。一个真空网络控制 器(VNC)34取代图1的网络接口终端12的位置。一个真空网络控制器更完全叙述于标题 为“真空网络控制器”的美国专利第6，272，400号中提出，其整体是以参照方式并入本文。 该真空网络控制器34通过一个工具通讯链路32而与工具主控制器4通讯，工具通讯链路 32不受限于只为图1的连结6的RS-232。使用一个弹性的通讯接口 40，该真空网络控制器 34通过各种协议的任一个而与一个中央控制站8通讯。于图2的显示系统中，该真空网络 控制器34亦与一个制造设备网络36及一个服务器38作接口连接。该真空网络控制器34通过一个菊链串行总线42，诸如一个BitBus，而与多个真空 泵20、22、24、44及其它构件通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空控制网络系统，其具有多个节点，该系统包含：一个第一节点，其包含一个第一低温泵及一个第一网络通讯接口；及一个第二节点，其包含一个第二网络通讯接口，该第二节点建构成控制该第一低温泵处的过程。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2008-1-22 61/011,819一种真空控制网络系统，其具有多个节点，该系统包含一个第一节点，其包含一个第一低温泵及一个第一网络通讯接口；及一个第二节点，其包含一个第二网络通讯接口，该第二节点建构成控制该第一低温泵处的过程。2.如权利要求1所述的系统，其中，该第二节点进一步包含一个第二低温泵，且该第一 节点建构成控制该第一低温泵及该第二低温泵处的过程。3.如权利要求2所述的系统，其中，该网络内的多个节点的每一个建构成控制该网络 的其它节点的过程，且被选择作为一个主控器。4.如权利要求3所述的系统，其进一步包含一个网络主机，该网络主机建构成选择该 第一及第二节点之一作为一个主控器。5.如权利要求4所述的系统，其中，该网络主机于侦测到主机节点处的一个错误时，指 定该第一及第二节点的另一个作为主控节点。6.如权利要求3所述的系统，其中，该多个节点的每一个彼此仲裁，以选择一个主控器。7.如权利要求3所述的系统，其中，一个单一节点被选择作为一个主控器，该主控器为 一个超级节点。8.如权利要求7所述的系统，其中，于侦测到该超级节点的一个错误时，该多个节点的 其它节点彼此仲裁，以选择一个继任超级节点。9.如权利要求3所述的系统，其中，多个节点可被选择作为过程主控器。10.如权利要求9所述的系统，其中，该第一及第二节点被选择作为过程主控器，该第 一节点控制一个与该第一及第二低温泵相关的第一组过程，该第二节点控制一个与该第一 及第二低温泵相关的第一组过程，该第一组包含至少一个与该第二组不同的过程。11.如权利要求10所述的系统，其中，该第一及第二组过程的每一个包含下列之一或 多个与一个网络主机的通讯，网络管理，氦管理，构件监视及操作数据收集，安全互锁的控 制，低温泵再生，粗抽及净化级，及控制低温泵构件互锁。12.如权利要求10所述的系统，其进一步包含一个网络主机，该网络主机建构成指定 过程至该第一及第二组过程。13.如权利要求10所述的系统，其中，该第一及第二节点建构成彼此通讯，以指定过程 至该第一及第二组过程。14.如权利要求13所述的系统，其中，该些节点响应于接收将于该多个节点之间分配 的第三组过程，而于该第一及第二节点之一或者两者处通讯。15.如权利要求14所述的系统，其中，该第一及第二节点两者建构成包含完成第三组 的所有过程的能力。16.如权利要求14所述的系统，其进一步包含一个第三节点，其具有一个第三网络接 口，该第三组过程于包含该第三节点的多个节点之间分配。17.如权利要求16所述的系统，其中，该第三节点建构成于侦测到第一节点的一个错 误时，控制该第一组过程的至少一个过程。18.如权利要求16所述的系统，其中，该第三节点进一步包含一个压缩器。19.如权利要求10所述的系统，其中，该第一节点建构成于侦测到第二节点的一个错误时，将该第二组的至少一个过程输入至该第一组之中，以控制该第二组的至少一个过程。20.一种真空控制网络系统，其包含多个节点，至少一个节点包含一个低温泵；网络环片段，其于节点对之间，形成一个具有多个节点的环；及一个网络控制器，其建构成决定该网络环片段的一个错误，且控制网络环片段的致能 及禁能。21.如权利要求20所述的系统，其中，该网络控制器建构成禁能该网络环片段之一，而 不论该网络环片段或相关节点的整体性。22.如权利要求21所述的系统，其中，该多个节点建构成通过一个由被致能的网络环 片段所形成的总线而通讯。23...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝道尔J麦唐诺，奥立佛J杜马斯，罗勃P苏利文，约翰J威荣，约瑟夫二世乔比，丹尼尔R詹金斯，
申请(专利权)人：布鲁克机械公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]