线性电动机及元件移载装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及线性电动机，该线性电动机包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用产生使所述磁体和所述电枢沿所定的移动方向相对变位的力。该线性电动机还包括：底板，所述移动方向设定在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，并列设置在所述可动部的在与所述移动方向正交的所述底面宽度方向上的一端侧面上，被构成为所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以从所述宽度方向的一端侧向他端侧与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成为所述磁体和所述电枢其中另一者。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及线性电动机及元件移载装置，特别是涉及使可动部相对于底板进行直 线移动的线性电动机及使用该线性电动机的元件移载装置。
技术介绍
线性电动机的用途以用于制造搬送电子元件等元件的元件移载装置、半导体装 置、液晶显示装置等制造装置等为中心年年扩大，特别是近年薄型高性能的线性电动机的 需求高。为了满足这样的需求，例如公开了具有如图18及19所示结构的线性电动机LM的 方案(非专利文献1)。图18及19是表示以往的线性电动机的一个例子的图，其中，图19是沿图18中X IX-X IX线的箭头方向剖视图。在以下的说明中，为了明确各图的方向关系，示出了以线性 电动机LM为基准的XYZ直角坐标轴。上述3个方向X、Y、Z中，分别以Z表示线性电动机LM 上所设定的移动方向，以Y表示线性电动机LM的宽度方向，以X表示前后方向。另外，为方 便起见，将各直角坐标轴的符号(+、“)表示各方向X、Y、Z上的正面侧(+X)、背面侧(-X)、 一端侧(-Y)、他端侧(+Y)、往动侧(-Z)、返动侧(+Z)。各图所示的线性电动机LM在底板1上具备2个线性导向机构2A、2B。各线性导 向机构2A、2B具备沿移动方向Z相互平行而且在宽度方向上相离开的直线状的导轨2a、沿 该导轨2a在移动方向上滑动自如的滑块2b。在如此构成的线性导向机构2A、2B之间设置 有电枢3。电枢3是使稠密卷绕的多个线圈在宽度方向Y上沿轴心布置，并且在移动方向Z 上隔开间隔地在底板1的表面上并列设置的电枢。该电枢3构成线性电动机LM的定子。另外，各滑块2b的上表面上安装有具有与底板1相同宽度(宽度方向Y的长度) 的板状的可动板4，可动板4在底板1的上方位置沿移动方向Z移动自如。这样，可动板4 与2个滑块2b作为可动部便一体地可沿移动方向Z移动自如。在该可动板4的背面侧上，作为动子以沿宽度方向Y相夹电枢3的状态安装有将 多个永磁铁予以固定的磁轭5A、5B。磁轭5A、5B均沿相对于图19的纸面垂直的方向亦即移 动方向Z延伸设置。在磁轭5A、5B与电枢3之间，多个永磁铁6A、6B沿该磁轭5A、5B的延 伸方向Z并列设置。于是，磁轭5A的上端部以使多个永磁铁6A从宽度方向Y的一端侧(-Y 侧)与电枢3相对的状态，被安装在可动板4的背面上，另一方面，磁轭5B以使多个永磁铁 6B从宽度方向Y的一端侧(-Y侧)与电枢3相对的状态，被安装在可动板4的背面上。因 此，通过控制供给到电枢3的线圈的电流，基于由动子的永磁铁6A、6B与定子(电枢3)所 产生的磁通的相互作用，可动板4在Z方向上被直线驱动。此外，在线性导向机构2A的宽度方向Y上的反动子侧(+Y侧)设置有检测可动板 4的位置的检测单元7。即，在底板1的上表面上固定有传感器7a，另外在可动板4的下表 面上以与该传感器相对的状态安装有线性标尺(linear scale) 7b0这样，通过使传感器7a 与线性标尺7b在上下方向X上相对设置，所述线性电动机LM可测出在Z方向上的可动板 4的位置。所述以往的线性电动机LM中，如图19所示，由于在底板1与可动板4之间将线性 导向机构2A、磁轭5A、永磁铁6A、电枢3、永磁铁6B、磁轭5B以及线性导向机构2B沿宽度方 向Y设置，因此与在底板的前后设置电枢、永磁铁、磁轭、可动板的结构相比，可减小线性电 动机LM的厚度(前后方向X的装置尺寸)。并且，由于线性导向机构2b、磁轭5A、5B、永磁 铁6A、6B被一体地固定于可动板4上，因此可相对于固定在底板1上的线性导向机构2A、电 枢3沿移动方向Z往返移动。非专利文献1 山本日登志「素材/电子材料Topics第32届世界最薄型7mm厚线 性电动机的开发」[online]2006年12月11日社团法人电子信息技术产业协会[平成19 年 12 月 10 日检索]互联网 <http://home. jeita. or. jp/ecb/material/No032. html>
技术实现思路
本专利技术的第1目的是在使设于底板上的定子与设于可动部上的动子在宽度方向 相对的状态下通过由两者所产生的磁通的相互作用来使可动部在移动方向上移动的线性 电动机中，实现厚度的薄型化且以充分的推动力驱动可动部。另外，本专利技术的别的目的是提供使用所述线性电动机的元件移载装置。本专利技术的一实施方式涉及一种线性电动机，其包括磁体和电枢，通过在向所述电 枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢 沿所定的直线状的移动方向相对变位的力。该线性电动机还包括底板，所述移动方向设定 在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，与所 述可动部并列地设置在该可动部中的与所述移动方向正交的所述底面宽度方向上的一端 侧面上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以从所述宽度方向的一端侧向他端侧与 所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成为所述磁体和所 述电枢其中另一者。在如此构成的线性电动机中，动子并列设置在可动部的宽度方向的一端侧，并且 定子从离开可动部的外侧的位置与动子相对。因此，无需受定子、动子等的制约便可设定 可动部的厚度尺寸，因此，无需将动子及定子薄型化，或者相反可以将可动部增厚，在使动 子及定子增厚的情况下，将线性电动机的厚度(与移动方向及宽度方向两者正交方向的厚 度)薄型化。其结果，即使将线性电动机的厚度薄型化，也能够以充分的推进力驱动可动 部。对此，在图18及图19所示的以往的结构中，由于采用将定子设置在底板1的宽度 方向中央侧，动子与该定子两侧相对设置的结构，因此，定子及动子处于在前后与可动部相 对的位置关系，定子、动子等受到薄型化的制约。因此，为了实现线性电动机LM的进一步的 薄型化，必须将可动板4的厚度减薄，将底板1与可动板4的相对间隙H减小(即，将永磁 铁6A、6B或电枢3的高度减小)。然而，为了确保可动板4的刚性，必须一定程度地确保可 动板4的厚度，而若将永磁铁6A、6B或电枢3薄型化，会产生推进力相应地减小的问题。根据本专利技术，可以使在以往技术的结构中互不相容的要求同时成立，在实现厚度 的薄型化的情况下，能够以充分的推进力驱动可动部。此外，为了进一步提高用于驱动可动部的推进力，也可在宽度方向上在可动部的 他端侧面上设置别的动子，并设置在宽度方向上与安装在该他端侧面上的动子相对的定子。即，也可采用以下的结构通过由设置在可动部的一端部侧面上的第1动子和与第1动 子相对的第1定子产生的磁通的相互作用以及由设置在可动部的他端部侧面上的第2动子 和与第2动子相对的第2定子产生的磁通的相互作用，沿移动方向驱动可动部。另外，本专利技术的别的实施方式涉及一种元件移载装置，其将元件从元件收容部移 载到元件搭载区域，其包括头部组件，包含基体部件、吸嘴轴及上下驱动机构，其中，所述 吸嘴轴沿上下方向移动自如地支撑在所述基体部件上，且先端部上安装有吸嘴，并且将经 由与后端部连接的负压配管所供给的负压供应到所述吸嘴，所述上下驱动机构沿所述上下 方向驱动所述吸嘴轴；头部驱动单元，在所述元件收容部的上方位置与所述元件搭载区域 的上方位置之间移动所述头部组件；其中，所述上下驱动机构是所述的线性电动机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线性电动机，其特征在于：包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，该线性电动机还包括：底板，所述移动方向设定在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，与所述可动部并列地设置在该可动部中的与所述移动方向正交的所述底面宽度方向上的一端侧面上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以从所述宽度方向的一端侧向他端侧与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2008-1-11 2008-004076一种线性电动机，其特征在于包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，该线性电动机还包括底板，所述移动方向设定在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，与所述可动部并列地设置在该可动部中的与所述移动方向正交的所述底面宽度方向上的一端侧面上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以从所述宽度方向的一端侧向他端侧与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者。2.根据权利要求1所述的线性电动机，其特征在于还包括直线状的导轨，固定于所述底板，沿所述移动方向延伸设置在所述底面上； 滑块，沿所述导轨可往返移动地沿所述移动方向设置； 可动基体，安装于所述滑块，构成所述可动部的一部分；其中， 所述动子安装在所述可动基体的其宽度方向上的一端侧面上。3.根据权利要求1所述的线性电动机，其特征在于还包括直线状的导轨，固定于所述底板，沿所述移动方向延伸设置在所述底面上； 滑块，沿所述导轨可往返移动地沿所述移动方向设置，构成所述可动部的一部分；其中，所述动子安装在所述可动滑块的其宽度方向上的一端侧面上。4.根据权利要求1至3中任一项所述的线性电动机，其特征在于还包括 立壁，设置于所述底板的外缘部分，向所述底板的前方延伸，其中，所述立壁的所述前后方向的尺寸被设定为所述定子的厚度以上。5.根据权利要求1至3中任一项所述的线性电动机，其特征在于还包括检测单元， 所述检测单元包含线性标尺，设置于所述底板和所述可动部其中一者；传感器，以与所述线性标尺沿所述宽度方向相对的状态设置于所述底板和所述可动部其中另一者，检测 与所述线性标尺的相对位置；所述检测单元根据所述传感器的检测，测出所述移动方向上的所述可动部的位置。6.根据权利要求5所述的线性电动机，其特征在于所述线性标尺和所述传感器其中一者设置在所述可动部的所述宽度方向上的他端侧 面上，所述线性标尺和所述传感器以两者的各相对的面平行地接近的状态设置。7.根据权利要求6所述的线性电动机，其特征在于还包括 传感器控...

【专利技术属性】
技术研发人员：花村直己，堺清敬，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]