连续真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种连续真空镀膜装置，包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁上安装有分子泵，还设有用于承载和传输工件的传输机构。本实用新型专利技术中的多个室及镀膜室是独立并通过真空锁相连的，可以根据工件货品的需要灵活设置镀膜室的个数及不同靶材和不同镀膜方式的镀膜室，从而可以采用最佳方式进行镀膜。本实用新型专利技术结构设计合理，生产功效高，能够实现工件上一层、二层或多层复合膜的连续制备并实现膜厚的实时监控，尤其对于两面均需镀膜的工件，镀膜效率更是得到大幅度提高。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于真空镀膜领域，具体涉及一种真空镀膜装置。
技术介绍
现有的连续真空镀膜装置是在一个真空镀膜室里通过挡板隔离并利用不同方式 来镀不同的膜层，例如在一个可用电子束蒸发、热蒸发及磁控溅射等方式进行镀膜的多功 能连续镀膜装置中，在不做电子束蒸发或热蒸发时，可做磁控溅射镀膜。在做电子束蒸发或 热蒸发时，磁控溅射靶要撤到真空镀膜壁附近，否则很容易靶材受到污染，所以操作繁琐， 且即使挡板把磁控溅射靶保护起来也很难做到靶材不受到任何污染，因此镀膜质量很难保 证。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有真空镀膜装置存在的上述问题，提供一种能大大 提高镀膜效率、并且保证镀膜质量的连续真空镀膜装置。本技术的目的是这样实现的本技术包括顺序相连的入片室、加热室、清 洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁 上安装有分子泵，在每个室内均设有用于承载及传输工件的传输机构。本技术的技术效果在于本技术中的多个室及镀膜室是独立并通过真 空锁相连的，可以根据工件货品的需要灵活设置镀膜室的个数及不同靶材和不同镀膜方式 的镀膜室，从而可以采用最佳方式进行镀膜，并且各个镀膜室相互隔离，靶材不易受到污 染，从而可以保证镀膜质量。本技术结构设计合理，生产功效高，能够实现工件上一层、 二层或多层复合膜的连续制备并实现膜厚的实时监控，尤其对于两面均需镀膜的工件，镀 膜效率更是得到大幅度提高。附图说明图1是实施例的俯视图。图2是实施例的主视图。图3是实施例的放大的右视图。具体实施方式参见图1、图2和图3，本实施例的连续真空镀膜装置包括按前后顺序依次相连的 入片室1、加热室2、清洗室3、第一镀膜室41、第一过渡室51、第二镀膜室42、第二过渡室 52、冷却室6、出片室7 ；相邻的两室之间通过真空锁8相连，真空锁8是用于切断或接通管 路的真空系统元件，能够在其关闭时隔绝不同真空空间；真空锁8打开时，相邻两室相通， 真空锁8关闭时，相邻两室完全隔离，真空锁8的结构属现有成熟技术；在每个室的室壁上 安装有分子泵9，分子泵9用于维持每一室的压强在一定的真空状态，分子泵9的结构属现有成熟技术；在清洗室3内设有一个离子源30 ；过渡室也称为过渡真空处理室，设在镀膜室 之后，起到缓冲作用，本实施例在过渡室51、52设有膜厚实时监控探头对膜厚进行监测，膜 厚实时监控探头也可安装在镀膜室上；在每个室内均设有用于承载和传输工件的传输机 构，本实施例中传输机构包括托轮13、载片车11和传动齿轮12，在每个室内在传输方向上 设有一组托轮13和一组传动齿轮12，安装托轮13的托轮座14固定在每个室的室壁上，所 述载片车11载于托轮13上，载片车11两侧底部的锥形凸起与托轮13的锥形凹槽相配合 使载片车11限位，传动齿轮12与载片车11上的传动齿条啮合，传动齿轮12与步进电机连 接。由于连续作业提高效率，本实施例在每个室内都设有载片车11，它们载着各个工件沿着 各个室的每组托轮13依次前进。参见图1和图2，在每个室的室壁上设有工艺输入孔10，本技术中工艺输入孔 可为一至数个；在入片室1的前端和出片室7的后端设有门15，用于工件进出连续真空镀膜装置。本实施例的工作过程及原理简述如下，如图1至图3所示当置于载片车11上的 工件进入入片室1后，入片室1中安装的分子泵9开始工作进行抽气，抽气到一定压强后， 入片室1与加热室2之间的真空锁8打开，入片室1中的载片车11承载着工件沿着托轮13 进入加热室2以给工件进行预加热，同时开启加热室2壁上安装的分子泵9以将加热室2 中真空度提高到所需压强。当加热室2中的温度达到设定要求后，开启清洗室3中的离子 源30，启动清洗室3中的传输机构，传动齿轮10带动载片车11承载工件经过离子源工作区 域，对工件进行离子清洗从而保证后续镀膜质量。工件经离子源30清洗后通过清洗室3与 第一镀膜室41之间的真空锁8，进入第一镀膜室41进行镀膜，载片车11在镀膜室41中的 传输速度可根据被镀工件对膜厚的要求进行调节。然后载片车11承载在第一镀膜室41中 完成镀膜的工件进入过渡室51，过渡室51安装的膜厚实时监控探头监测膜厚。然后载片 车11将承载工件依次进入第二镀膜室42和第二过渡室52，如果还需在工件上镀制其它膜 层，载片车11将承载工件继续进入下一个镀膜室和过渡室以至到第η个镀膜室和第η个过 渡室。最后完成镀膜的工件被传送到冷却室6进行冷却，然后开启冷却室6与出片室7之 间的真空锁8，载片车11承载工件进入出片室7以备取片。本技术中镀膜室设有一至数个，根据需要及工艺要求进行安装，在每个镀膜 室之后均设有一个过渡室，它们依次相接并由真空锁连接。每个镀膜室可以选用磁控溅射、 离子束溅射、电子束蒸发或电弧蒸发等物理气相沉积技术的一种或多种方式完成一层或多 层膜的制备。本技术中离子源属选用件，根据需要可以不用，也可以使用一个、两个或多 个。权利要求一种连续真空镀膜装置，其特征在于包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁上安装有分子泵；还设有用于承载和传输工件的传输机构。2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于所述镀膜室设有一至数个， 在每个镀膜室之后均设有一个过渡室，它们依次相接并由真空锁连接。3.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于在所述清洗室内设有 一个、两个或多个离子源。4.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于在所述镀膜室或过渡 室设有膜厚实时监控探头。5.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于所述传输机构包括托 轮、载片车和传动齿轮，在每个室内在传输方向上设有一组托轮和一组传动齿轮，安装托轮 的托轮座固定在每个室的室壁上，所述载片车载于托轮上，所述传动齿轮与载片车上的传 动齿条啮合。6.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于在每个室的室壁上设 有一至数个工艺输入孔。7.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于在入片室的前端和出 片室的后端设有门。专利摘要本技术为一种连续真空镀膜装置，包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁上安装有分子泵，还设有用于承载和传输工件的传输机构。本技术中的多个室及镀膜室是独立并通过真空锁相连的，可以根据工件货品的需要灵活设置镀膜室的个数及不同靶材和不同镀膜方式的镀膜室，从而可以采用最佳方式进行镀膜。本技术结构设计合理，生产功效高，能够实现工件上一层、二层或多层复合膜的连续制备并实现膜厚的实时监控，尤其对于两面均需镀膜的工件，镀膜效率更是得到大幅度提高。文档编号C23C14/56GK201648512SQ20102014384公开日2010年11月24日 申请日期2010年3月24日 优先权日2010年3月24日专利技术者汪友林 申请人:深圳森丰真空镀膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续真空镀膜装置，其特征在于：包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁上安装有分子泵；还设有用于承载和传输工件的传输机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：汪友林，
申请(专利权)人：深圳森丰真空镀膜有限公司，森科五金深圳有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[]