本发明专利技术公开了一种探针卡搬送过程中保护探针的装置；包括：Ｌ形支脚，其通过轴安装在ＰＣＢ板上并绕轴旋转，Ｌ形支脚的一端为支脚，另一端与支脚成一角度，所述Ｌ形支脚在旋转到一定角度后，其另一端可以和簧片相抵；簧片，其位于ＰＣＢ板的下平面上，可以延ＰＣＢ板平面方向左右移动；弹簧，其一端固定在可以左右移动的Ｌ形簧片上，另一端固定在ＰＣＢ板上。本发明专利技术可以有效保护探针不受损坏；并且本发明专利技术结构简单、操作简便，易于实现，且生产成本低。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种大规模集成电路在晶圆上进行测试的设备，具体是涉及一种测 试用设备的保护装置。
技术介绍
目前，在对晶圆进行测试时，都需要用到探针卡。如图1所示，一般的探针卡 主要由PCB(Printed Circuit Board)以及装载在其上的探针两部分组成。探针卡制作完毕 后，在搬送过程中，可能因为不小心，导致探针直接和桌面接触而损坏。探针的更换和 维修成本较高，这种误操作造成的探针损坏会造成测试成本的上升。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种可以在探针卡搬送过程中有效保护探针 的装置。为了解决以上技术问题，本专利技术提供了一种探针卡搬送过程中保护探针的装 置；包括L形支脚，其通过轴安装在PCB板上并绕轴旋转，L形支脚的一端为支脚， 另一端与支脚成一角度，所述L形支脚在旋转到一定角度后，其另一端可以和簧片相 抵；簧片，其位于PCB板的下平面上，可以延PCB板平面方向左右移动；弹簧，其一端 固定在可以左右移动的L形簧片上，另一端固定在PCB板上。本专利技术的有益效果在于本专利技术公开了一种对探针卡搬送过程中实现自我保护 探针的方法，通过该专利技术公布的独特的机关，打开装置在探针卡上支脚，从而可以避免 探针和桌面的直接接触，有效保护探针不受损坏；并且本专利技术结构简单、操作简便，易 于实现，且生产成本低。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细说明。图1是现有探针卡的示意图；图2是本专利技术方案中的保护装置在关闭状态的示意图；图3是本专利技术方案中的保护装置在使用时的示意图；图4是保护装置局部放大图。具体实施例方式当搬送探针卡时，因为不小心，导致探针直接和桌面接触而损坏，该专利技术就是 为了解决这个问题。本专利技术使用一种独特的机械装置，来达到保护探针卡探针的目的。如图4所 示1为轴；2为弹簧固定点；3为可以左右移动的L形簧片，固定在弹簧2上；4为弹 簧；5为一个L形支脚；6为可以左右移动的L形簧片3的拉手端。L形支脚5可以绕轴1旋转。弹簧2—端固定在可以左右移动的L形簧片上，另一端固定在PCB板9上。 上述的所有部件均位于PCB板上，且装置关闭后的厚度小于等于PCB的厚度。当探针卡需要移动时，向下扳L形支脚5，L形支脚5的另外一端会碰到可以左 右移动的L形簧片3，弹簧4被拉长，L形支脚5继续向下，L形支脚5的另外一端越过 簧片3，由于弹簧4的拉力，可以左右移动的L形簧片3弹回，L形支脚5的另外一端和 可以左右移动的L形簧片相抵住，使L形支脚5形成支撑，最终形成图3所示的状态该装置在不需要的时候，具有关闭功能向外拉可以左右移动的L形簧片3的拉 手端6，把L形支脚5收回，放开可以左右移动的L形簧片3的拉手端6，恢复到如图2 所示的状态。装置关闭后的厚度小于等于PCB的厚度。本专利技术并不限于上文讨论的实施方式。以上对具体实施方式的描述旨在于为了 描述和说明本专利技术涉及的技术方案。基于本专利技术启示的显而易见的变换或替代也应当被 认为落入本专利技术的保护范围。以上的具体实施方式用来揭示本专利技术的最佳实施方法，以 使得本领域的普通技术人员能够应用本专利技术的多种实施方式以及多种替代方式来达到本 专利技术的目的。权利要求1.一种探针卡搬送过程中保护探针的装置；其特征在于，包括L形支脚，其通过轴安装在PCB板上并绕轴旋转，L形支脚的一端为支脚，另一端与 支脚成一角度，所述L形支脚在旋转到一定角度后，其另一端可以和簧片相抵； 簧片，其位于PCB板的下平面上，可以延PCB板平面方向左右移动； 弹簧，其一端固定在可以左右移动的L形簧片上，另一端固定在PCB板上。2.如权利要求1所述的探针卡搬送过程中保护探针的装置；其特征在于，所述簧片 为L形，其远离支脚的一端为拉手端。3.如权利要求2所述的探针卡搬送过程中保护探针的装置；其特征在于，所述L形簧 片的两端呈90度。4.如权利要求1所述的探针卡搬送过程中保护探针的装置；其特征在于，所述L形支 脚和弹簧、簧片的高度小于或等于PCB板的厚度。5.如权利要求1所述的探针卡搬送过程中保护探针的装置；其特征在于，所述L形支 脚的两端呈90度。全文摘要本专利技术公开了一种探针卡搬送过程中保护探针的装置；包括L形支脚，其通过轴安装在PCB板上并绕轴旋转，L形支脚的一端为支脚，另一端与支脚成一角度，所述L形支脚在旋转到一定角度后，其另一端可以和簧片相抵；簧片，其位于PCB板的下平面上，可以延PCB板平面方向左右移动；弹簧，其一端固定在可以左右移动的L形簧片上，另一端固定在PCB板上。本专利技术可以有效保护探针不受损坏；并且本专利技术结构简单、操作简便，易于实现，且生产成本低。文档编号G01R1/067GK102023239SQ20091005792公开日2011年4月20日 申请日期2009年9月22日 优先权日2009年9月22日专利技术者桑浚之, 辛吉升 申请人:上海华虹Nec电子有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种探针卡搬送过程中保护探针的装置；其特征在于，包括：Ｌ形支脚，其通过轴安装在ＰＣＢ板上并绕轴旋转，Ｌ形支脚的一端为支脚，另一端与支脚成一角度，所述Ｌ形支脚在旋转到一定角度后，其另一端可以和簧片相抵；簧片，其位于ＰＣＢ板的下平面上，可以延ＰＣＢ板平面方向左右移动；弹簧，其一端固定在可以左右移动的Ｌ形簧片上，另一端固定在ＰＣＢ板上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：辛吉升，桑浚之，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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