【技术实现步骤摘要】
本技术涉及直拉式单晶炉部件，特别涉及一种单晶炉晶升限 位装置。
技术介绍
单晶炉在实际运作时，每炉的投料量都有可能不同，这时就需要 根据拉晶工艺的要求，调整晶体提升的上下极限位置。目前，直拉式 单晶炉晶体限位装置普遍采用机械限位结构，直接安装在真空室内， 这种结构精度较差，且非常不易调整，给直拉式单晶炉的实际操作带来很大的不便；同时还可能影响到晶棒的品质。
技术实现思路
为了克服现有上述现有技术的不足，本技术在于提供一种单 晶炉晶升限位装置，具有易于调整且限位精度更加准确的特点。本技术解决其技术问题所采用的方案是单晶炉晶升限位装置，包括固定架9，固定架9安装在巻轮箱体外底板上，固定架9上 安装有传动螺杆5，传动螺杆5上配置有可左右滑动的限位块6，传 动螺杆5上方左右两端设置有感应式接近开关7和感应式接近开关8， 2个感应式接近开关与外部的电控系统相连，传动螺杆5的一端安装 有小带轮4，小带轮4通过皮带3与大带轮2相连，大带轮2安装在 花键轴l的一端，花键轴l的另一端固定在巻轮箱体中。由于本技术采用传动螺杆和限位块，所以其螺距小，传递运动准确；由于感应式接近开关灵敏度高，所以整套装置传动精度高；由于本技术安装于真空室外，所以易于调整。附图说明附图是本技术的结构原理图。具体实施方式以下结合附图对本技术的结构原理和工作原理作详细叙述。 参照附图，单晶炉晶升限位装置，包括固定架9，固定架9上安 装有传动螺杆5，传动螺杆5上配置有可左右滑动的限位块6，传动 螺杆5上方左右两端设置有感应式接近开关7和感应式接近开关8， 传动螺杆5的一端安装有小带轮4，小带轮4通过皮...
【技术保护点】
单晶炉晶升限位装置，其特征在于，包括固定架（９），固定架（９）上安装有传动螺杆（５），传动螺杆（５）上配置有可左右滑动的限位块（６），传动螺杆（５）上方左右两端设置有感应式接近开关（７）和感应式接近开关（８），传动螺杆（５）的一端安装有小带轮（４），小带轮（４）通过皮带（３）与大带轮（２）相连，大带轮（２）安装在花键轴（１）的一端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：时刚，韩有河，
申请(专利权)人：西安创联新能源设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：87[中国|西安]
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