【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产中的配套设备，具体涉及一种改良型三氯氢硅提纯 士X
技术介绍
用于多晶硅生产的三氯氢硅，其纯度往往要求至少6个9以上(即99. 9999%)，但 是现有的三氯氢硅提纯塔提纯的三氯氢硅纯度很难达到要求，且三氯氢硅提纯塔多为能耗 高且效率较低，同时因塔体较高，运输作业比较困难，现场组装和加工的精度也难于保证， 故需加以改进。
技术实现思路
鉴于上述不足之处，本技术的目的在于提供一种提纯纯度好、能耗低且效率 高、结构简单，运输方便，安装加工简便的改良型三氯氢硅提纯塔。为了达到上述目的，本技术通过增加内回流装置，使气液两项接触而积大大 增加，同时通过控制内回流温度，使气液两相均处于临界状态，从而使分离效率大大提高， 具体技术方案如下一种改良型三氯氢硅提纯塔，包括提纯塔封头和提纯塔筒体，其中所 述提纯塔封头和提纯塔筒体通过法兰密封连接，所述提纯塔筒体为多节重叠筒体通过连接 法兰连接组成，提纯塔筒体内设有小直径内回流管，提纯塔筒体的外侧设有冷却介质进口 和冷却介质出口，冷却介质进口和冷却介质出口分别于小直径内回流管连通。本技术提纯塔筒体为多节重叠筒体通过连接法兰连接组成，因此为加工、运 输、安装都带来了方便，通过增加内回流装置，使气液两项接触面积大大增加，同时通过控 制内回流温度，使气液两相均处于临界状态，从而使分离效率大大提高，从而使得三氯氢硅 纯度也大大提高。附图说明图1本技术结构示意图图中1.提纯塔封头 2.小直径内回流管 3.冷却介质进口 4.冷却介质 出口 5.提纯塔筒体 6.连接法兰具体实施方式下面我们将结合附图对本技术做进一步的说明如图...
【技术保护点】
一种改良型三氯氢硅提纯塔，包括提纯塔封头（１）和提纯塔筒体（５），其特征在于：所述提纯塔封头（１）和提纯塔筒体（５）通过法兰密封连接，所述提纯塔筒体（５）为多节重叠筒体通过连接法兰（６）连接组成，提纯塔筒体（５）内设有小直径内回流管（２），提纯塔筒体（５）的外侧设有冷却介质进口（３）和冷却介质出口（４），冷却介质进口（３）和冷却介质出口（４）分别与小直径内回流管（２）连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵振元，刘胜春，姚伟，王明云，江元升，蒋玉梅，张琼，
申请(专利权)人：信息产业电子第十一设计研究院有限公司，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]
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