本发明专利技术提供一种磁头用基板，该磁头用基板包括Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］为６０质量％以上且７０质量％以下的范围、ＴｉＣ为３０质量％以上且４０质量％以下的范围的烧结体。在磁头用基板７、７’中，在烧结体的截面的任意１０μｍ以上的直线上存在的ＴｉＣ晶粒的个数的比率相对于在所述直线上存在的ＴｉＣ晶粒的个数及Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］晶粒的个数的合计为５５％以上且７５％以下。本发明专利技术还提供一种能够从所述磁头用基板得到的磁头及具有所述磁头的记录介质驱动装置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及硬盘驱动器或磁带驱动器等记录介质驱动装置、使用于此 的磁头以及为了形成作为磁头的基材的滑块的磁头用基板。
技术介绍
近年来，向记录介质记录的磁记录的高密度化急速发展。 一般作为录 放双用的磁头，使用在记录介质上悬浮运行的滑块上搭载了电磁转换元件 的磁头。用于这种磁头的滑块，除了机械加工性及耐磨耗性优越以外，还要求 与记录介质等对置且借助空气而受到浮力的悬浮面的表面平滑性优越。作 为 一例能够通过以下的步骤制作磁头。首先，在Al203-TiC系陶瓷构成的陶瓷基板上，通过溅射法形成由非 晶质状的氧化铝构成的绝缘膜，在该绝缘膜上形成多个电磁转换元件。电 磁转换元件为使用了磁阻效应的元件，例如为MR(Magnetro Resistive)元 j牛、GMR(Giant Magnetro Resistive)元^牛、TMR(Tunnel Magnetro Resistive) 元件或AMR(Anisotropic Magnetro Resistive)元件。例示的电磁转换元件通 过以一种或多种希望的间隔形成在绝缘膜上，搭载在滑块上。然后，使用切割机或切割锯(dicing saw)将搭载有电磁转换元件的陶 瓷基板切断成长方形。此时，在与长方形的陶瓷基板的厚度方向平行地切 断，对截面进行抛光而成为镜面后，通过离子铣削加工法或反应性离子蚀 刻法除去镜面的一部分。此后，将切断成长方形的陶瓷基板分割成片状， 由此得到在滑块上搭载了电磁转换元件的磁头。在该磁头中，在镜面除去 的部分成为流道面，在镜面未被除去而保留下的部分成为悬浮面。流道面 为使空气通过的面，通过在和记录介质之间形成的狭窄的空间空气流入-流出而发生的浮力使磁头不与记录介质接触。这样的搭载了磁头的硬盘驱动器等的记录介质驱动装置期望进一步 增加其记录容量，要求进一步提高记录密度。如果要顺应该要求，就必须使磁头距离作为记录介质的磁盘的悬浮高度(悬浮量)极小至lOnm以下。 然而，若为该10nm以下的悬浮高度(悬浮量)，则如上述制作的磁头容易 与记录介质接触，由该接触产生的冲击会使下述的问题显著，即，构成磁 头的滑块的组成物的晶粒发生脱粒，磁头的特性劣化。因此，对于作为构成磁头的滑块的基材的磁头用基板，要求其组成物 的晶粒为不容易脱粒的材料，要求晶粒间的结合力的提高，即，烧结性的 提高。为了响应这样的要求，组成物的晶粒的微粒化被探讨研究。例如，在 由氧化铝及碳化钛构成的作为烧结体的磁头滑块用材料中，在截面的氧化 铝晶粒及碳化钛晶粒所占的面积中，晶体粒径为200nm以上且350nm以 下的氧化铝晶粒及碳化钛晶粒所占的面积比率设为80%以上(例如参照专 利文献1)。在专利文献1的实施例中，记载了优选氧化铝晶粒及碳化钛晶 粒的各平均晶体粒径分别为0.25 0.31pm以及0.25 0.32pm的范围。专利文献1:日本特开2007-4934号公报。然而，在含有碳化钛晶粒及氧化铝晶粒的磁头滑块用材料中，如果碳 化钛晶粒的个数比率低，则有时难以通过TiC晶粒抑制Ai203晶粒的晶粒 生长。因此，如果烧结时氧化铝晶粒发生了异常的晶粒生长，则在将磁头 用基板切断成长方形，或通过离子铣削加工法或反应性离子蚀刻法形成流 道面的加工时，不能够充分防止晶粒的脱粒。如果氧化铝晶粒发生了异常 的晶粒生长，则还具有切屑(chipping)的尺寸也变大的问题。
技术实现思路
本专利技术的课题在于抑制在磁头用基板的加工时(切断、铣削或蚀刻) 的脱粒及从磁头的滑块的脱粒。本专利技术涉及一种包括氧化铝为60质量％以上且70质量％以下的范围、 碳化钛为30质量％以上且40质量％以下的范围的烧结体的磁头用基板。本专利技术还涉及一种在包括将磁头用基板分割成片状而形成的烧结体 的滑块上形成了电磁转换元件的磁头。本专利技术还涉及一种记录介质驱动装置，该记录介质驱动装置具有在包括将磁头用基板分割成片状而形成的烧结体的滑块上形成了电磁转换元件的磁头；具有通过该磁头进行信息的记录及再生的磁记录层的记录介 质；驱动该记录介质的电动机。在所述烧结体的截面的任意的10pm以上的直线上存在的所述碳化钛 晶粒的个数的比率相对于在所述直线上存在的所述碳化钛晶粒的个数及 所述氧化铝晶粒的个数的合计为55%以上且70%以下。本专利技术的磁头用基板及磁头的滑块包括八1203为60质量％以上且70 质量％以下的范围、TiC为30质量％以上且40质量％以下的范围的烧结 体。进而，在所述磁头用基板及所述磁头的滑块中，在所述烧结体的截面 的任意的10pm以上的直线上存在的所述TiC晶粒的个数的比率相对于在 所述直线上存在的所述TiC晶粒的个数及所述A1203晶粒的个数的合计为 55%以上且70%以下。因此，因为TiC晶粒比A1203晶粒硬度高且适当分 散，所以抑制A1203晶粒的异常的晶粒生长，并且作为对A1203晶粒带来 锚定效果的晶粒发挥作用。其结果，在本专利技术的磁头用基板中，使用切割 机或切割锯切断成长方形，或通过离子铣削加工法或反应性离子蚀刻法形 成流道面时，能够抑制晶粒脱粒。另一方面，在本专利技术的磁头中，因为能 够抑制在悬浮时组成物的晶粒从滑块脱粒，所以能够抑制起因于脱粒的晶 粒的记录介质的损伤。进而，在本专利技术的磁头中，能够抑制滑块的微裂纹 的发生，有效地防止从滑块的脱粒。因此，本专利技术也能够适宜地用于飞母 托滑块(femto slider)或阿托滑块(atto slider)等小型化的滑块。附图说明图1是表示本专利技术的记录介质驱动装置的一例的俯视图。图2是图i的沿n-n线的剖视图。图3是图i的沿ni-m线的剖视图。图4是放大表示记录介质驱动装置的周围的立体图。图5是从背面侧观察本专利技术的磁头的一例的整体立体图。图6A及6B是表示磁头用基板的例子的整体立体图。 图7是表示将成形体配置在加压烧结装置中的状态的加压烧结装置的主要部分的俯视图。图8是为了说明将电磁转换元件形成在磁头用基板上的工序的立体图。图9A及9B是为了说明切断磁头用基板而得到长方形片材的工序的立体图。图IOA及10B是为了说明从长方形片材得到磁头的工序的立体图。图中:1—硬盘驱动器(记录介质驱动装置)，2—磁头，20— (磁头的)电磁转换元件，21—(磁头的)滑±央，23—(滑块的)流道面，3A、 3B一磁盘(记录介质)，40—电动机，7、 7' —磁头用基板具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术进行具体说明。由图1 图3所示的硬盘驱动器1相当于记录介质驱动装置的一例的装置，其为在外壳10的内部收容了磁头2、磁盘3A、 3B及旋转驱动机构4的装置。磁头2是为了访问任意的磁道，进行信息的记录及再生的元件。磁头2经由悬挂臂50被支撑于执行器5，并在磁盘3A、 3B上以非接触的状态移动。更加具体而言，磁头2能够以执行器5为中心，在磁盘3A、 3B的半径方向旋转，并且在上下方向往返移动。磁头2具备电磁转换元件20及滑块21。如图4及图5所示，电磁转换元件20为发挥磁阻效应的元件，作为例如MR (Magnetro Resistive)元件、GMR (Giant Magnetro Resistive)元件或TMR (Tunnel Magnetro Resistive)元件而构成。电磁转换元件2本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种磁头用基板，该磁头用基板包括氧化铝在６０质量％以上且７０质量％以下的范围、碳化钛在３０质量％以上且４０质量％以下的范围的烧结体，其特征在于， 在所述烧结体的截面的任意１０μｍ以上的直线上存在的所述碳化钛晶粒的个数的比率相对于在所述 直线上存在的所述碳化钛晶粒的个数及所述氧化铝晶粒的个数的合计为５５％以上且７５％以下。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：王雨丛，中泽秀司，中尾裕也，源通拓哉，堀内伸起，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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