在进行半导体组件（１１）的观察的情况下，首先，如果检测出固体浸没透镜（６）接触于半导体组件（１１），则通过振动发生部使固体浸没透镜（６）振动。接着，输入来自固体浸没透镜（６）的反射光像，算出反射光像的反射光量（ｍ），并判断该反射光量（ｍ）对入射光量（ｎ）的比率（ｍ／ｎ）是否没有超过阈值（Ａ）。在比率（ｍ／ｎ）超过阈值（Ａ）时，判断为未获得固体浸没透镜（６）和半导体组件（１１）的光学紧贴，再次使固体浸没透镜（６）振动。在比率（ｍ／ｎ）没有超过阈值（Ａ）时，判断为获得固体浸没透镜（６）和半导体组件（１１）的光学紧贴，取得半导体组件（１１）的观察图像。于是，实现了能够提高固体浸没透镜和观察对象物的紧贴性的观察装置和方法。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用固体浸没透镜对观察对象物进行观察的观察装置 和方法。
技术介绍
作为放大观察对象物的图像的透镜，已知有固体浸没透镜(SIL:Solid Immersion Lens)。固体浸没透镜是半球形状或所谓维尔斯特 拉斯(Weierstrass)球的超半球形状，大小为1 mm~5 mm左右的微小 透镜。并且，将该固体浸没透镜紧贴于观察对象物的表面而设置时， 数值孔径(NA)和倍率都会被放大，因而可以在高空间分解能力下进 行观察。作为利用这样的固体浸没透镜的观察装置，例如已知有专利文献1 所记载的观察装置。专利文献1所记载的观察装置具备具有物镜的 显微镜、经由臂部件而连结于物镜的前端部、并将固体浸没透镜保持 在物镜的前面侧的固体浸没透镜保持器。专利文献1:国际公开第2005/043210号小册子
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，在如上述现有技术那样利用固体浸没透镜来观察观察对象 物之际，固体浸没透镜和观察对象物没有良好地紧贴时，难以获得固 体浸没透镜和观察对象物之间的光学耦合(渐逝波(evanescent)耦合)。本专利技术的目的在于提供能够提高固体浸没透镜和观察对象物之间 的紧贴性的。解决问题的方法
本专利技术的观察装置的特征在于，具备显微镜，其具有包括物镜 的光学系统，将观察对象物放大而进行观察；固体浸没透镜保持器4(holder),其保持配置于物镜的光轴上的固体浸没透镜；以及振动发生机构，其使保持于固体浸没透镜保持器上的固体浸没透镜振动。在使用这样的本专利技术的观察装置来进行观察对象物的观察的情况 下，使保持于固体浸没透镜保持器上的固体浸没透镜紧贴于观察对象 物，在该状态下通过显微镜对观察对象物进行观察。此时，例如由于 固体浸没透镜保持器的透镜保持面及观察对象物的加工状态等，有时 无法获得固体浸没透镜和观察对象物的良好的紧贴。在该情况下，通 过振动发生机构使保持于固体浸没透镜保持器上的固体浸没透镜振 动，从而使固体浸没透镜沿着观察对象物的表面而紧贴。于是，能够 达成固体浸没透镜和观察对象物的良好的紧贴。本专利技术的观察方法的特征在于，包括下述工序准备观察装置的工序，该观察装置具备显微镜、固体浸没透镜保持器和振动发生机构， 该显微镜具有包括物镜的光学系统，将观察对象物放大而进行观察， 该固体浸没透镜保持器保持配置于物镜的光轴上的固体浸没透镜，该振动发生机构使保持于固体浸没透镜保持器上的固体浸没透镜振动；通过振动发生机构而使保持于固体浸没透镜保持器上的固体浸没透镜振动，并且使固体浸没透镜紧贴于观察对象物的工序；以及在使固体 浸没透镜紧贴于观察对象物之后，通过显微镜来对观察对象物进行观 察的工序。这样，通过使保持于固体浸没透镜保持器上的固体浸没透镜振动， 并且使固体浸没透镜紧贴于观察对象物，从而例如不论固体浸没透镜 保持器的透镜保持面及观察对象物的加工状态等，使固体浸没透镜沿 着观察对象物的表面而紧贴。于是，能够达成固体浸没透镜和观察对 象物的良好的紧贴。专利技术的效果根据本专利技术，能够提高固体浸没透镜和观察对象物的紧贴性。于 是，可以获得固体浸没透镜和观察对象物之间的适当的光学耦合(渐 逝波耦合)。附图说明图1是作为本专利技术所涉及的观察装置的一个实施方式的半导体检查装置的构成图。图2是表示图1所示的显微镜的物镜和固体浸没透镜保持器的构 成的剖面图。图3是图2所示的物镜和固体浸没透镜保持器的立体图。 图4是图2所示的保持器主体的分解立体图。 图5是表示图4所示的固体浸没透镜被透镜保持部保持的状态的 放大剖面图。图6是图2所示的物镜插座的剖面图。图7是图6所示的物镜插座的平面图、侧面图(含局部剖面)和 背面图。图8是图6所示的部件位置检测部的构成图。 图9是表示图8所示的部件位置检测部和固体浸没透镜保持器的 动作的剖面图。图10是图1所示的解析部的功能框图。图11是表示在取得半导体组件的观察图像之际由解析部执行的处 理步骤的详细的流程图。图12是表示作为变形例的其它的固体浸没透镜保持器的剖面图。图13是表示固体浸没透镜保持于图12所示的透镜保持部件的状 态的放大剖面图。图14是与物镜一起表示作为变形例的又一其它的固体浸没透镜保 持器的立体图。符号的说明1半导体检查装置(观察装置) 3高感度相机(图像取得机构)4 LSM单元(照明机构、接触检测机构、图像取得机构)5显微镜6固体浸没透镜8保持器主体11半导体组件(观察对象物) 20光学系统21 物镜32 LSM控制器(接触检测机构、图像取得机构)33 外围控制器(振动控制机构)41 图像解析部41a图像输入部(图像取得机构) 41c亮度值计算部(解析机构) 41d入射光量取得部(解析机构) 41e阈值记忆部(解析机构) 41f光学耦合判断部(解析机构)42 指示部(振动控制机构、接触检测机构) 60 透镜保持部(振动发生机构)110部件位置检测部(接触检测机构) 120振动发生部(振动发生机构) 200固体浸没透镜保持器具体实施例方式以下，与附图一起对本专利技术所涉及的的最佳实施 方式进行说明。在此，在各图中，对同一要素标记同一符号，省略重 复的说明。图1是表示作为本专利技术所涉及的观察装置的一个实施方式的半导 体检查装置的构成图。图2是表示作为图1所示的半导体检查装置的 一个主要部分的显微镜的物镜和固体浸没透镜保持器的构成的剖面 图，图3是图2所示的物镜和固体浸没透镜保持器的立体图。在此， 在图2中，表示试料的观察时的状态。在以下的说明中，相对于固体 浸没透镜，以物镜侧为上侧，试料侧为下侧进行说明。如图1和图2所示，半导体检查装置1例如是以作为试料10的模 制型半导体组件(device)具有的半导体组件11作为观察对象物，取 得半导体组件U的图像，并检查其内部信息的检査装置。所谓"模制型半导体组件"，是通过树脂12模制半导体组件11而 得到的组件。另外，作为"内部信息"，包含半导体组件的电路图案和 来自半导体组件的微弱发光。作为该微弱发光，可以举出由于基于半导体组件的缺陷的异常部位而引起的发光、以及伴随着半导体组件中 的晶体管的开关动作的瞬时发光等。再者，也包含基于半导体组件的 缺陷的发热。试料IO是在切削树脂12而使得埋设于树脂12内的半导体组件11 的背面露出的状态下，以半导体组件ll的背面朝上的方式被载置在设 置于观察部A的台面2上。这样，由于切削试料10的一部分而使半导 体组件11的背面露出，因而半导体组件11位于切削树脂12而形成的 凹部13的底面。而且，在本实施方式中，检查装置l检査半导体组件 11的图示下面(形成于半导体组件11的基板表面的集成电路等)。半导体检査装置1具备进行半导体组件11的观察的观察部A、控 制观察部A的各部的动作的控制部B、以及进行半导体组件11的检査 所需的处理及指示等的解析部C。观察部A具备作为取得来自半导体组件11的图像的图像取得机构 的高感度照相机3和激光扫描光学系统(LSM: Laser Scanning Microscope)单元4、配置于高感度照相机3和LSM单元4与半导体 组件11之间、且具有包含物镜21的光学系统20的显微镜5、用于获 得半导体组件ii的放大观察图像的固体浸没透镜6 (参照图2)、以及 使它本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种观察装置，其特征在于，具备， 显微镜，其具有包括物镜的光学系统，将观察对象物放大而进行观察； 固体浸没透镜保持器，其保持被配置于所述物镜的光轴上的固体浸没透镜；以及 振动发生机构，其使被保持于所述固体浸没透镜保持器上的所述固体浸没 透镜振动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：寺田浩敏，田边浩，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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