用于减量系统的有效操作的方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列步骤：利用接口接收信息，其中所述信息与减量系统相关；及响应于该信息关闭工艺工具及减量工具。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电子器件制造系统，更具体地，涉及用于减量系统的有效操作 的方法与装置。
技术介绍
电子器件制造工艺工具(此后以工艺工具代表)传统上采用腔室或其它 适于进行工艺(例如化学气相沉积、外延硅生长与蚀刻等)的合适设备来制造电 子器件。该些工艺可能产生流出物，而流出物则含有不利、有害且/或危险的 作为工艺副产物的化学物质。现有的电子器件制造系统可使用减量设备以处理 或减少流出物。传统减量工具与工艺采用各种原料(例如燃料、试剂、水与电力等)以处理 流出物。该些减量工具通常在其所处理的流出物的极少的信息下进行操作。据此，传统减量工具未最佳地(sub-optimally)使用原料。未最佳地使用原料可能 成为制造设备中不利的成本负担。此外，未最佳使用原料的减量工具则可能更 需经常维修。据此，仍待开发出经改良的用以减量流出物的方法与设备。
技术实现思路
本专利技术的第一方面，提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列 步骤利用接口接收信息，其中该信息与减量系统相关；以及响应于该信息关 闭工艺工具及减量工具。本专利技术的第二方面，提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列 步骤利用接口接收信息，其中该信息关于电子器件工艺工具；以及响应于该 信息将减量工具设成闲置模式。本专利技术的第三方面，提供一种电子器件制造系统，其包含(l)电子器件 制造工艺工具；(2)减量工具，用以减少来自该电子器件制造工艺工具的流出物；(3)原料供应部，用以将原料提供至该减量工具；(4)传感器，用以量测流 至该减量工具的原料流量和该减量工具的操作参数的至少其中之一；以及(5) 接口，用以接收来自该流量传感器的信息，其中该信息包含该原料的流速。依据本专利技术上述或其它方面，可得到其它多个方面。依据下述的实施方式、 权利要求书与所附图示，可使本专利技术其它特征与方面更为清楚。附图说明图1是绘示依照本专利技术的具有电子器件制造工具、泵、接口与减量系统的 电子器件制造系统的示意图。图2是绘示依照本专利技术的实施例的操作电子器件制造系统的方法的流程图。图3是绘示依照本专利技术的实施例的操作电子器件制造系统的第二种方法 的流程图。具体实施例方式如上所述，减量工具通常在流出物信息极少的情形下进行操作，其中该流 出物由工艺工具所产生。就此而论，减量工具通常可在能使减量工具降低最坏 情况(worst-case)流出物负载的单一模式下(下文称作最坏情况模式)进行操 作。然而，来自工艺工具的流出物流量，并非为相同化学物质成份的恒定流量。 反之，随着化学物质成分的改变，流出物流量可具有零流出物流量至最坏情况 流出物流量的范围。以单一、最坏情况模式操作减量系统的净效应可能浪费了 含有燃料、试剂及/或冷却媒的减量原料。本专利技术则提出前述与其它缺点。在一个实施例中，本专利技术提供一种减量工具，其可依据来自工艺工具的性 质与流出物流速，在不同模式下进行操作。因此，举例而言，当工艺工具产生 大量流出物流量时，减量工具可以高速模式(highmode)操作；当工艺工具 产生中等流出物流量时，减量工具可以中速模式(medium mode)操作；及 当工艺工具产生少量流出物流量时，减量工具可以低速模式(lowmode)操 作。此外，若工艺工具并未产生流出物，则减量工具可以闲置模式(idlemode) 操作。当需要用较少的减料原料来降低实际的流出物流量时， 据实际流速与 从工艺工具流出的流出物的特性来选择操作模式，则可使用较少的减量原料。在部份实施例中，减量工具的操作模式可依据在任意特定时间下，所预知 来自工艺工具的流出物特性与流速而进行选择。前述预知可为在工艺工具的处 理腔室中所进行的己知工艺的排程表或模式的形式。当知道工艺的次数与类型 时，则可预测流出物的量与性质。在其它实施例中，减量工具的操作模式可依据流出物构成与流速的实时(real-time)量测来进行选择。尽管依据本专利技术，减量工具可在依流出物的流速及/或化学组成所选择的 模式下进行操作，以最佳化的使用减量原料，但减量工具也可能急需减量原料， 例如燃料、试剂及/或冷却媒。急需意指减量工具并未得到所需用来执行所选模式的燃料、试剂及/ 或冷却媒的量。在此情形下，流出物可能不会完全被减量，或可能产生危害的 情形。因此，在部份实施例中，本专利技术提供流量计，用以测量燃料、试剂及冷 却媒的流量。通过测定用于所选模式的燃料、试剂及/或冷却媒流量的不足， 本专利技术可提供传递警讯及/或指示工艺工具进行关闭。减量工具也可能获得过多的减量原料，例如燃料、试剂及/或冷却媒。通 过测定用于所选模式的燃料、试剂及/或冷却媒流的过量，本专利技术可提供传递 警讯及/或指示工艺工具进行关闭。同样地，减量工具也可能接收到来自工艺工具的非预期流出物，而这可能 导致减量工具在所设计的参数外操作。因此，在部份实施例中，本专利技术提供用 以感测减量工具是否在其所设定的参数外进行操作的传感器，并且如果是的 话，接口或控制器可发出警讯及/或命令工艺工具关闭，以避免对减量工具及/ 或人员产生危害。图1是绘示依据本专利技术的电子器件制造系统100的示意图。电子器件制造 系统100可包含电子器件操作工具或工艺工具102、泵104与减量系统106。 电子器件制造工具102可包含处理腔室108。处理腔室108可经由真空管线110 与减量系统106耦接。泵104可经由导管112与减量系统106耦接。处理腔室 108还可经由流体管线116耦接至化学物质运送单元114。接口 118也可经由 信号线120耦接至处理腔室108、化学物质运送单元114、泵104与减量系统 106。接口 118可为微机、微处理器、逻辑电路、硬件和软件的组合等，适于接收关于工艺工具与减量工具的信息，及传递关于工艺工具与减量工具的信息，及/或传递命令至工艺工具与减量工具。接口 118可适于执行且可执行系统控 制器的功能，或可从系统控制器分离。减量系统106可包含反应器122，其耦接至电源/燃料供应部124、试剂供 应部126以及冷却剂供应部128。燃料供应部124、试剂供应部126以及冷却 剂供应部128可经由燃料导管130、试剂导管132与冷却导管134连接至反应 器122。流量计B6、 138、 140可分别与燃料导管130、试剂导管132与冷却 导管134连接。流量计136、 138、 140可经由信号线120与接口 118耦接。可 使用任何合适的流量计。传感器142可与反应器122耦接且也可经由信号线 120与接口 118耦接。传感器144可与真空管线110耦接且也可经由信号线120 与接口118耦接。反应器122可与导管146连接。在操作时，电子器件制造工具102可适于进行且可进行各种工艺以制造(例 如生产)电子器件。工艺可在压力低于大气压力(例如，约一大气压(atm)等)下， 在处理腔室108中进行。举例而言，部份工艺可在压力约为8至700毫托 (milli-torr， mTorr)下进行，然而也可使用其它压力。为了达到这些压力，泵 104可从处理腔室108移除流出物(例如气体、等离子体等)。流出物可由真空 管线110运送。由泵104所移除的流出物的化学前驱物(例如SiH4、 NF3、 CF4、 BCl3等)， 可由各种方式加入处理腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种操作电子器件制造系统的方法，包含：　利用接口接收信息，其中所述信息关于减量系统；以及　响应于所述信息关闭工艺工具及减量工具。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2007-5-25 60/931,7311.一种操作电子器件制造系统的方法，包含利用接口接收信息，其中所述信息关于减量系统；以及响应于所述信息关闭工艺工具及减量工具。2. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于燃料流量。3. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于试剂流量。4. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于冷却剂流量。5. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于有害或无法接受的无效 减量的情形。6. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于所述减量工具的温度。7. 如权利要求l所述的方法，其中所述信息关于所述减量工具的压力。8. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于所述接收流出物与减量 原料的至少其中一者的减量工具，其中所述接收产生有害或无法接受的无效减 量的情形。9. 如权利要求1所述的方法，其中所述接口使所述工艺工具与所述减量 工具关闭。10. —种操作电子器件制造系统的方法，包含 利用接口接收信息，其中所述信息关于电子器件工艺工具；以及 响应于所述信息将减量工具设成闲置模式。11.如权利要求10所述的方法，其中所述信息还...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔O克拉克，罗伯特M韦尔穆伦，尤塞夫A罗德杰，贝琳达弗利波，梅兰莫莱姆，肖恩W克劳福德，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]