【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空设备，特别是真空设备驱动器。
技术介绍
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开 发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开 对样品的传输和操纵，将外部信号导入真空环境中，密封性能要求严 格，同时要保证驱动顺畅自如，目前的真空驱动设备难以同时满足要 求。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述不足问题，提供一种z轴中空直线驱动器，结构简单，运行顺畅，且密封性能佳。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是Z轴中空直线 驱动器，上法兰与下法兰焊接波纹管，上法兰一体连接外管，外管滑 动套装内管，内管底部固定连接下法兰。所述外管和内管之间装有导向装置，导向装置为直线轴承或导向 块等。所述上下法兰之间装有导向杆。所述内管端头固定装有螺母，外管端头装有轴承座，轴承座内装有轴承，轴承内圈固定安装螺杆，螺杆与螺母螺纹连接。 所述螺杆端头固定装有旋钮。本技术Z轴中空直线驱动器是实现超高真空环境中样品精 确直线驱动和外部信号导入超高真空的重要手段。采用焊接波纹管及 上下法兰来实现真空密封，达到放出气体少的要求，法兰与内管、外 管连接并由其驱动直线运动，运动顺畅，螺纹连接驱动直线驱动位置 控制精确，中空构造可向超高真空中导入各种要素，比如电流和气体 等，法兰采用金属刀口法兰，适合超高真空密封，与真空连接部件采 用金属部件，可耐高温烘烤。附图说明图1为本技术外观结构示意图。图2为本技术结构示意图。图中l旋钮；2外管；3上法兰；4内管；5导向杆；6下法兰； 7波纹管；8螺杆；9螺母；10导向装置；11螺钉。具体实施方式如图1、 2所示的Z...
【技术保护点】
Ｚ轴中空直线驱动器，其特征是：上法兰与下法兰焊接波纹管，上法兰一体连接外管，外管滑动套装内管，内管底部固定连接下法兰。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭方准，
申请(专利权)人：大连齐维科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：91[中国|大连]
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