本实用新型专利技术涉及真空设备。超高真空直线驱动器，涉及导入棒，外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。本实用新型专利技术旋套式直线驱动，安装时角度自由，波纹管密封效果好，达到放出气体少的要求，波纹管压缩和伸展配合直线驱动自由，手动控制直线驱动，位置控制精确。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空设备，特别是其配套的导入器。
技术介绍
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开对样品的传输和操纵，样品在传输和操纵过程中，由于真空设备要求的密封性高，操纵都需要在大气侧进行，很多情况样品需要按直线运动导入，而且在驱动时要保证真空设备与驱动导入器的密封性能，以保证真空环境，目前的直线导入装置精度有待提高，而且均是刚性部件，密封性能差。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述不足问题，提供一种超高真空直线导入器，直线驱动顺畅、自由，密封性能优异，定位简单，密封性佳。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是超高真空直线驱动器，涉及导入棒，外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。所述真空设备连接法兰中心孔内装有导入棒导向装置，导向装置为直线轴承或导向块等。所述真空设备连接法兰由法兰板、轴套和外管连接套一体构成，轴套一端连接法兰板，另一端连接外管连接套，外管连接套端面带有波纹管连接槽。所述可动法兰带有波纹管连接端，带有导入棒连接孔，与导入棒 焊接固定，另一面为套体，套体内装有轴承与推动杆连接。所述固定螺母端外管上套装有旋套，旋套与推动杆固定连接，外 管上带有刻度。本技术旋套式直线驱动，安装时角度自由，采用波纹管来实 现密封，密封效果好，达到放出气体少的要求，而且波纹管压縮和伸 展配合直线驱动自由，导入棒由导向装置导向，使得直线驱动顺畅， 手动控制直线驱动，位置控制精确，和真空接触的部件，全部采用不 锈钢和无氧铜，有利于维持超高真空，可耐高温烘烤，便于系统到达 超高真空。本技术是实现超高真空环境中样品精确直线驱动的重要设备。附图说明图l是本技术结构示意图。图2是本技术固定法兰结构示意图。图3是本技术真空设备连接法兰结构示意图。图4是本技术可动法兰结构示意图。图5是本技术可动法兰与导入棒连接示意图。图中l波纹管；2轴承；3推动杆；4固定螺母；5旋套；6可 动法兰；7外管；8固定法兰；9直线轴承；10真空设备连接法兰； ll导入棒；12法兰盘；13轴套；14外管连接套。具体实施方式如图1所示的超高真空直线导入器，涉及导入棒，外管7 —端装 有固定螺母4，固定螺母与带有外螺纹的推动杆3螺纹连接，推动杆 3另一端通过轴承2与可动法兰6套体连接，可动法兰6套体背面为 波纹管连接端焊接波纹管1 ，波纹管1内侧的可动法兰焊接导入棒11 ， 导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰10中心孔内，中心孔内 装有直线轴承9，作为导入棒的导向装置，使直线运动更加顺畅，导 向装置也可以采用导向块等，真空设备连接法兰10由法兰盘12、轴 套13和外管连接套14 一体构成，轴套一端连接法兰盘，另一端连接 外管连接套，外管连接套端面带有波纹管连接槽，波纹管1另一端与 真空设备连接法兰波纹管连接槽焊接，真空设备连接法兰10固定在 外管7的另一端。固定螺母端外管外套装有旋套5，旋套5与推动杆 3固定连接，外管上带有刻度，根据旋套的位置确定行程。使用时，向右旋转旋套，推动杆随旋套旋转向前运动，通过可动 法兰压縮波纹管，同时驱动可动法兰固定的导入棒运动，使导入棒向 前推进；反之向左旋转旋套，推动杆向后运动，驱动可动法兰4向后 运动，波纹管的弹力作用伸展，同时导入棒向后运动，使导入棒向后 退回。权利要求1、超高真空直线导入器，涉及导入棒，其特征是外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。2、 根据权利要求1所述的超高真空直线导入器，其特征是真空 设备连接法兰中心孔内装有导入棒导向装置，导向装置为直线轴承或 导向块。3、 根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是 真空设备连接法兰由法兰盘、轴套和外管连接套一体构成，轴套一端 连接法兰盘，另一端连接外管连接套，外管连接套端面带有波纹管连 接槽。4、 根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是 可动法兰带有波纹管连接端带有导入棒连接孔，与导入棒焊接固定， 另一面为套体，套体内装有轴承与推动杆连接。15、 根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是 固定螺母端外管上套装有旋套，旋套与推动杆固定连接，外管上带有 刻度。专利摘要本技术涉及真空设备。超高真空直线驱动器，涉及导入棒，外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。本技术旋套式直线驱动，安装时角度自由，波纹管密封效果好，达到放出气体少的要求，波纹管压缩和伸展配合直线驱动自由，手动控制直线驱动，位置控制精确。文档编号B01J3/03GK201404795SQ20092001103公开日2010年2月17日 申请日期2009年2月27日 优先权日2009年2月27日专利技术者郭方准 申请人:大连齐维科技发展有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
超高真空直线导入器，涉及导入棒，其特征是：外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭方准，
申请(专利权)人：大连齐维科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：91[]
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