【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光学测量，具体涉及一种反射率测试系统及反射率对比验证方法。
技术介绍
1、随着光刻技术的发展，对光学元件性能测试提出了更高的要求。反射率是光学元件性能的关键参数，反射率的变化对光路传输有着巨大的影响，甚至直接影响光刻产率，因此，高精度的反射率测试是光刻技术发展的支撑基础。
2、国际上，很多机构基于同步辐射源建设了高精度的反射率测试装置，极大地促进了光刻技术的发展。但在实验研究中，需要频繁地开展反射率测试，所以国际上也基于dpp(discharge produced plasma，放电等离子体)、lpp(laser-produced plasma，激光等离子体)等小型等离子体光源研发了小型反射率测试装置，相较于基于同步辐射源的反射率测试装置，小型反射率测试装置体积小、维护费用低、放置地点灵活，更适用于实验室的日常研究。然而，现有的小型反射率测试装置往往反射率测试精度不高，并且如何验证反射率测试装置的准确性也是本领域亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本公开的目的是提供一种反射率测试系统及反射率对比验证方法，以提高反射率测试精度。
2、本公开实施例提供一种反射率测试系统，包括：
3、沿光路依次设置的光源系统、收集镜腔室以及样品测试腔室；所述收集镜腔室中设置有聚焦收集镜，所述样品测试腔室中设置有滤光片、能量归一化结构、第一能量探测器、位移台和第二能量探测器；
4、所述光源系统，用于产生辐照源，该辐照源发出的光束为具有一定发散角
5、所述聚焦收集镜，用于反射并聚焦所述辐照源发出的光束，聚焦点位于所述样品测试腔室中且位于所述滤光片和所述能量归一化结构之间；
6、在所述样品测试腔室中，所述聚焦收集镜反射并聚焦的光束经过所述滤光片进行滤光处理后聚焦于所述聚焦点，光束经所述聚焦点之后继续传播进入所述能量归一化结构；所述能量归一化结构提取出两束光，分别为测试光束和监测光束，所述监测光束进入所述第一能量探测器，所述测试光束入射到待测样品表面，经样品表面反射后进入所述第二能量探测器；
7、所述位移台，用于安装待测样品和所述第二能量探测器，能够调节样品的测试位置和所述第二能量探测器的探测位置。
8、在一种可能的实现方式中，所述聚焦收集镜、滤光片、第一能量探测器和第二能量探测器的表面镀制有滤光膜层，以获得预设波长和预设带宽的光束。
9、在一种可能的实现方式中，所述系统还包括：
10、抽气泵组，用于对整个反射率测试系统抽真空。
11、在一种可能的实现方式中，所述系统还包括：
12、真空计，用于监测整个反射率测试系统的真空度。
13、在一种可能的实现方式中，所述光源系统采用lpp光源或dpp光源。
14、本公开实施例还提供一种反射率测试方法，基于上述实施例中所述的反射率测试系统，所述方法包括：
15、启动所述光源系统，在样品反射率测试前，将待测样品移出光路，使用第一能量探测器探测监测光束的能量e9i，使用第二能量探测器探测测试光束的能量e11i；
16、在样品反射率测试时，将待测样品调节至光路中预设的位置，入射角设置为θ，将第二能量探测器调节至2θ的位置，此时使用第二能量探测器探测样品的反射光能量e11r，使用第一能量探测器探测监测光束的能量e9r；
17、计算得到能量归一化校准因子f＝e9r/e9i；
18、通过公式r＝e11r/(e11i*f)计算得到样品反射率r。
19、本公开实施例还提供一种反射率对比验证方法，用于上述实施例中所述的反射率测试系统进行验证，所述方法包括：
20、确定对比验证所用的标准反射率测试装置，该标准反射率测试装置使用同步辐射源，测试光束是高单色性的s偏振光；待验证的所述反射率测试系统的测试光束是非单色性的非偏振光；
21、利用所述标准反射率测试装置得到样品在非偏振光下的反射谱rn(λ)，λ表示波长；
22、计算待验证的所述反射率测试系统的测试光束光谱sin(λ)＝s(λ)×r(λ)×t(λ)；其中，s(λ)表示所述光源系统产生的辐照源的辐射光谱分布，r(λ)表示所述聚焦收集镜的反射谱，t(λ)表示所述滤光片的透射谱；
23、计算待验证的所述反射率测试系统中经样品的反射光光谱sr(λ)＝sin(λ)
24、×rn(λ)；
25、计算样品的理论反射率其中，入射到样品上的测试光束光谱sin(λ)波长范围在λ1nm-λ2nm之间，sd(λ)表示能量探测器的光谱响应谱；
26、基于待验证的所述反射率测试系统测试得到样品的反射率rt＝e11r/(e11i*f)；
27、对比样品的理论反射率rtheory和实验测得的反射率rt的差值，根据所述差值进行反射率对比验证。
28、在一种可能的实现方式中，所述利用所述标准反射率测试装置得到样品在非偏振光下的反射谱rn(λ)，包括：
29、利用所述标准反射率测试装置测试样品的反射率，根据样品在两种不同偏振度的s偏振光下的反射率计算得到样品在非偏振光下的反射率rn＝
30、(rs+rp)/2；其中，rs表示在s偏振光下的反射率，rp表示在p偏振光下的反射率；
31、扫描入射光波长进行测试得到样品在非偏振光下的反射谱rn(λ)。
32、本公开与现有技术相比的优点在于：
33、本公开提供的反射率测试系统包括：沿光路依次设置的光源系统、收集镜腔室以及样品测试腔室；所述收集镜腔室中设置有聚焦收集镜，所述样品测试腔室中设置有滤光片、能量归一化结构、第一能量探测器、位移台和第二能量探测器。相较于现有技术，本申请提供的反射率测试系统结构简单，并且能够通过本申请提供的反射率对比验证方法验证并提高测试结果的准确性，因此能够在使反射率测试系统小型化的情况下，保证反射率测试准确性。
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1.一种反射率测试系统，其特征在于，包括：沿光路依次设置的光源系统、收集镜腔室以及样品测试腔室；所述收集镜腔室中设置有聚焦收集镜，所述样品测试腔室中设置有滤光片、能量归一化结构、第一能量探测器、位移台和第二能量探测器；
2.根据权利要求1所述的反射率测试系统，其特征在于，所述聚焦收集镜、滤光片、第一能量探测器和第二能量探测器的表面镀制有滤光膜层，以获得预设波长和预设带宽的光束。
3.根据权利要求1所述的反射率测试系统，其特征在于，所述系统还包括：
4.根据权利要求3所述的反射率测试系统，其特征在于，所述系统还包括：
5.根据权利要求1所述的反射率测试系统，其特征在于，所述光源系统采用LPP光源或DPP光源。
6.一种反射率测试方法，其特征在于，基于权利要求1-5中任一项所述的反射率测试系统，所述方法包括：
7.一种反射率对比验证方法，用于对权利要求1-5中任一项所述的反射率测试系统进行验证，其特征在于，所述方法包括：
8.根据权利要求7所述的反射率对比验证方法，其特征在于，所述利用所述标准反射率测
...【技术特征摘要】
1.一种反射率测试系统，其特征在于，包括：沿光路依次设置的光源系统、收集镜腔室以及样品测试腔室；所述收集镜腔室中设置有聚焦收集镜，所述样品测试腔室中设置有滤光片、能量归一化结构、第一能量探测器、位移台和第二能量探测器；
2.根据权利要求1所述的反射率测试系统，其特征在于，所述聚焦收集镜、滤光片、第一能量探测器和第二能量探测器的表面镀制有滤光膜层，以获得预设波长和预设带宽的光束。
3.根据权利要求1所述的反射率测试系统，其特征在于，所述系统还包括：
4.根据权利要求3所述的反射率测试系...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢婉露，吴晓斌，韩晓泉，王魁波，李慧，沙鹏飞，罗艳，谭芳蕊，丁金滨，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：
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