【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种夹持设备和包括该夹持设备的运输装置。
技术介绍
1、为了制造半导体器件，利用半导体生产线内的相应半导体加工设备来执行诸如沉积、光刻和蚀刻的工艺。对这种半导体制造工艺至关重要的对象(诸如，晶圆)能够储存在类似前开式晶圆传送盒(front opening unified pod，foup)的容器中并被递送到每个半导体加工设备。在完成半导体制造工艺之后，对象从每个半导体加工设备返回到容器，然后这些经填充的容器能够向外部运输。
2、这些容器能够使用诸如高架式起吊运输(overhead hoist transport，out)系统的输送设备在制造工艺设施之间运输。例如，这些输送设备可以包括配置为在安装在清洁室的顶棚上的轨道上行进的车辆。
3、在半导体生产线中，不仅需要运输基板和/或芯片，还需要运输需要装在箱体里的各种物品(诸如，带)。因此，需要改进以能够使用现有设施运输这些物品，而不需要操作员手动提升箱体。
技术实现思路
1、本公开的方面提供了一种能够使用通常用于传送基板的运输装置来运输各种物品的夹持设备和包括该夹持设备的运输装置。
2、然而，本公开的方面不限于本文陈述的那些方面。通过参考下面给出的对本公开的详细描述，本公开的上述和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得显而易见。
3、根据本专利技术的方面，一种连接到用于在半导体制造厂中运输待运输的物品的车辆的夹持设备包括：基部单元，该基部单元设置在车辆上、以能够上下移
4、根据本公开的另一方面，运输装置包括：车辆(vehicle)，该车辆用于在半导体制造厂中运输待运输的物品；以及前述的夹持设备。
5、根据本公开的另一方面，运输装置包括：多个车辆，该多个车辆用于在半导体制造厂中运输待运输的箱状物品，该物品包括第一目标物品以及第二目标物品，该第一目标物品支承在第一支架(stand)上并且具有第一规格和第二规格，该第二目标物品支承在第二支架上并且具有与该第一规格和第二规格不同的第三规格和第四规格；基部单元，该基部单元设置在车辆上、以能够上下移动，该基部单元包括第一板和第二板，该第一板连接到车辆中的一者，该第二板连接到车辆中的另一者；以及手部单元，该手部单元用于夹持或释放物品，该手部单元设置在基部单元上并且具有调节性间距以固定或释放物品，其中，该手部单元包括：第一手部模块，该第一手部模块用于夹持或释放第一目标物品，该第一目标物品包括第一结合体(coupling)以及第一传感器，第一突出体安置到第一结合体中，该第一传感器用于检测第一支架；以及第二手部模块，该第二手部模块用于夹持或释放第二目标物品，该第二手部模块包括安置到安置槽的第二结合体，该第一手部模块包括：第一电机，该第一电机包括第一轴和第一托架(bracket)，该第一轴具有形成在其外周向表面上的第一螺纹，该第一托架使该第一轴是能够旋转的(旋转性的，rotatable)、且该第一托架固定到该第一板；第一移动模块，该第一移动模块包括直线运动(linear motion，lm)导向件、第一移动块以及第一连接块，该直线运动导向件设置在该第一板上，该第一移动块设置为能够在该lm导向件上滑动，该第一连接块在两端处设置有第一移动块、并且具有在其内周面上形成有与该第一螺纹啮合的第二螺纹的第一通孔，并且该第一连接块朝向第一电机弯曲；以及一对第一夹持器，该第一夹持器连接到第一移动模块并在其底部处设置有第一支承板，该第一支承板向下朝向第一目标物品延伸、以接触第一目标物品的下表面，并且该第二手部模块包括：第二电机，该第二电机设置有第二轴，该第二轴在其外周向表面上形成有第三螺纹；第二移动模块，该第二移动模块包括第二连接块和一对第二移动块，该第二连接块具有形成有与第三螺纹啮合的第四螺纹的第二通孔，该第二连接块通过接收来自第二电机的旋转力而线性移动，并且该第二连接块在两端处弯曲成锐角或钝角，该第二连接块具有形成在其中的导向孔，该第二移动块包括沿导向孔滑动或拉动的凸轮从动件，并且该第二移动块的间距能够与第二连接块一起调节；一对第二夹持器，该第二夹持器连接到第二移动模块，并且包括第一杆、第二支承板以及第三支承板，该第一杆具有与第二目标物品的周向表面相对的弯曲表面和从该弯曲表面向下延伸的延伸表面，该第二支承板设置在第一杆的下端处并朝向第二目标物品延伸、以支承第二目标物品的下表面，该第三支承板沿与第一杆的弯曲表面不同的方向延伸、以与第二目标物品的周向表面相对；以及固定块，该固定块包括第一块、第二块以及第三传感器，该第一块连接到第二板并接触具有第三规格的第二目标物品，该第二块连接到第二板并接触具有第四规格的第二目标物品，该第三传感器用于检测与第二目标物品的接触。
6、应当注意，本公开的效果不限于上面描述的效果，并且本公开的其他效果将从以下描述中显而易见。
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1.一种夹持设备，所述夹持设备连接到用于在半导体制造厂中运输待运输的物品的车辆，所述夹持设备包括：
2.根据权利要求1所述的夹持设备，其中，
3.根据权利要求2所述的夹持设备，其中，
4.根据权利要求2所述的夹持设备，其中：
5.根据权利要求2所述的夹持设备，其中，
6.根据权利要求1所述的夹持设备，其中，
7.根据权利要求6所述的夹持设备，其中，所述第一夹持器包括第一支承板，所述第一支承板在所述夹持器的底部处向下朝向所述物品延伸、以接触所述物品的下表面。
8.根据权利要求6所述的夹持设备，其中，所述第一移动模块包括：直线运动导向件，所述直线运动导向件设置在所述第一板上并且在所述第一夹持器接近所述物品或与所述物品分离的方向上延伸；以及第一移动块，所述第一移动块设置为能够在所述直线运动导向件上滑动。
9.根据权利要求8所述的夹持设备，其中，所述第一移动模块还包括第一连接块，所述第一连接块在两端处设置有所述第一移动块、具有形成在其中的第一通孔并且朝向所述第一电机弯曲。
10.根
11.根据权利要求1所述的夹持设备，其中，
12.根据权利要求11所述的夹持设备，其中，所述第二夹持器包括：第一杆，所述第一杆具有与所述物品的周向表面相对的弯曲表面和从所述弯曲表面向下延伸的延伸表面；第二支承板，所述第二支承板设置在所述第一杆的下端处并朝向所述物品延伸、以支承所述物品的下表面；以及第三支承板，所述第三支承板以与所述第一杆的弯曲表面不同的方向延伸、以与所述物品的周向表面相对。
13.根据权利要求12所述的夹持设备，其中，所述手部单元还包括固定块，所述固定块连接到所述第二板并且设置有用于检测与所述物品的接触的第三传感器。
14.根据权利要求13所述的夹持设备，其中，所述固定块包括：第一块，所述第一块连接到所述第二板并且接触具有第三规格的所述物品；以及第二块，所述第二块连接到所述第二板并且接触具有不同于所述第三规格的第四规格的所述物品，并且设置有将所述第二块连接到所述第二板的连接器。
15.一种运输装置，所述运输装置包括：
16.一种运输装置，所述运输装置包括：
...【技术特征摘要】
1.一种夹持设备，所述夹持设备连接到用于在半导体制造厂中运输待运输的物品的车辆，所述夹持设备包括：
2.根据权利要求1所述的夹持设备，其中，
3.根据权利要求2所述的夹持设备，其中，
4.根据权利要求2所述的夹持设备，其中：
5.根据权利要求2所述的夹持设备，其中，
6.根据权利要求1所述的夹持设备，其中，
7.根据权利要求6所述的夹持设备，其中，所述第一夹持器包括第一支承板，所述第一支承板在所述夹持器的底部处向下朝向所述物品延伸、以接触所述物品的下表面。
8.根据权利要求6所述的夹持设备，其中，所述第一移动模块包括：直线运动导向件，所述直线运动导向件设置在所述第一板上并且在所述第一夹持器接近所述物品或与所述物品分离的方向上延伸；以及第一移动块，所述第一移动块设置为能够在所述直线运动导向件上滑动。
9.根据权利要求8所述的夹持设备，其中，所述第一移动模块还包括第一连接块，所述第一连接块在两端处设置有所述第一移动块、具有形成在其中的第一通孔并且朝向所述第一电机弯曲。
10.根据权利要求6所述的夹持设备，其中，所述第一电机...
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