【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体，尤其涉及一种电子光学系统校准装置及半导体检测设备。
技术介绍
1、特征尺寸测量用扫描电子显微镜(critical dimension scanning electronmicroscope，简称cd-sem)是半导体制造前道工艺的重要设备，对验证前道工艺参数设定的合理性和可靠性具有重要意义。
2、在使用cd-sem进行检测时，使被检测物体位于电子光学系统(electronicoptical system，简称eos)的工作距离内尤为重要，如何对eos的工作距离进行校准，成为制约cd-sem检测作业的重要因素。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种电子光学系统校准装置及半导体检测设备，该电子光学系统校准装置可以提高工作距离的校准精度。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种电子光学系统校准装置，其包括柔性校准件和测量仪器；所述柔性校准件用于校准电子光学系统，所述柔性校准件包括标定件和弹性件，所述标定件设有面向所述电子光学系统的极靴的校准端，所述校准端用于与所述极靴接触以校准所述电子光学系统的零位，所述校准端设有校准标识，所述校准标识用于为所述电子光学系统的调节提供参照，所述弹性件与所述标定件背向所述极靴的一端相连，所述弹性件用于发生弹性形变以为所述标定件接触所述极靴时提供缓冲；所述测量仪器与所述标定件及所述极靴电气连接，用于形成感应回路以在所述标定件与所述极靴接触时导通、分离时断开。
3、可选地，所述柔性校准件还包括基座，所述基
4、可选地，所述导向孔沿自身轴线依次包括配合孔段、限位孔段和避让孔段；所述标定件沿自身轴线依次包括配合段、限位段和外延段，所述配合段与所述配合孔段滑动配合，所述限位段位于所述限位孔段内，所述外延段穿过所述避让孔段凸出于所述基座表面，所述校准端位于所述外延段上；其中，所述弹性件一端与所述限位孔段背向所述避让孔段的一端相抵、另一端与所述限位段背向所述避让孔段的一端相抵，所述限位段的轮廓位于所述配合孔段以及所述避让孔段轮廓的外侧，所述限位段用于抵接所述限位孔段的端面以为所述标定件限位。
5、可选地，所述导向孔还包括容纳孔段，所述容纳孔段位于所述配合孔段与所述限位孔段之间，用于为所述弹性件提供容纳空间；所述容纳孔段的轮廓位于所述配合孔段的轮廓的外侧，所述限位孔段的轮廓位于所述容纳孔段的轮廓的外侧，所述弹性件一端与所述容纳孔段背向所述避让孔段的一端相抵、另一端与所述限位段背向所述避让孔段的一端相抵。
6、可选地，所述配合段凸出于所述基座表面，所述配合段的端面上设有连接口，所述连接口与所述测量仪器的导线相连。
7、可选地，所述柔性校准件还包括调节杆，所述调节杆与所述基座螺纹连接，并抵接于所述限位段面向所述避让孔段的端面，用于调节所述外延段在所述基座表面的凸出量。
8、可选地，所述柔性校准件还包括调节套，所述调节套套设于所述标定件的外侧，所述调节套包括法兰部和外延部，所述法兰部覆盖所述限位段，所述外延部至少部分覆盖所述外延段，所述法兰部用于抵接所述调节杆以为所述标定件限位，所述外延部用于强化所述调节套与所述标定件的连接。
9、可选地，所述调节套的硬度大于所述标定件的硬度，所述极靴的硬度大于所述标定件的硬度；所述标定件的材质为铝，所述调节套的材质为铜。
10、可选地，所述基座沿所述导向孔的轴线依次包括配合块、限位块和连接块，所述配合块、所述限位块、所述连接块可拆卸式连接；所述配合块上设有所述配合孔段与所述容纳孔段，所述限位块上设有所述限位孔段，所述连接块上设有所述避让孔段，所述连接块与所述调节杆螺纹连接。
11、第二方面，本申请实施例提供了一种半导体检测设备，其包括电子光学系统、载物台和第一方面任意实施例中的所述电子光学系统校准装置；其中，所述柔性校准件可拆卸的安装在所述载物台上。
12、第三方面，本申请实施例提供了一种电子光学系统校准方法，其包括提供电子光学系统校准装置，所述电子光学系统校准装置包括柔性校准件及测量仪器，将所述柔性校准件设置为抵接所述电子光学系统的极靴时发生弹性形变，并在所述柔性校准件上设置校准标识；将所述测量仪器与所述柔性校准件及所述极靴进行电气连接以形成感应回路，其中，所述测量仪器能够感应所述柔性校准件及所述极靴之间的通断；将所述柔性校准件移动至与所述极靴抵接，使所述感应回路导通之后再将所述柔性校准件远离所述极靴移动，将所述感应回路断开时刻所述柔性校准件与所述极靴的分离位置记录为零位；继续将所述柔性校准件远离所述极靴移动，以所述零位为基准移动所述电子光学系统的标定距离至调节位；以位于所述调节位的所述校准标识为参照物，对所述电子光学系统进行校准作业，在所述电子光学系统的景深范围内将所述校准标识的像素调节至最大值，以完成校准。
13、可选地，提供所述电子光学系统校准装置时，将所述柔性校准件安装在载物台上，所述载物台用于朝向或远离所述极靴移动；将所述载物台配置为最小运动分辨率小于所述电子光学系统的景深；将所述柔性校准件设置于所述载物台上，并将所述柔性校准件与所述电子光学系统调节为中心重合。
14、可选地，将所述柔性校准件移动至与所述极靴抵接，包括对所述载物台的行程进行限位，由所述柔性校准件与所述极靴开始接触至所述柔性校准件开始远离所述极靴移动前，将所述载物台的行程设置为小于所述柔性校准件的最大弹性形变量。
15、可选地，所述感应回路导通之后再将所述柔性校准件远离所述极靴移动，包括所述载物台以最小运动分辨率带动所述柔性校准件远离所述极靴移动，直至所述感应回路断开。
16、可选地，将所述感应回路断开时刻所述柔性校准件与所述极靴的分离位置记录为零位，包括在所述极靴上取单个接触点进行多次复测，取所述分离位置的平均值或平方根值记录为所述零位；和/或在所述极靴上绕圆周取多个接触点进行多次复测，取所述分离位置的平均值或平方根值记录为所述零位。
17、本申请实施例提供了一种电子光学系统校准装置，该电子光学系统校准装置包括柔性校准件和测量仪器，柔性校准件包括标定件和弹性件。弹性件可以为标定件提供缓冲，从而避免标定件压伤极靴。测量仪器与极靴以及标定件形成感应回路，在判断标定件与极靴是否接触时可以提高判断的准确性，从而提高校准精度。电子光学系统校准装置可以通过标定件、弹性件和测量仪器实现对电子光学系统的零位校准，并在电子光学系统的理论工作距离处通过校准标识为电子光学系统的参数调节提供参照，将电子光学系统的理论工作距离与实际工作距离调节为趋于一致，可以实现对工作距离的绝对校准，校准误差小，精度高，有利于提高多个电子光学系统之间的互换性。
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1.一种电子光学系统校准装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述柔性校准件(2)还包括基座(21)，所述基座(21)设有导向孔，所述导向孔用于提供滑动导向，所述标定件(22)与所述导向孔滑动配合，所述弹性件(25)在滑动方向上连接于所述标定件(22)与所述基座(21)之间。
3.根据权利要求2所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述导向孔沿自身轴线依次包括配合孔段(217)、限位孔段(215)和避让孔段(214)；
4.根据权利要求3所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述导向孔还包括容纳孔段(216)，所述容纳孔段(216)位于所述配合孔段(217)与所述限位孔段(215)之间，用于为所述弹性件(25)提供容纳空间；
5.根据权利要求3所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述配合段(224)凸出于所述基座(21)表面，所述配合段(224)的端面上设有连接口(225)，所述连接口(225)与所述测量仪器(4)的导线相连。
6.根据权利要求4所述的电子光学系统校准
7.根据权利要求6所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述柔性校准件(2)还包括调节套(24)，所述调节套(24)套设于所述标定件(22)的外侧，所述调节套(24)包括法兰部(242)和外延部(241)，所述法兰部(242)覆盖所述限位段(223)，所述外延部(241)至少部分覆盖所述外延段(222)，所述法兰部(242)用于抵接所述调节杆(23)以为所述标定件(22)限位，所述外延部(241)用于强化所述调节套(24)与所述标定件(22)的连接。
8.根据权利要求7所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述调节套(24)的硬度大于所述标定件(22)的硬度，所述极靴(1)的硬度大于所述标定件(22)的硬度；
9.根据权利要求7所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述基座(21)沿所述导向孔的轴线依次包括配合块(213)、限位块(212)和连接块(211)，所述配合块(213)、所述限位块(212)、所述连接块(211)可拆卸式连接；
10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种电子光学系统校准装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述柔性校准件(2)还包括基座(21)，所述基座(21)设有导向孔，所述导向孔用于提供滑动导向，所述标定件(22)与所述导向孔滑动配合，所述弹性件(25)在滑动方向上连接于所述标定件(22)与所述基座(21)之间。
3.根据权利要求2所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述导向孔沿自身轴线依次包括配合孔段(217)、限位孔段(215)和避让孔段(214)；
4.根据权利要求3所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述导向孔还包括容纳孔段(216)，所述容纳孔段(216)位于所述配合孔段(217)与所述限位孔段(215)之间，用于为所述弹性件(25)提供容纳空间；
5.根据权利要求3所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述配合段(224)凸出于所述基座(21)表面，所述配合段(224)的端面上设有连接口(225)，所述连接口(225)与所述测量仪器(4)的导线相连。
6.根据权利要求4所述的电子光学系统校准装置，其特征在于，所述柔性校准件(2)还包括调节杆(23)，所述调节杆(23)与所述基座(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：许鸿亮，米涛，张禧晨，张之光，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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