【技术实现步骤摘要】
本申请涉及熔石英元件制造设备，尤其是涉及一种熔石英元件转运装置及自动化生产线。
技术介绍
1、熔石英(又称合成石英)因其卓越的光学性能、热稳定性以及低热膨胀系数而在半导体制造、光学仪器、激光系统等领域有广泛应用。为了提高生产效率和降低人为误差，引入自动化生产系统对于熔石英元件的转运装置至关重要。熔石英元件转运装置作为专用熔石英元件自动化传输的核心模块，直接影响熔石英元件在不同工艺设备之间的传输效率与安全性。
2、然而，现今的熔石英元件的转运装置是各种形状的定位块集成装配，结构复杂，装配不便，同时可操作性差，对熔石英元件兼容性不好，很难实现产线的自动化传输；且转运装置通常针对某一种或者两种产线设备，不具备多种工艺设备的定位兼容性，使得工艺设备适用范围小。
3、此外，转运装置多为简易的金属材料焊接，使用过程极易倾覆，损坏熔石英元件，不适用自动化传输。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种熔石英元件转运装置及自动化生产线，以在一定程度上解决现有技术中存在的现今的熔石英元件的转运装置是各种形状的定位块集成装配，结构复杂，装配不便，同时可操作性差，对熔石英元件兼容性不好，很难实现产线的自动化传输；且转运装置通常针对某一种或者两种产线设备，不具备多种工艺设备的定位兼容性，使得工艺设备适用范围小的技术问题。
2、根据本申请的第一方面提供一种熔石英元件转运装置，包括转运车、吊装框架和吊篮组件，所述吊装框架包括第一支架、第二支架和连接横梁，所述第一支架和所述
3、所述转运车设置于所述承托空间，所述吊篮组件设置于所述置件空间，所述吊装框架分别与所述转运车和所述吊篮组件可拆卸连接。
4、优选地，所述吊篮组件包括承托杆和托架，所述承托杆沿所述第一方向延伸，所述托架用于固定熔石英元件，所述托架设置于所述承托杆上；
5、所述第一支架和所述第二支架两者的远离所述转运车的一端均设置有第一限位槽；
6、在所述吊篮组件设置于所述置件空间的状态下，所述承托杆的在所述第一方向上的两端分别设置于所述第一支架和所述第二支架两者的第一限位槽内。
7、优选地，所述托架包括v型托架和两个吊架，所述吊架沿重力方向延伸，所述v型托架两端分别与两个所述吊架的第一端连接，两个所述吊架的第二端固定于所述承托杆。
8、优选地，所述吊装框架还包括对接板，所述对接板固定设置于所述连接横梁，所述转运车的面对所述对接板的一侧设置有升降限位部，所述升降限位部和所述对接板两者中的一者设置有对接槽，所述升降限位部和所述对接板两者中的另一者设置有与所述对接槽对应设置的限位销，所述升降限位部能够沿重力方向上升和下降，以驱动所述限位销伸入和移出所述对接槽。
9、优选地，所述连接横梁设置于所述吊装框架的在重力方向上的下半部分；
10、所述熔石英元件转运装置还包括配重块，所述配重块设置于所述连接横梁。
11、优选地，所述第一支架和所述第二支架两者的底端均设置有万向轮。
12、优选地，所述第一支架和所述第二支架两者均为平行于预定平面的矩形框，所述预定平面为重力方向和第二方向两者所确认的平面，所述第二方向垂直与所述重力方向和所述第一方向两者所确认的平面；
13、所述矩形框还设置有沿所述第二方向延伸的支撑梁。
14、优选地，还包括第一限位块，所述吊装框架在所述第一方向上的两侧均设置有所述第一限位块；
15、所述第一限位块的背对所述吊装框架的一侧设置有第二限位槽，所述第二限位槽用于与目标位置的第一定位装置对接。
16、优选地，还包括第二限位块，所述吊装框架在第二方向上的两侧均设置有所述第二限位块，所述第二方向与所述第一方向和重力方向两者所确定的平面垂直；
17、所述第二限位块的背对所述吊装框架的一侧设置有第三限位槽，所述第三限位槽用于与目标位置的第二定位装置对接。
18、根据本申请的第二方面提供一种自动化生产线，包括上述任一技术方案所述的熔石英元件转运装置，因而，具有该熔石英元件转运装置的全部有益技术效果，在此，不再赘述。
19、与现有技术相比，本申请的有益效果为：
20、本申请提供的熔石英元件转运装置，通过连接横梁两级沿第一方向间隔设置的第一支架和第二之间，以使得连接横梁将第一支架和第二支架两者之间的容纳空间分隔成沿重力方向依次设置的置件空间和承托空间，并将转运车可拆写地设置于承托空间，吊篮组件可拆卸地设置于置件空间，如此，第一方面，将转运车和吊篮组件分别设置于相对置件空间和承托空间，有效简化转运装置的结构，减少转运车对熔石英元件的影响，保证熔石英元件在转运过程中的稳定性；第二方面，通过转运车与吊装框架两者地可拆卸，能够提高转运装置的可维修性、可换件性(即，一旦转运车或者吊装框架发生损坏，可以通过拆卸实现换件、维修等操作)，并且提高了转运车的利用率(即，在熔石英元件处于非运输状态(例如，加工状态、闲置状态等)时，转运车能够自吊装框架卸下，并用于运输其他待运输物)；第三方面，吊篮组件与吊装框架两者地可拆卸，能够使得熔石英元件转运装置适应不同规格不同结构的熔石英元件或者其他待运输物，有效提高熔石英元件转运装置的兼容性。
21、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
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1.一种熔石英元件转运装置，其特征在于，包括转运车、吊装框架和吊篮组件，所述吊装框架包括第一支架、第二支架和连接横梁，所述第一支架和所述第二支架两者沿第一方向间隔设置，以在所述第一支架和所述第二支架两者之间形成容纳空间，所述连接横梁设置于所述容纳空间内，所述连接横梁与所述第一支架和所述第二支架两者固定连接，以将所述容纳空间分隔成沿重力方向依次设置的置件空间和承托空间；
2.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，所述托架包括V型托架和两个吊架，所述吊架沿重力方向延伸，所述V型托架两端分别与两个所述吊架的第一端连接，两个所述吊架的第二端固定于所述承托杆。
4.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，所述吊装框架还包括对接板，所述对接板固定设置于所述连接横梁，所述转运车的面对所述对接板的一侧设置有升降限位部，所述升降限位部和所述对接板两者中的一者设置有对接槽，所述升降限位部和所述对接板两者中的另一者设置有与所述对接槽对应设置的限位销，所述升降限位部能够沿重力方向上升和
5.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架两者的底端均设置有万向轮。
7.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架两者均为平行于预定平面的矩形框，所述预定平面为重力方向和第二方向两者所确认的平面，所述第二方向垂直与所述重力方向和所述第一方向两者所确认的平面；
8.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，还包括第一限位块，所述吊装框架在所述第一方向上的两侧均设置有所述第一限位块；
9.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，还包括第二限位块，所述吊装框架在第二方向上的两侧均设置有所述第二限位块，所述第二方向与所述第一方向和重力方向两者所确定的平面垂直；
10.一种自动化生产线，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的熔石英元件转运装置。
...【技术特征摘要】
1.一种熔石英元件转运装置，其特征在于，包括转运车、吊装框架和吊篮组件，所述吊装框架包括第一支架、第二支架和连接横梁，所述第一支架和所述第二支架两者沿第一方向间隔设置，以在所述第一支架和所述第二支架两者之间形成容纳空间，所述连接横梁设置于所述容纳空间内，所述连接横梁与所述第一支架和所述第二支架两者固定连接，以将所述容纳空间分隔成沿重力方向依次设置的置件空间和承托空间；
2.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，所述托架包括v型托架和两个吊架，所述吊架沿重力方向延伸，所述v型托架两端分别与两个所述吊架的第一端连接，两个所述吊架的第二端固定于所述承托杆。
4.根据权利要求1所述的熔石英元件转运装置，其特征在于，所述吊装框架还包括对接板，所述对接板固定设置于所述连接横梁，所述转运车的面对所述对接板的一侧设置有升降限位部，所述升降限位部和所述对接板两者中的一者设置有对接槽，所述升降限位部和所述对接板两者中的另一者设置有与所述对接槽对应设置的限位销，...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭立刚，刘广杰，刘凯文，吴楠，郑静涛，赵翔宇，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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