【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种气浮dd马达。
技术介绍
1、dd(driectdriver)马达为旋转电机的一种，能够将电能转化为旋转的机械能。且dd马达无需外部减速器，直接和负载相连，减少了中间传动环节，精度较之伺服电机更高。
2、但是dd马达采用的仍然是机械滚珠轴承，不可避免的会存在轴承游隙以及机械摩擦，导致在回转精度上仍有一定的局限性。在晶圆检测等超高精度行业，需要水平运动的xy轴、其它轴以及dd马达叠加后综合跳动量达到3μm以内，而一般机械滚珠轴承的dd马达的跳动量只能做到2-5μm，无法满足精度要求，这就对dd马达的精度提出了较高的要求。
技术实现思路
1、针对现有技术不足，本专利技术的目的在于提供一种气浮dd马达。
2、为了实现上述目的，本专利技术一实施例提供的技术方案如下：
3、一种气浮dd马达，包括：
4、底座，所述底座内设置有通道；
5、气浮定子，固定于所述底座，所述气浮定子内设置有气道，所述气道与所述通道相连通；
6、气浮转子，覆盖在所述气浮定子上且环设于所述气浮定子外，所述气浮转子与所述气浮定子之间形成有上轴向间隙、径向间隙以及下轴向间隙，所述上轴向间隙、径向间隙以及下轴向间隙均与所述气道相连通；
7、旋转驱动组件，所述旋转驱动组件连接于所述气浮转子且可带动所述气浮转子相对于所述气浮定子转动。
8、作为本专利技术的进一步改进，所述气浮转子包括载台、连接于所述载台
9、作为本专利技术的进一步改进，所述安装座连接有圆光栅，所述底座上连接有读数头，所述读数头用于读取所述圆光栅的旋转数值。
10、作为本专利技术的进一步改进，所述上轴向间隙、径向间隙以及下轴向间隙均为8-10μm。
11、作为本专利技术的进一步改进，所述旋转驱动组件包括电机定子、与所述电机定子相耦合的电机转子，所述电机定子固定于所述底座，所述电机转子连接于所述气浮转子。
12、作为本专利技术的进一步改进，还包括外壳，所述外壳环设于所述电机定子外，所述电机定子与所述外壳过盈配合，所述外壳与所述底座过盈配合。
13、作为本专利技术的进一步改进，还包括动密封固定件和动密封旋转件，所述动密封固定件沿轴向的一端连接于所述底座，另一端伸入所述气浮定子内，所述动密封旋转件沿轴向的一端配合在所述动密封固定件内，另一端位于所述气浮转子内且与所述气浮转子相连接，所述动密封旋转件的顶面低于所述气浮转子的承载面，所述动密封固定件分别连通于所述底座、动密封旋转件。
14、作为本专利技术的进一步改进，所述气浮转子的承载面设置有台阶孔，所述台阶孔包括沿轴向依次相连通且孔径依次减小的第一通孔、第二通孔与第三通孔。
15、作为本专利技术的进一步改进，所述动密封旋转件与所述动密封固定件之间的配合间隙为8-10μm。
16、作为本专利技术的进一步改进，所述气浮转子的承载面与所述动密封旋转件的顶面的高度差为0.5-1mm。
17、作为本专利技术的进一步改进，所述底座内设置有第一负压气路，所述动密封固定件内设置有第二负压气路，所述动密封旋转件内设置有第三负压气路，所述第一负压气路、第二负压气路、第三负压气路依次相连通。
18、本专利技术的有益效果是：
19、本专利技术的气浮dd马达的轴向跳动和径向跳动小，使得跳动量能够达到200nm以及甚至是100nm，精度高，保证设置在气浮dd马达上的晶圆平面度要求，通过复合在载台和气浮定子内部的动密封固定件与动密封旋转件实现对晶圆的负压吸附，达到直接吸附晶圆的效果，极大减轻了气浮dd马达的整体尺寸及质量，实现了晶圆加工的轻量化。
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1.一种气浮DD马达，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种气浮DD马达，其特征在于，所述气浮转子包括载台、连接于所述载台底端的安装座，所述载台与所述气浮定子的上表面之间形成所述上轴向间隙，所述载台与所述气浮定子的外周面之间形成所述径向间隙，所述安装座与所述气浮定子的下表面之间形成所述下轴向间隙。
3.根据权利要求2所述的一种气浮DD马达，其特征在于，所述安装座连接有圆光栅，所述底座上连接有读数头，所述读数头用于读取所述圆光栅的旋转数值。
4.根据权利要求1所述的一种气浮DD马达，其特征在于，所述上轴向间隙、径向间隙以及下轴向间隙均为8-10μm。
5.根据权利要求1所述的一种气浮DD马达，其特征在于，所述旋转驱动组件包括电机定子、与所述电机定子相耦合的电机转子，所述电机定子固定于所述底座，所述电机转子连接于所述气浮转子。
6.根据权利要求5所述的一种气浮DD马达，其特征在于，还包括外壳，所述外壳环设于所述电机定子外，所述电机定子与所述外壳过盈配合，所述外壳与所述底座过盈配合。
7.根据权利要求1-
8.根据权利要求7所述的一种气浮DD马达，其特征在于，所述气浮转子的承载面设置有台阶孔，所述台阶孔包括沿轴向依次相连通且孔径依次减小的第一通孔、第二通孔与第三通孔。
9.根据权利要求7所述的一种气浮DD马达，其特征在于，所述动密封旋转件与所述动密封固定件之间的配合间隙为8-10μm。
10.根据权利要求7所述的一种气浮DD马达，其特征在于，所述气浮转子的承载面与所述动密封旋转件的顶面的高度差为0.5-1mm。
11.根据权利要求7所述的一种气浮DD马达，其特征在于，所述底座内设置有第一负压气路，所述动密封固定件内设置有第二负压气路，所述动密封旋转件内设置有第三负压气路，所述第一负压气路、第二负压气路、第三负压气路依次相连通。
...【技术特征摘要】
1.一种气浮dd马达，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种气浮dd马达，其特征在于，所述气浮转子包括载台、连接于所述载台底端的安装座，所述载台与所述气浮定子的上表面之间形成所述上轴向间隙，所述载台与所述气浮定子的外周面之间形成所述径向间隙，所述安装座与所述气浮定子的下表面之间形成所述下轴向间隙。
3.根据权利要求2所述的一种气浮dd马达，其特征在于，所述安装座连接有圆光栅，所述底座上连接有读数头，所述读数头用于读取所述圆光栅的旋转数值。
4.根据权利要求1所述的一种气浮dd马达，其特征在于，所述上轴向间隙、径向间隙以及下轴向间隙均为8-10μm。
5.根据权利要求1所述的一种气浮dd马达，其特征在于，所述旋转驱动组件包括电机定子、与所述电机定子相耦合的电机转子，所述电机定子固定于所述底座，所述电机转子连接于所述气浮转子。
6.根据权利要求5所述的一种气浮dd马达，其特征在于，还包括外壳，所述外壳环设于所述电机定子外，所述电机定子与所述外壳过盈配合，所述外壳与所述底座过盈配合。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：章晓旗，曹壮，刘吉柱，
申请(专利权)人：苏州直为精驱控制技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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