【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造光刻设备，具体而言，涉及一种改良的双腔锡滴喷射装置。
技术介绍
1、目前的液态金属喷射采用压电驱动膜片方式实现了低温液态金属(47℃)的按需喷射的功能，压电式液态金属微喷方式还被应用于三维功能梯度材料的研究当中。压力驱动膜片方式的微喷结构适用于低温液态金属，其潜在的喷射频率较高，但由于压电陶瓷对温度敏感，此种微喷方式不适用于中高温液态金属的喷射。
2、专利技术专利cn112540512a公开了一种锡滴发生装置，包括：倒置的锡滴发生器本体；在所述锡滴发生器本体的喷嘴上方设置有锡池，所述锡池与所述喷嘴联通；所述锡池上设置有加热线圈，用于对锡池中的锡进行加热，使其保持熔融态。然而，其锡池与喷嘴保持连通，未熔化的固态锡容易进入喷嘴内腔，且倒置的方式不方便进行加料。
技术实现思路
1、本专利技术公开了一种改良的双腔锡滴喷射装置，将金属液滴的加热融化与喷射分为两个腔来进行，既可以满足大容量，快速熔化金属材料的需求，又可以将喷射阀尺寸减小，来增大电场和磁场强度，进而提升金属液滴喷射的成功率与良品率。
2、本专利技术采用了如下方案：
3、一种改良的双腔锡滴喷射装置，包括锡滴本体，所述锡滴本体包括加热腔以及适于与所述加热腔连通的喷射腔，所述加热腔与所述喷射腔之间设置有连通阀组件以自动控制所述加热腔与喷射腔的通断；
4、所述连通阀组件包括调压弹簧、阀体、阀芯，其中，所述阀体适于连通所述加热腔与所述喷射腔；所述阀芯活动设置于所述阀
5、进一步地，所述阀芯包括设置于顶部的封闭部、设置于封闭部周侧的流道以及设置于底部的浮球体，所述封闭部适于在阀芯向上运动至止点处时切断所述喷射腔与加热腔的连通，所述流道适于在所述阀芯远离所述止点处时使所述喷射腔与所述加热腔连通，所述浮球体适于增强所述阀芯的浮力。
6、进一步地，所述加热腔外周均匀分布有若干个加热块以对所述加热腔内部进行加热。
7、进一步地，所述喷射腔内腔的截面设置为矩形，且在所述喷射腔内壁设置两个电极以对墙体内的液态锡滴通脉冲电流。
8、进一步地，所述喷射腔远离所述加热腔一端设置有倒梯形的汇聚槽以便于锡滴汇聚到喷头模组。
9、进一步地，所述喷射腔外侧设置有两个安装槽位以用于安装钕磁铁组，两个所述安装槽位分布在所述喷射腔相对的两侧。
10、进一步地，所述喷射腔、连通阀组件使用耐高温的玻璃纤维制作以防止电流外泄和高温导致钕磁铁消磁。
11、进一步地，所述喷射腔与所述加热腔为分体式，且两者可拆卸连接。
12、进一步地，所述阀体通过螺栓连接在所述加热腔底部，且所述阀体上端连接所述加热腔，下端连接所述喷射腔，所述喷射腔上形成有适于安装所述连通阀组件的安装空间，且所述喷射腔与所述阀体的底部之间设置有密封垫片。
13、进一步地，所述加热腔上方设置有弹簧架以用于连接所述调压弹簧的另一端。
14、有益效果：
15、本方案将金属液滴的加热熔化与喷射分为两个腔来进行，既可以满足大容量，快速熔化金属材料的需求，又可以将喷射阀尺寸减小，来增大电场和磁场强度，进而提升金属液滴喷射的成功率与良品率。采用了机械结构控制液滴下流，防止采用过多的传感器造成整体结构冗余，导致喷射阀体积过大，影响喷射液滴的能力。且机械结构简单可靠，稳定性强。采用了调压弹簧，可以自由调节弹力大小来应对不同的金属种类和不同的容量，使得系统有较好的鲁棒性。通过本方案可以加热并喷射其他种类的金属，如铋，镓，金属汞等，产品适用性高。
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1.一种改良的双腔锡滴喷射装置，包括锡滴本体，其特征在于，所述锡滴本体包括加热腔以及适于与所述加热腔连通的喷射腔，所述加热腔与所述喷射腔之间设置有连通阀组件以自动控制所述加热腔与喷射腔的通断；
2.根据权利要求1所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述阀芯包括设置于顶部的封闭部、设置于封闭部周侧的流道以及设置于底部的浮球体，所述封闭部适于在阀芯向上运动至止点处时切断所述喷射腔与加热腔的连通，所述流道适于在所述阀芯远离所述止点处时使所述喷射腔与所述加热腔连通，所述浮球体适于增强所述阀芯的浮力。
3.根据权利要求1所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述加热腔外周均匀分布有若干个加热块以对所述加热腔内部进行加热。
4.根据权利要求1所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述喷射腔内腔的截面设置为矩形，且在所述喷射腔内壁设置两个电极以对墙体内的液态锡滴通脉冲电流。
5.根据权利要求4所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述喷射腔远离所述加热腔一端设置有倒梯形的汇聚槽以便于锡滴汇聚到喷头模组。
6.根据权利
7.根据权利要求6所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述喷射腔、连通阀组件使用耐高温的玻璃纤维制作以防止电流外泄和高温导致钕磁铁消磁。
8.根据权利要求1所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述喷射腔与所述加热腔为分体式，且两者可拆卸连接。
9.根据权利要求8所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述阀体通过螺栓连接在所述加热腔底部，且所述阀体上端连接所述加热腔，下端连接所述喷射腔，所述喷射腔上形成有适于安装所述连通阀组件的安装空间，且所述喷射腔与所述阀体的底部之间设置有密封垫片。
10.根据权利要求1所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述加热腔上方设置有弹簧架以用于连接所述调压弹簧的另一端。
...【技术特征摘要】
1.一种改良的双腔锡滴喷射装置，包括锡滴本体，其特征在于，所述锡滴本体包括加热腔以及适于与所述加热腔连通的喷射腔，所述加热腔与所述喷射腔之间设置有连通阀组件以自动控制所述加热腔与喷射腔的通断；
2.根据权利要求1所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述阀芯包括设置于顶部的封闭部、设置于封闭部周侧的流道以及设置于底部的浮球体，所述封闭部适于在阀芯向上运动至止点处时切断所述喷射腔与加热腔的连通，所述流道适于在所述阀芯远离所述止点处时使所述喷射腔与所述加热腔连通，所述浮球体适于增强所述阀芯的浮力。
3.根据权利要求1所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述加热腔外周均匀分布有若干个加热块以对所述加热腔内部进行加热。
4.根据权利要求1所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述喷射腔内腔的截面设置为矩形，且在所述喷射腔内壁设置两个电极以对墙体内的液态锡滴通脉冲电流。
5.根据权利要求4所述的改良的双腔锡滴喷射装置，其特征在于，所述喷射腔远离...
【专利技术属性】
技术研发人员：张一旸，罗志伟，但雨哲，郑铭泽，陈皓阳，李灌林，刘伟平，张竣淋，江畅，何震宇，蔡建进，
申请(专利权)人：厦门理工学院，
类型：发明
国别省市：
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