【技术实现步骤摘要】
本申请涉及化学沉积工艺镀膜，特别是涉及一种太阳能电池制备方法以及太阳能电池。
技术介绍
1、随着太阳能电池制造技术的发展，出现了化学沉积工艺镀膜技术，该技术需要在镀膜腔室内对载板上的基片进行镀膜。但随着载板的面积逐渐变大，由于cvd边缘效应影响，即工艺腔室内用于实现化学沉积工艺的无法使得薄膜均匀地沉积到载板上，位于载板边缘区域和非边缘区上的基片上的膜层会因此出现膜厚不均匀的现象，以及整个电池工艺结束后，导致载板上边缘区域制备的电池的性能和非边缘区域制备的电池的性能差异过大，不利于电池后期组件封装工艺的分选。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述化学沉积工艺镀膜中存在的问题，提供一种太阳能电池制备方法以及太阳能电池。
2、一种太阳能电池的制备方法，方法包括：
3、载板包括第一区域与第二区域，向第一区域与第二区域上均放置基片；
4、对载板上的基片执行第一薄膜沉积工艺；
5、将位于第一区域上的至少部分基片与位于第二区域上的至少部分基片相互位置调换；
6、对载板上基片执行第二薄膜沉积工艺。
7、在其中一个实施例中，载板包括第一区域与第二区域，向第一区域与第二区域上均放置基片，包括：
8、载板具有第一方向x和第二方向y；第一方向x与第二方向y在载板所在的平面内相互垂直；
9、载板将沿着载板传输方向传送，载板传输方向平行于第一方向x；
10、第一区域设置于载板的、平行于第一方向x的边
11、在其中一个实施例中，将位于第一区域上的基片与位于第二区域上的基片相互位置调换；
12、包括：沿着第二方向y设置数条相互平行的位置调换基准线，在位置调换基准线上选取第一区域上的基片与第二区域上的基片进行相互位置调换。
13、在其中一个实施例中，载板包括第一载板和第二载板，步骤s3、将位于所述第一区域上的至少部分基片与位于第二区域上的至少部分基片相互位置调换，具体包括：
14、将位于第一载板的第一区域上的至少部分基片放置于位于第二载板的第二区域上，将位于第一载板的第二区域上的至少部分基片放置于位于第二载板的第一区域上，进行位置调换。
15、在其中一个实施例中，第一薄膜沉积工艺和第二薄膜沉积工艺位于基片的相同表面，或，第一薄膜沉积工艺和第二薄膜沉积工艺分别位于基片的不同表面。
16、在其中一个实施例中，在对载板上的基片执行第一薄膜沉积工艺之后，包括：将放置有基片的载板传送至装卸载腔室内，之后对基片执行翻片作业。
17、在其中一个实施例中，第一薄膜沉积工艺为正面钝化层、背面钝化层、正面掺杂层和背面掺杂层中的一种，和/或，第一薄膜沉积工艺和第二薄膜沉积工艺为正面钝化层、背面钝化层、正面掺杂层和背面掺杂层中的一种。
18、在其中一个实施例中，将位于第一区域上的基片与位于第二区域上的基片相互位置调换，包括：
19、利用机械手实现对于第一区域上的基片与位于第二区域上的基片的相互位置调换。
20、在其中一个实施例中，基片为半片或者整片。
21、一种太阳能电池，由上述任一项的太阳能电池的制备方法制成。
22、上述太阳能电池的制备方法包括：载板包括第一区域与第二区域，向第一区域与第二区域上均放置基片；对载板上的基片执行第一薄膜沉积工艺；将位于第一区域上的至少部分基片与位于第二区域上的至少部分基片相互位置调换；对载板上基片执行第二薄膜沉积工艺。在第一薄膜沉积工艺和第二薄膜沉积工艺之间将基片互相位置调换，相对于单个膜层薄膜沉积工艺，可使得基片在化学沉积工艺结束后，位于基片表面生成厚度相对均匀的膜层，而对于整个电池薄膜沉积工艺，也可使得电池全部薄膜沉积工艺完成后，缩小整个载板上的制备的太阳能电池之间的性能差异，便于后期组件封装分选。
23、一种太阳能电池，由上述太阳能电池的制备方法制成，包括上述有益效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，载板（1）包括第一区域（1.1）与第二区域（1.2），向所述第一区域（1.1）与所述第二区域（1.2）上放置基片（2），包括：
3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，将位于所述第一区域（1.1）上的所述基片（2）与位于所述第二区域（1.2）上的所述基片（2）相互位置调换；
4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述载板包括第一载板和第二载板，所述步骤S3、将位于所述第一区域（1.1）上的至少部分所述基片（2）与位于所述第二区域（1.2）上的至少部分所述基片（2）相互位置调换，具体包括：
5.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述第一薄膜沉积工艺和所述第二薄膜沉积工艺位于基片（2）的相同表面，或，所述第一薄膜沉积工艺和所述第二薄膜沉积工艺分别位于所述基片（2）的不同表面。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在对所述载板
7.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述第一薄膜沉积工艺为正面钝化层、背面钝化层、正面掺杂层和背面掺杂层中的一种，和/或，所述第二薄膜沉积工艺为正面钝化层、背面钝化层、正面掺杂层和背面掺杂层中的一种。
8.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，将位于所述第一区域（1.1）上的所述基片（2）与位于所述第二区域（1.2）上的所述基片（2）相互位置调换，包括：
9.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述基片（2）为半片或者整片。
10.一种太阳能电池，其特征在于，由上述权利要求1-9中任一项所述的太阳能电池的制备方法制成。
...【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，载板（1）包括第一区域（1.1）与第二区域（1.2），向所述第一区域（1.1）与所述第二区域（1.2）上放置基片（2），包括：
3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，将位于所述第一区域（1.1）上的所述基片（2）与位于所述第二区域（1.2）上的所述基片（2）相互位置调换；
4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述载板包括第一载板和第二载板，所述步骤s3、将位于所述第一区域（1.1）上的至少部分所述基片（2）与位于所述第二区域（1.2）上的至少部分所述基片（2）相互位置调换，具体包括：
5.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述第一薄膜沉积工艺和所述第二薄膜沉积工艺位于基片（2）的相同表面，或，所述第一薄膜沉积工艺和所述第二薄膜沉积工艺分别位于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李豪，赵良宾，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。