【技术实现步骤摘要】
本公开涉及振动致动器和具有该振动致动器的移动物体。
技术介绍
1、振动致动器由于速度慢、推力大以及其他特点，实际上已被用作单镜头反光相机的摄影镜头的自动聚焦驱动致动器。近年来，还期待振动致动器在异常情况下使用的装置中的应用。应用的示例包括用于外层空间的人造卫星和用于生产和分析的真空装置。这些装置在异常情况下需要在真空中进行致动器操作。
2、日本专利第6938218号讨论了一种线性型振动致动器，其包括由矩形弹性构件形成的振动构件和在弹性构件表面上的两个不同凸起部。具有浸渍树脂的不锈钢烧结体作为摩擦构件布设在各个凸起部的前端。通过该振动致动器，接触构件与凸起部的前端压力接触，并且向机电能量转换元件施加预定的交流(ac)电压，以激活两种不同的面外弯曲振动模式。激活的振动在凸起部的前端产生椭圆运动，椭圆运动和摩擦导致振动构件与接触构件之间的相对移动。
3、在诸如外层空间或真空装置的真空环境中，日本专利第6938218号中讨论的振动致动器向真空提供了在振动构件与接触构件之间的摩擦平面上发生的摩擦热的显著低的热扩散，因此，摩擦热得以保留。此外，在几乎不存在氧气和水分的真空中，在上述摩擦面上没有形成用作保护层的金属氧化物层。这可能会导致与摩擦平面的粘附。因此，在振动构件的摩擦面上发生大量磨损，从而降低摩擦特性，这可能降低驱动性能。
技术实现思路
1、本公开旨在提供一种具有足够耐磨性的振动致动器，从而使得即使在诸如外层空间或真空装置的真空环境中也能实现稳定的驱动。
<...【技术保护点】
1.一种振动致动器，其包括：
2.根据权利要求1所述的振动致动器，所述顶部是圆盘，并且所述壁部是用于支撑所述顶部的外周的圆筒。
3.根据权利要求1所述的振动致动器，其中，摩擦构件配设有作为摩擦构件的曲面的切割部分的平坦的摩擦面，摩擦构件在所述摩擦面上与接触构件接触。
4.一种振动致动器，其包括：
5.根据权利要求4所述的振动致动器，其中，摩擦构件的维氏硬度至少是弹性构件的维氏硬度的两倍。
6.根据权利要求4所述的振动致动器，其中，所述接触构件的维氏硬度高于所述摩擦构件的维氏硬度。
7.根据权利要求1至6任一所述的振动致动器，其中，所述弹性构件包含非磁性材料。
8.根据权利要求7所述的振动致动器，其中，所述非磁性材料包含选自铝合金、黄铜和奥氏体不锈钢中的至少一种材料。
9.根据权利要求4所述的振动致动器，其中，所述非金属无机材料包含选自陶瓷、硬质合金、玻璃和金属陶瓷的材料组中的至少一种。
10.根据权利要求1或4所述的振动致动器，其中，具有所述顶部和所述壁部的凸起部一体形成。
11.根据权利要求1或4所述的振动致动器，其中，所述摩擦构件的材料包含硬质合金，并且所述接触构件的材料包含涂覆有氮化钛化合物的金属材料。
12.根据权利要求11所述的振动致动器，其中，所述氮化钛化合物是TiSiN。
13.根据权利要求1或4所述的振动致动器，其中，所述振动致动器在真空环境中操作。
14.一种移动物体，其包括：
15.一种移动物体控制系统，其包括：
16.一种真空装置，其包括：
...【技术特征摘要】
1.一种振动致动器，其包括：
2.根据权利要求1所述的振动致动器，所述顶部是圆盘，并且所述壁部是用于支撑所述顶部的外周的圆筒。
3.根据权利要求1所述的振动致动器，其中，摩擦构件配设有作为摩擦构件的曲面的切割部分的平坦的摩擦面，摩擦构件在所述摩擦面上与接触构件接触。
4.一种振动致动器，其包括：
5.根据权利要求4所述的振动致动器，其中，摩擦构件的维氏硬度至少是弹性构件的维氏硬度的两倍。
6.根据权利要求4所述的振动致动器，其中，所述接触构件的维氏硬度高于所述摩擦构件的维氏硬度。
7.根据权利要求1至6任一所述的振动致动器，其中，所述弹性构件包含非磁性材料。
8.根据权利要求7所述的振动致动器，其中，所述非磁性材料包含选自铝合金、黄铜和奥氏...
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