【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、通过将来自电子发射器的足够尺寸的电子束聚焦到样品上，然后检测这些电子的反射以生成样品的高分辨率图像，电子显微镜被用作成像工具。聚焦电子束并控制其尺寸的一个步骤可包括将电子发射通过维纳尔电极(wehnelt electrode)中的孔口。维纳尔电极被充电到相对于电子发射器的负偏置电压，以在维纳尔电极周围产生静电场，该静电场将电子朝向维纳尔电极中的孔口的中心排斥，从而使发射通过孔口的电子束集中。需要优化维纳尔电极的使用的新的带电粒子显微镜系统。
技术实现思路
1、本公开的一个方面提供了一种带电粒子显微镜系统，该带电粒子显微镜系统括包：电子源，该电子源容纳维纳尔电极和阴极，其中该电子源包括基本上无水的干燥环境，该干燥环境限定该维纳尔电极和该阴极之间的容积；束柱，该束柱包括多个电磁透镜元件；和真空室，该真空室包括样品保持器。限定从阴极到样品保持器的电子束轴线。当干燥环境可包括小于5％的湿度时，干燥环境可以是基本上无水的。干燥环境可以是基本上无氧的。当干燥环境可包括小于5％的氧时，干燥环境可以是基本上无氧的。带电粒子显微镜还可包括第一冷阱，该第一冷阱定位在束柱和维纳尔电极之间。第一冷阱可包括：第一吸附表面，该第一吸附表面限定第一冷区，该第一冷区处于显著低于水的凝固点的第一温度；和第一除热元件，该第一除热元件联接到第一冷表面。第一除热元件可包括珀尔帖(peltier)冷却系统。第一除热元件可包括与容纳冷却剂的贮存器流体连通的循环元件中的至少一个循环元件。冷却剂可包括液氮或者丙酮
2、本公开的另一个方面提供了一种带电粒子显微镜系统，该带电粒子显微镜系统包括：电子源，该电子源将维纳尔电极和阴极容纳在基本上无水的干燥环境中；束柱，该束柱包括多个电磁透镜元件；和真空室，该真空室包括样品保持器。限定从阴极到样品保持器的电子束轴线。带电粒子显微镜系统还可包括涡轮泵，该涡轮泵与电子源流体连通，第一冷阱可定位在束柱和维纳尔电极之间，并且第二冷阱可定位在涡轮泵和电子源之间。第一冷阱可包括：第一吸附表面，该第一吸附表面限定第一冷区，该第一冷区处于显著低于水的凝固点的第一温度；和第一除热元件，该第一除热元件可联接到第一冷表面。第二冷阱可包括：第二吸附表面，该第二吸附表面限定第二冷区，该第二冷区处于显著低于水的凝固点的第二温度；和第二除热元件，该第二除热元件可联接到第二冷表面。带电粒子显微镜系统还可包括惰性气体贮存器，该惰性气体贮存器容纳惰性气体，并且带电粒子显微镜系统可包括：出口，该出口与电子源流体连通；第一涡轮泵，该第一涡轮泵与电子源和出口流体连通以将惰性气体的至少一部分输送到干燥环境中；和第二涡轮泵，该第二涡轮泵与真空室和束柱流体连通。出口可定位在电子源和第二涡轮泵之间，第一涡轮泵可在电子源中产生第一压力，该第一压力大于出口处的第二压力，并且第二涡轮泵可在束柱中产生第三压力，该第三压力大于第二压力。
3、本公开的另一个方面提供了一种带电粒子显微镜系统，该带电粒子显微镜系统包括电子源，该电子源容纳维纳尔电极和阴极电极。电子源包括可基本上无水的干燥环境，该干燥环境限定该维纳尔电极和该阴极之间的容积；束柱，该束柱包括多个电磁透镜元件；和真空室，该真空室包括样品保持器。限定从阴极电极到样品保持器的电子束轴线。
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1.一种带电粒子显微镜系统，所述带电粒子显微镜系统包括：
2.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中当所述干燥环境包括小于5％的湿度时，所述干燥环境是基本上无水的。
3.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述干燥环境是基本上无氧的。
4.根据权利要求3所述的带电粒子显微镜系统，其中当所述干燥环境包括小于5％的氧时，所述干燥环境是基本上无氧的。
5.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，
6.根据权利要求5所述的带电粒子显微镜系统，其中所述第一除热元件包括珀尔帖冷却系统。
7.根据权利要求5所述的带电粒子显微镜系统，其中所述第一除热元件包括与容纳冷却剂的贮存器流体连通的循环元件中的至少一个循环元件。
8.根据权利要求7所述的带电粒子显微镜系统，其中所述冷却剂包括液氮或者丙酮中的干冰中的至少一者。
9.根据权利要求5所述的带电粒子显微镜系统，
10.根据权利要求9所述的带电粒子显微镜系统，其中：
11.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，>
12.根据权利要求11所述的带电粒子显微镜系统，
13.根据权利要求12所述的带电粒子显微镜系统，所述带电粒子显微镜系统还包括第三涡轮泵，所述第三涡轮泵与所述真空室流体连通，其中所述第三涡轮泵产生第四压力，所述第四压力大于所述第三压力。
14.根据权利要求11所述的带电粒子显微镜系统，其中所述惰性气体包括氩、氮、干燥空气和氦中的至少一者。
15.根据权利要求11所述的带电粒子显微镜系统，其中所述出口定位在所述束柱中。
16.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，所述带电粒子显微镜系统还包括容器，所述容器容纳所述电子源、所述束柱和所述真空室，其中所述容器包括干燥内部容积。
17.一种带电粒子显微镜系统，所述带电粒子显微镜系统包括：
18.根据权利要求17所述的带电粒子显微镜系统，
19.根据权利要求17所述的带电粒子显微镜系统，
20.一种带电粒子显微镜系统，所述带电粒子显微镜系统包括：
...【技术特征摘要】
1.一种带电粒子显微镜系统，所述带电粒子显微镜系统包括：
2.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中当所述干燥环境包括小于5％的湿度时，所述干燥环境是基本上无水的。
3.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述干燥环境是基本上无氧的。
4.根据权利要求3所述的带电粒子显微镜系统，其中当所述干燥环境包括小于5％的氧时，所述干燥环境是基本上无氧的。
5.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，
6.根据权利要求5所述的带电粒子显微镜系统，其中所述第一除热元件包括珀尔帖冷却系统。
7.根据权利要求5所述的带电粒子显微镜系统，其中所述第一除热元件包括与容纳冷却剂的贮存器流体连通的循环元件中的至少一个循环元件。
8.根据权利要求7所述的带电粒子显微镜系统，其中所述冷却剂包括液氮或者丙酮中的干冰中的至少一者。
9.根据权利要求5所述的带电粒子显微镜系统，
10.根据权利要求9所述的带电粒子显微镜系统，其中：
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