本技术公开了一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，包括：硅片研磨机；硅片上料机构，其包括有硅片卡匣承载台、硅片搬运机器人、上料中转平台及上料搬运组件，所述上料搬运组件位于所述硅片研磨机的一侧；硅片下料机构，其位于所述硅片研磨机的一侧，所述硅片下料机构包括下料搬运组件及下料中转平台。本技术使用各类机械手及中转机构配合视觉定位，视觉碎片检查等系统实现了全自动化的硅片研磨上下料生产，节约的人力的同时大幅度提高了研磨机单工作日内的生产产能，对未规划自动化的硅片制造工厂提升整体产能有重大的突破；其次设计了用于对硅片研磨机清洗的喷洗机构，实现对硅片研磨机的自动清洗，可以降低设备维护频率。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片加工，具体为一种用于硅片研磨机的自动上下料设备。
技术介绍
1、硅片的研磨工艺，在半导体领域十分常见，其主要有两个应用方面，一是芯片制造完成后，将厚度多余的背面研磨减薄，去掉不用的部分以利于后续封装测试工艺；二是晶圆制作过程中，为提高硅片表面状态，增大平坦度，对硅片进行打磨，以利于后续抛光工艺进行，目前在研磨时需要用硅片研磨机。
2、目前，在硅片研磨段中受硅片研磨设备特性的影响，硅片的上下料、石英(研磨)块的上下料以及后续对研磨设备的清洗都为人工操作，耗费人力的同时还会影响到硅片研磨机工作日内的生产产能。
3、鉴于此，提出了一种用于硅片研磨机的自动上下料设备。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种用于硅片研磨机的自动上下料设备。
2、本技术采用的技术方案如下：一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，包括：硅片研磨机；硅片上料机构，其包括有硅片卡匣承载台、硅片搬运机器人、上料中转平台及上料搬运组件，所述上料搬运组件位于所述硅片研磨机的一侧；硅片下料机构，其位于所述硅片研磨机的一侧，所述硅片下料机构包括下料搬运组件及下料中转平台；所述上料搬运组件和下料搬运组件均包括有机械臂以及位于机械臂尾关节的视觉搬运结构，所述视觉搬运结构包括安装支架和位于安装支架两侧的视觉碎片检测组件以及视觉定位组件，所述安装支架的底端周向设有四个独立的硅片吸附升降气缸和位于硅片吸附升降气缸伸缩端的用于吸附硅片的真空吸盘组件。
>3、在一优选的实施方式中，所述硅片卡匣承载台整体为前开式，所述硅片搬运机器人的底部具有agv小车，所述硅片卡匣承载台和上料中转平台在所述硅片搬运机器人的运行轨迹内。4、在一优选的实施方式中，所述上料中转平台包括具有上平台的存储盒，所述上平台的上端具有四个硅片放置平，远离所述硅片搬运机器人的两个所述硅片放置平底部设有顶升支撑杆，所述存储盒的一端安装有与所述顶升支撑杆相连的顶升气缸。
5、在一优选的实施方式中，所述视觉碎片检测组件包括镜头朝下设置的视觉相机，所述视觉相机的外端环设有led光源，所述视觉定位组件包括安装在所述安装支架上的升降气缸，所述升降气缸的伸缩端安装有三角架且在三角架的三端设置有位移传感器。
6、在一优选的实施方式中，还包括清洗机，所述清洗机的一侧设有清洗机上料机器人，所述下料中转平台和所述清洗机在所述清洗机上料机器人的运行轨迹内。
7、在一优选的实施方式中，所述下料中转平台包括平台主体，所述平台主体上侧具有用于放置硅片的放置槽，所述平台主体的上端两侧开设有多个与纯水系统相连的纯水喷嘴。
8、在一优选的实施方式中，还包括喷洗机构，所述喷洗机构包括伺服电机，所述伺服电机的输出端安装有旋转减速机，所述旋转减速机的上端安装有喷淋管，所述喷淋管上布设有多个喷淋嘴，所述硅片研磨机位于所述喷洗机构的运行轨迹内。
9、在一优选的实施方式中，还包括石英块放置盒，所述石英块放置盒的上端开设有多组用于放置石英块的放置槽，所述石英块放置盒位于所述上料搬运组件的运行轨迹内。
10、在一优选的实施方式中，所述机械臂为六自由度机械臂。
11、在一优选的实施方式中，还包括保护罩，所述硅片研磨机、硅片上料机构和硅片下料机构均位于保护罩内侧，所述保护罩上具有门体。
12、综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
13、1、本技术中，使用各类机械手及中转机构，可以实现全自动化的硅片研磨上下料生产，节约的人力的同时大幅度提高了研磨机单工作日内的生产产能，对未规划自动化的硅片制造工厂提升整体产能有重大的突破。
14、2、本技术中，在上下料搬运组件中集成有视觉定位和视觉碎片检查等系统，可以对于硅片上下料自动定位引导，还可以下料前自动判定硅片研磨后是否碎片，从而保证上下料精度的同时还能保证对产品研磨的ok品和ng品进行检测；
15、3、本技术中，设计了用于对硅片研磨机清洗的喷洗机构以及对下料抓取部分的清洗部分，可以实现对硅片研磨机以及下料抓取部分的自动清洗，可以降低设备维护频率。
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【技术保护点】
1.一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：所述硅片卡匣承载台整体为前开式，所述硅片搬运机器人的底部具有AGV小车，所述硅片卡匣承载台和上料中转平台在所述硅片搬运机器人的运行轨迹内。
3.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：所述上料中转平台包括具有上平台的存储盒，所述上平台的上端具有四个硅片放置平，远离所述硅片搬运机器人的两个所述硅片放置平底部设有顶升支撑杆，所述存储盒的一端安装有与所述顶升支撑杆相连的顶升气缸。
4.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：所述视觉碎片检测组件包括镜头朝下设置的视觉相机，所述视觉相机的外端环设有LED光源，所述视觉定位组件包括安装在所述安装支架上的升降气缸，所述升降气缸的伸缩端安装有三角架且在三角架的三端设置有位移传感器。
5.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：还包括清洗机，所述清洗机的一侧设有清洗机上料机器人，所述下料中转平台和所述清洗机在所述清洗机上料机器人的运行轨迹内。
6.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：所述下料中转平台包括平台主体，所述平台主体上侧具有用于放置硅片的放置槽，所述平台主体的上端两侧开设有多个与纯水系统相连的纯水喷嘴。
7.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：还包括喷洗机构，所述喷洗机构包括伺服电机，所述伺服电机的输出端安装有旋转减速机，所述旋转减速机的上端安装有喷淋管，所述喷淋管上布设有多个喷淋嘴，所述硅片研磨机位于所述喷洗机构的运行轨迹内。
8.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：还包括石英块放置盒，所述石英块放置盒的上端开设有多组用于放置石英块的放置槽，所述石英块放置盒位于所述上料搬运组件的运行轨迹内。
9.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：所述机械臂为六自由度机械臂。
10.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：还包括保护罩，所述硅片研磨机、硅片上料机构和硅片下料机构均位于保护罩内侧，所述保护罩上具有门体。
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【技术特征摘要】
1.一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：所述硅片卡匣承载台整体为前开式，所述硅片搬运机器人的底部具有agv小车，所述硅片卡匣承载台和上料中转平台在所述硅片搬运机器人的运行轨迹内。
3.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：所述上料中转平台包括具有上平台的存储盒，所述上平台的上端具有四个硅片放置平，远离所述硅片搬运机器人的两个所述硅片放置平底部设有顶升支撑杆，所述存储盒的一端安装有与所述顶升支撑杆相连的顶升气缸。
4.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：所述视觉碎片检测组件包括镜头朝下设置的视觉相机，所述视觉相机的外端环设有led光源，所述视觉定位组件包括安装在所述安装支架上的升降气缸，所述升降气缸的伸缩端安装有三角架且在三角架的三端设置有位移传感器。
5.如权利要求1所述的一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，其特征在于：还包括清洗机，所述清洗机的一侧设有清洗机上料机器人，所述下料中转平台和所述清洗机在所述清洗...
【专利技术属性】
技术研发人员：代冬生，
申请(专利权)人：上海通彩机器人有限公司，
类型：新型
国别省市：
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