【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体芯片测试，尤其涉及一种高速驱动单元、双工位驱动模组以及作业装置。
技术介绍
1、在半导体芯片测试时，经常需要使用到例如吸盘或者摄像头等执行机构。一般地，执行机构都安装在驱使执行机构进行平移运动的驱动单元上。驱动单元驱使吸盘或者摄像头进行运动，即可吸取芯片或者对芯片进行视觉检测。
2、现有驱动单元通常包括：
3、竖直直驱组件，所述竖直直驱组件的驱动端与所述执行机构连接，以驱使所述执行机构沿竖直方向往复运动；
4、水平直驱组件，所述水平直驱组件的驱动端与所述竖直直驱组件连接，以驱使所述竖直直驱组件和所述执行机构沿水平方向往复运动。
5、在现有技术中，水平直驱组件和竖直直驱组件均为电机丝杆模组。由于整个所述竖直直驱组件均安装在所述水平直驱组件的驱动端，因此，当水平直驱组件带动执行机构水平横移时，其所需要带动的除了执行机构本身，还需要带动竖直直驱组件的电机和丝杆进行水平横移。
6、电机的重量较大，带动竖直直驱组件的电机进行移动时，极大地增加了水平直驱组件的工作负荷，进而使得水平直驱组件难以驱使执行机构进行高速运动，一定程度上限制了生产效率的进一步提升。
7、因此，需要对现有驱动单元进行改进，以解决其运动速度较慢，导致生产效率较低的问题。
8、本背景部分中公开的以上信息仅被包括用于增强本公开内容的背景的理解，且因此可包含不形成对于本领域普通技术人员而言在当前已经知晓的现有技术的信息。
技术实现思路p>
1、本专利技术的一个目的在于，提供一种高速驱动单元、双工位驱动模组以及作业装置，能有效解决现有驱动单元的运动速度较慢，导致生产效率较低的问题。
2、为达以上目的，第一方面，本专利技术提供一种高速驱动单元，包括：
3、竖直滑轨，所述竖直滑轨的下端用于连接执行机构；
4、水平直驱机构，所述水平直驱机构的驱动端与所述竖直滑轨连接，驱使所述竖直滑轨沿水平方向往复运动；
5、水平滑轨，所述水平滑轨与所述竖直滑轨的上端沿水平方向滑动连接；
6、竖直直驱机构，所述竖直直驱机构相对所述水平直驱机构固定设置，且所述竖直直驱机构的驱动端与所述水平滑轨连接，驱使所述水平滑轨带动所述竖直滑轨沿竖直方向往复运动。
7、可选的，所述水平直驱机构包括：
8、水平底板；
9、水平滑块，所述水平滑块与所述水平底板沿水平方向滑动连接，且所述水平滑块与所述竖直滑轨沿竖直方向滑动连接；
10、水平丝杆，所述水平丝杆转动安装于所述水平底板上，并螺纹穿过所述水平滑块；
11、水平电机，所述水平电机与所述水平丝杆转动连接，以驱使所述水平滑块相对所述水平底板往复滑动。
12、可选的，所述竖直直驱机构包括：
13、竖直底板，所述竖直底板固设于所述水平底板上，其中，所述水平滑轨与所述竖直底板沿竖直方向滑动连接，且所述水平滑轨与所述竖直滑轨沿水平方向滑动连接；
14、竖直丝杆，所述竖直丝杆转动安装于所述竖直底板上，并螺纹穿过所述水平滑轨，以驱使所述水平滑轨相对所述竖直底板往复滑动；
15、竖直电机，所述竖直电机与所述竖直丝杆转动连接，以驱使所述水平滑轨相对所述水平底板往复滑动。
16、可选的，所述水平电机和所述水平丝杆之间和/或所述竖直电机和所述竖直丝杆之间，通过皮带带轮组件或者齿轮组件传动连接。
17、可选的，所述所述竖直滑轨的下端设有用于与所述执行机构可拆卸连接的快拆接头。
18、可选的，所述快拆接头设有用于与所述执行机构卡扣连接的卡扣件。
19、可选的，所述快拆接头设有用于与所述执行机构磁吸连接的磁铁。
20、第二方面，提供一种双工位驱动模组，包括模组底板、以及两个位于所述模组底板上所述的高速驱动单元。
21、可选的，两所述高速驱动单元绕竖直轴线中心旋转对称设置。
22、第三方面，提供一种作业装置，包括所述的高速驱动单元或者所述的双工位驱动模组、以及连接于竖直滑轨的执行机构。
23、本专利技术的有益效果在于：提供一种高速驱动单元、双工位驱动模组以及作业装置，当需要驱使执行机构上下运动时，竖直直驱机构驱使所述水平滑轨带动所述竖直滑轨沿竖直方向上下运动即可；当需要驱使执行机构左右运动时，水平直驱机构驱使所述竖直滑轨左右运动即可；
24、在上述过程中，水平直驱机构和竖直直驱机构都不需要跟随执行机构进行平移运动，直驱机构的工作负荷较小，驱动速度较快，进而提升了执行机构的执行效率。
25、因此，本专利技术提供的高速驱动单元、双工位驱动模组以及作业装置，能有效解决现有驱动单元运动速度较慢，导致生产效率较低的问题。
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1.一种高速驱动单元，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高速驱动单元，其特征在于，所述水平直驱机构（2）包括：
3.根据权利要求2所述的高速驱动单元，其特征在于，所述竖直直驱机构（4）包括：
4.根据权利要求3所述的高速驱动单元，其特征在于，所述水平电机（204）和所述水平丝杆（203）之间和/或所述竖直电机（403）和所述竖直丝杆（402）之间，通过皮带带轮组件或者齿轮组件传动连接。
5.根据权利要求1所述的高速驱动单元，其特征在于，所述所述竖直滑轨（1）的下端设有用于与所述执行机构可拆卸连接的快拆接头（5）。
6.根据权利要求5所述的高速驱动单元，其特征在于，所述快拆接头（5）设有用于与所述执行机构卡扣连接的卡扣件（501）。
7.根据权利要求5所述的高速驱动单元，其特征在于，所述快拆接头（5）设有用于与所述执行机构磁吸连接的磁铁。
8.一种双工位驱动模组，其特征在于，包括模组底板（100）、以及两个位于所述模组底板（100）上如权利要求1-7任一项所述的高速驱动单元（200）。p>
9.根据权利要求8所述的双工位驱动模组，其特征在于，两所述高速驱动单元（200）绕竖直轴线中心旋转对称设置。
10.一种作业装置，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的高速驱动单元（200）或者权利要求8-9任一项所述的双工位驱动模组、以及连接于竖直滑轨（1）的执行机构。
...【技术特征摘要】
1.一种高速驱动单元，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高速驱动单元，其特征在于，所述水平直驱机构（2）包括：
3.根据权利要求2所述的高速驱动单元，其特征在于，所述竖直直驱机构（4）包括：
4.根据权利要求3所述的高速驱动单元，其特征在于，所述水平电机（204）和所述水平丝杆（203）之间和/或所述竖直电机（403）和所述竖直丝杆（402）之间，通过皮带带轮组件或者齿轮组件传动连接。
5.根据权利要求1所述的高速驱动单元，其特征在于，所述所述竖直滑轨（1）的下端设有用于与所述执行机构可拆卸连接的快拆接头（5）。
6.根据权利要求5所述的高速驱动单元，其特征在于，所述快...
【专利技术属性】
技术研发人员：周海龙，董敏，刘蛟锋，
申请(专利权)人：广东金龙东创智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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