【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体清洗设备,尤其涉及一种半导体清洗用震荡槽。
技术介绍
1、半导体器件在安装前需进行表面去除杂质工作,所以半导体器件清洗是安装加工的第一步,为了保证半导体器件干净需要至少一次清洗和一次浸泡。
2、现有技术可参考授权公开号为cn206316074u的中国专利,其公开了一种清洗半导体器件的清洗槽,包括槽体,所述槽体的顶端一侧内边缘上固结有支撑架,所述槽体的一侧面底端上固结有出液管,所述槽体的一侧面中间部位固结有循环进液管和循环出液管,所述循环进液管置于循环出液管的斜上方,所述循环进液管和循环出液管通过液压泵连接成一体,但该清洗槽在使用时仍有不足之处:
3、其一,半导体器件在清洗槽中无法被固定,易导致清洗过程中半导体器件发生磕碰,造成半导体器件受损;
4、其二,仅仅通过清洗液的流动对半导体器件进行清洗难以将附着力强的杂质清洗掉,容易造成清洗不彻底的情况。
5、因此,现提供一种半导体清洗用震荡槽。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种半导体清洗用震荡槽,通过在震荡槽上安装超声波震荡器,并利用可拆卸支架和固定组件的配合使用,对半导体器件进行超声波清洗,并能防止清洗半导体器件时发生磕碰,避免半导体器件受损,通过设置的循环组件可将半导体器件上的杂质冲离半导体器件,有效的将半导体器件上附着力强的杂质清洗掉,实用性较好,克服了现有技术的不足,有效的解决了现有的清洗半导体器件的清洗槽无法固定半导体器件,易导致清洗过程中半导
2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
3、一种半导体清洗用震荡槽,包括底板和震荡槽,所述震荡槽的下端面四角处均安装有弹片,且四个弹片均固定于底板的顶端,所述震荡槽上安装有超声波震荡器,所述震荡槽的内部安装有可拆卸支架,所述可拆卸支架上安装有固定组件,所述震荡槽的侧壁安装有循环组件。
4、通过上述的方案,通过在震荡槽上安装超声波震荡器,并利用可拆卸支架和固定组件的配合使用,对半导体器件进行超声波清洗,并能防止清洗半导体器件时发生磕碰,避免半导体器件受损,通过设置的循环组件可将半导体器件上的杂质冲离半导体器件,有效的将半导体器件上附着力强的杂质清洗掉,实用性较好。
5、优选的,所述可拆卸支架包括固定在震荡槽底端内壁的固定杆,所述固定杆的两端均固定有竖杆,两根竖杆上滑动套接有支撑板。
6、优选的,所述固定杆的上端固定有磁铁块,所述支撑板的下端面固定有金属套。
7、优选的,所述固定组件包括固定在支撑板上端面的l型支杆,l型支杆的竖直段开设有条形孔,l型支杆的水平段螺接有螺杆,螺杆的底端通过轴承转动连接有压杆,压杆与条形孔滑动卡接,螺杆的顶端安装有把手。
8、优选的,所述循环组件包括在震荡槽外壁的泵体,泵体抽水端连接的抽水管一端与震荡槽的一侧连接,泵体出水端连接的出水管一端与震荡槽的一侧连接。
9、优选的,所述出水管与震荡槽的连接处位于l型支杆的一侧,所述震荡槽的外壁安装有控制开关。
10、本技术的有益效果为:
11、1、将半导体器件置于支撑板上,通过把手拧动螺杆,使得压杆沿着条形孔下降将半导体器件进行固定,将支撑板套接在两根竖杆上并置于震荡槽内时,磁铁块吸附在金属套内,使得支撑板更加稳定,继而防止清洗半导体器件时发生磕碰,避免半导体器件受损。
12、2、利用超声波震荡器带动震荡槽震动,使得半导体器件上杂质脱离半导体器件,达到快速清洗半导体器件的目的,利用泵体抽送震荡槽中的清洗液,使得清洗液发生流动,可将半导体器件上的杂质冲离半导体器件。
13、综上所述,通过在震荡槽上安装超声波震荡器,并利用可拆卸支架和固定组件的配合使用,对半导体器件进行超声波清洗,并能防止清洗半导体器件时发生磕碰,避免半导体器件受损,通过设置的循环组件可将半导体器件上的杂质冲离半导体器件,有效的将半导体器件上附着力强的杂质清洗掉,实用性较好。
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1.一种半导体清洗用震荡槽,包括底板(1)和震荡槽(2),其特征在于,所述震荡槽(2)的下端面四角处均安装有弹片(3),且四个弹片(3)均固定于底板(1)的顶端,所述震荡槽(2)上安装有超声波震荡器,所述震荡槽(2)的内部安装有可拆卸支架,所述可拆卸支架上安装有固定组件,所述震荡槽(2)的侧壁安装有循环组件; 固定组件包括固定在支撑板(8)上端面的L型支杆(11),L型支杆(11)的竖直段开设有条形孔(12),L型支杆(11)的水平段螺接有螺杆(9),螺杆(9)的底端通过轴承转动连接有压杆(10),压杆(10)与条形孔(12)滑动卡接,螺杆(9)的顶端安装有把手; 循环组件包括在震荡槽(2)外壁的泵体(4),泵体(4)抽水端连接的抽水管(6)一端与震荡槽(2)的一侧连接,泵体(4)出水端连接的出水管(5)一端与震荡槽(2)的一侧连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用震荡槽,其特征在于,所述可拆卸支架包括固定在震荡槽(2)底端内壁的固定杆(15),所述固定杆(15)的两端均固定有竖杆(7),两根竖杆(7)上滑动套接有支撑板(8)。
3.根据权利要求
4.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用震荡槽,其特征在于,所述出水管(5)与震荡槽(2)的连接处位于L型支杆(11)的一侧,所述震荡槽(2)的外壁安装有控制开关。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗用震荡槽,包括底板(1)和震荡槽(2),其特征在于,所述震荡槽(2)的下端面四角处均安装有弹片(3),且四个弹片(3)均固定于底板(1)的顶端,所述震荡槽(2)上安装有超声波震荡器,所述震荡槽(2)的内部安装有可拆卸支架,所述可拆卸支架上安装有固定组件,所述震荡槽(2)的侧壁安装有循环组件; 固定组件包括固定在支撑板(8)上端面的l型支杆(11),l型支杆(11)的竖直段开设有条形孔(12),l型支杆(11)的水平段螺接有螺杆(9),螺杆(9)的底端通过轴承转动连接有压杆(10),压杆(10)与条形孔(12)滑动卡接,螺杆(9)的顶端安装有把手; 循环组件包括在震荡槽(2)外壁的泵体(4),泵体(4)抽水端连接的抽水管(6)一端...
【专利技术属性】
技术研发人员:高瑞伯,
申请(专利权)人:世巨科技合肥有限公司,
类型:新型
国别省市:
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