一种具有收集结构的清洗设备制造技术

本技术涉及半导体制造加工技术领域，且公开了一种具有收集结构的清洗设备，包括清洗箱，清洗箱内部设置有滤网，清洗箱侧壁铰接有箱门，清洗箱内部设置有清洗结构，清洗结构包括：中空轴、清洗架、喷头、单向阀、水箱、通液管、电机、主动轮、从动轮，然后使用者可以通过启动电机进行工作，电机为主动轮的转动提高动力，通过电机输出轴转动带动主动轮进行转动，主动轮转动带动与其啮合的从动轮及其内部的中空轴进行转动，进而带动清洗架进行旋转，此时使用者可以启动多组喷头进行喷水清理工作，从而提高了喷头的清理范围，然后通过滤网会对较大的杂质进行一定阻挡，然后通过收集箱用来对清洗完的液体进行收集，从而避免出现浪费。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造加工，具体为一种具有收集结构的清洗设备。

技术介绍

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，晶圆的原始材料是硅，现有的晶圆都是通过人工来进行一个一个的清洗，人工清洗的方式会比较慢。

2、如公开号cn214262949u公开的一种半导体生产用晶圆清洗装置，该装置通过使水泵的输出端和输入端均通过水管将第一水箱的水输入到连通板中，再通过清洗头来进行喷洒，在启动伺服电机，使伺服电机的输出端带动丝杆进行转动，从而使丝杆表面的移动板进行由左到右移动，来对清洗板表面的晶圆全部进行轻微的清洗。

3、但是该清洗结构在使用时实用性较差，该清洗结构在进行清洗时，也只是通过移动板进行由左到右移动进行喷洗，并且由于喷头的位置是固定的，这就导致清理范围较小，并且晶圆在清洗时容易堆积在一起从而导致堆叠的地方不能被清洗到，从而降低了该装置的实用性；鉴于此，我们提出了一种具有收集结构的清洗设备。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种具有收集结构的清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有收集结构的清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内部设置有滤网，所述清洗箱侧壁铰接有箱门，所述清洗箱内部设置有清洗结构，所述清洗结构包括：

3、中空轴，所述中空轴贯穿清洗箱上端中部，所述中空轴下端固定安装有清洗架，所述清洗架下端设置有多组喷头，所述中空轴上端固定安装有单向阀；

4、水箱，所述水箱固定安装在清洗箱上端，所述水箱内部设置有通液管一端，所述通液管另一端与单向阀转动连接，所述清洗箱上端固定安装有电机，所述电机输出轴表面固定安装有主动轮，所述中空轴表面固定安装有从动轮，所述清洗箱内部设置有敲击结构。

5、优选的，所述敲击结构包括贯穿清洗箱内壁两侧的定向筒，所述定向筒内壁滑动连接有移动杆，所述移动杆侧壁固定安装有受击板，所述移动杆表面设置有复位弹簧，所述清洗箱内壁两侧均滑动连接有滑块，所述滑块侧壁铰接有连接杆一端，所述连接杆另一端与受击板侧壁铰接，所述滑块下端固定安装有敲击块，所述清洗架两侧均固定安装有弧形敲块。

6、优选的，所述敲击块设置有弧形结构且与清洗箱内壁相接触。

7、优选的，所述复位弹簧一端与定向筒侧壁固定连接，所述复位弹簧另一端与受击板侧壁固定连接。

8、优选的，所述清洗箱内壁两侧均固定安装有固定板，所述固定板上端固定安装有抖动弹簧，所述抖动弹簧上端与滤网下端固定连接。

9、优选的，所述清洗箱内壁设置有收集箱。

10、与现有技术相比，本技术提供了一种具有收集结构的清洗设备，具备以下有益效果：

11、1、该具有收集结构的清洗设备通过设置了清洗结构从而方便做到对滤网表面放置的多个半导体晶片进行清洗，通过水箱为中口轴和清洗架内部进行供水，然后通过移动电机带动中口轴进行转动，进而带动清洗架进行旋转喷水清理，从而提高了该装置的清理范围，并且通过设置了收集箱用来对清洗后的废水进行收集，从而方便后续进行过滤使用。

12、2、该具有收集结构的清洗设备通过设置了敲击结构从而方便做到对滤网进行敲击使得滤网发生抖动，通过清洗架进行转动，此时清洗架侧壁的弧形敲块与受击板进行接触，从而使得受击板向内移动，进而带动滑块和敲击块可向下移动对滤网进行敲击抖动，从而避免半导体晶片在清洗时容易堆积在一起从而导致堆叠的地方不能被清洗到。

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【技术保护点】

1.一种具有收集结构的清洗设备，包括清洗箱(1)，所述清洗箱(1)内部设置有滤网(2)，其特征在于：所述清洗箱(1)侧壁铰接有箱门(5)，所述清洗箱(1)内部设置有清洗结构(3)，所述清洗结构(3)包括：

2.根据权利要求1所述的一种具有收集结构的清洗设备，其特征在于：所述敲击结构(4)包括贯穿清洗箱(1)内壁两侧的定向筒(41)，所述定向筒(41)内壁滑动连接有移动杆(42)，所述移动杆(42)侧壁固定安装有受击板(43)，所述移动杆(42)表面设置有复位弹簧(44)，所述清洗箱(1)内壁两侧均滑动连接有滑块(45)，所述滑块(45)侧壁铰接有连接杆(46)一端，所述连接杆(46)另一端与受击板(43)侧壁铰接，所述滑块(45)下端固定安装有敲击块(47)，所述清洗架(32)两侧均固定安装有弧形敲块(48)。

3.根据权利要求2所述的一种具有收集结构的清洗设备，其特征在于：所述敲击块(47)设置有弧形结构且与清洗箱(1)内壁相接触。

4.根据权利要求3所述的一种具有收集结构的清洗设备，其特征在于：所述复位弹簧(44)一端与定向筒(41)侧壁固定连接，所述复位弹簧(44)另一端与受击板(43)侧壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有收集结构的清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)内壁两侧均固定安装有固定板(6)，所述固定板(6)上端固定安装有抖动弹簧(7)，所述抖动弹簧(7)上端与滤网(2)下端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有收集结构的清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)内壁设置有收集箱(8)。

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【技术特征摘要】

1.一种具有收集结构的清洗设备，包括清洗箱(1)，所述清洗箱(1)内部设置有滤网(2)，其特征在于：所述清洗箱(1)侧壁铰接有箱门(5)，所述清洗箱(1)内部设置有清洗结构(3)，所述清洗结构(3)包括：

2.根据权利要求1所述的一种具有收集结构的清洗设备，其特征在于：所述敲击结构(4)包括贯穿清洗箱(1)内壁两侧的定向筒(41)，所述定向筒(41)内壁滑动连接有移动杆(42)，所述移动杆(42)侧壁固定安装有受击板(43)，所述移动杆(42)表面设置有复位弹簧(44)，所述清洗箱(1)内壁两侧均滑动连接有滑块(45)，所述滑块(45)侧壁铰接有连接杆(46)一端，所述连接杆(46)另一端与受击板(43)侧壁铰接，所述滑块(45)下端固定安装有敲击块(47)，所述清洗架(32)两...

【专利技术属性】
技术研发人员：谈国敏，周峰，
申请(专利权)人：扬州国润半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：