【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，尤其是指一种蒸镀装置。
技术介绍
1、真空镀膜是指在高真空条件下，利用各种物理或化学方法有机材料或无机材料通过加热丝加热，蒸镀材料受热蒸发，以原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入射到基板表面，凝结形成固态薄膜的方法。真空镀膜技术分为物理气相沉积（pvd）和化学气相沉积（cvd）。物理气相沉积法主要分为真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜。在钙钛矿层制备中，主流使用方法为蒸发镀膜，简称蒸镀法。蒸镀腔室的蒸镀源一般包括三类，点源、线源以及面源。当采用线源作为蒸镀源时，通常使用电阻丝作为加热器，从而使蒸镀材料达到目标温度，形成蒸汽流入射到基板表面，进而凝结形成固态薄膜。在现有技术中，通过在腔体的坩埚内设置加热丝以对蒸镀材料进行加热，具体地，将加热丝分别布设于待蒸镀材料的四周以使待蒸镀材料能够均匀受热，并且在加热过程中，需要确保底部与四周的加热温度保持一致。在现有技术中，通常在蒸发器内设置三组加热丝，其中顶部设置一组、底部分别设置两组，需要确保底部的加热温度均匀，因此需要底部的加热丝的加热温度保持一致。
2、然而，现有技术中的缺陷在于，在实际生产中，在对蒸镀材料进行加热过程中，位于蒸发器底部的两组加热丝的加热温度具有细微的差异，而此种差异也会影响蒸镀效果，进而降低产品质量。
技术实现思路
1、为此，本专利技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种蒸镀装置，能够更加精确的调控蒸镀源的温度，从而确保蒸镀器的底部加热温度和侧面加热温度的一
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种蒸镀装置，用于将蒸镀材料蒸镀至基板，包括，
3、蒸镀腔室；
4、蒸发器单元，其包括蒸发器，所述蒸发器设置于所述蒸镀腔室，所述蒸镀材料收容于所述蒸发器；
5、蒸镀源，其设置于所述蒸发器内，所述蒸镀源包括线源组件，所述线源组件包括设置于所述蒸发器的第一加热组件、第二加热组件以及温度补偿组件，其中，所述第一加热组件设置于所述蒸发器的顶部，所述第二加热组件和所述温度补偿组件设置于所述蒸发器的底部，所述温度补偿组件的长度为所述第二加热组件长度的10%-30%；
6、温度检测单元，其与所述线源组件相连，以对所述线源组件的温度进行检测；
7、控制单元，其与所述蒸镀源以及所述温度监测单元相连，以获取所述蒸镀源的温度，通过调控所述温度补偿组件的温度，以控制所述蒸发器的加热温度的一致性。
8、在本专利技术的一个实施例中，所述温度补偿组件的长度为所述第二加热组件长度的10%。
9、在本专利技术的一个实施例中，所述第一加热组件包括至少一个第一加热丝，所述第一加热丝呈直线型，所述第一加热丝沿着所述蒸发器的侧壁延伸设置；所述第二加热组件包括第二加热丝和第三加热丝，所述第二加热丝和所述第三加热丝呈弯曲型设置；所述温度补偿组件包括第四加热丝和第五加热丝，所述第四加热丝和所述第五加热丝呈弯曲型设置。
10、在本专利技术的一个实施例中，所述蒸发器的底部具有第一区域和第二区域，所述第二加热丝位于所述第一区域，所述第三加热丝位于所述第二区域。
11、在本专利技术的一个实施例中，所述第四加热丝位于所述第一区域，所述第五加热丝位于所述第二区域；所述第四加热丝的长度为所述第二加热丝的长度的10%，所述第五加热丝的长度为所述第三加热丝的长度的10%。
12、在本专利技术的一个实施例中，所述第二加热丝和所述第四加热丝沿所述蒸发器深度方向的投影相互重叠；所述第三加热丝和所述第五加热丝沿所述蒸发器深度方向的投影相互重叠。
13、在本专利技术的一个实施例中，所述第一区域和所述第二区域的面积相等。
14、在本专利技术的一个实施例中，所述温度检测单元包括温度传感器，所述温度传感器与所述线源组件相连。
15、在本专利技术的一个实施例中，还包括加热电源，所述加热电源与所述线源组件电连接。
16、在本专利技术的一个实施例中，所述蒸发器包括坩埚。
17、本专利技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
18、本专利技术所述的一种蒸镀装置，设有蒸镀腔室、蒸发器单元、蒸镀源、温度检测单元以及控制单元，其中，蒸镀源设置于蒸发器内，用于对蒸发器内的蒸镀材料进行加热。具体地，蒸镀源包括第一加热组件、第二加热组件以及温度补偿组件，第一加热组件设置于蒸发器的顶部，第二加热组件设置于蒸发器的底部，温度补偿组件设置于蒸发器的底部、且与第二加热组件临接设置，从而，基于温度检测单元对线源组件的温度检测结果，当加热温度未达到指定温度范围时，通过温度补偿组件对第二加热组件的加热温度进行补偿，以使蒸发器底部的加热温度能够保持在指定温度范围内，从而能够更加精细的调节蒸发器的底部加热温度，确保底部加热温度的均匀性，通过温度补偿组件与第二加热组件相互配合，从而避免蒸发器内底部各处的温差过大，有效调控加热温度至目标温度范围，实现线源温度的精细化控制，且控制过程简单快捷，便于作业人员操控，进而也能够确保蒸镀效果的稳定性，有效提高产品质量。
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1.一种蒸镀装置，用于将蒸镀材料蒸镀至基板，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述温度补偿组件的长度为所述第二加热组件长度的10%。
3.根据权利要求1或2所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述第一加热组件包括至少一个第一加热丝，所述第一加热丝呈直线型，所述第一加热丝沿着所述蒸发器的侧壁延伸设置；所述第二加热组件包括第二加热丝和第三加热丝，所述第二加热丝和所述第三加热丝呈弯曲型设置；所述温度补偿组件包括第四加热丝和第五加热丝，所述第四加热丝和所述第五加热丝呈弯曲型设置。
4.根据权利要求3所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发器的底部具有第一区域和第二区域，所述第二加热丝位于所述第一区域，所述第三加热丝位于所述第二区域。
5.根据权利要求4所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述第四加热丝位于所述第一区域，所述第五加热丝位于所述第二区域；所述第四加热丝的长度为所述第二加热丝的长度的10%，所述第五加热丝的长度为所述第三加热丝的长度的10%。
6.根据权利要求4所述的一种蒸镀装置，其特征在于
7.根据权利要求4 所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述第一区域和所述第二区域的面积相等。
8.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述温度检测单元包括温度传感器，所述温度传感器与所述线源组件相连。
9.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：还包括加热电源，所述加热电源与所述线源组件电连接。
10.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发器包括坩埚。
...【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，用于将蒸镀材料蒸镀至基板，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述温度补偿组件的长度为所述第二加热组件长度的10%。
3.根据权利要求1或2所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述第一加热组件包括至少一个第一加热丝，所述第一加热丝呈直线型，所述第一加热丝沿着所述蒸发器的侧壁延伸设置；所述第二加热组件包括第二加热丝和第三加热丝，所述第二加热丝和所述第三加热丝呈弯曲型设置；所述温度补偿组件包括第四加热丝和第五加热丝，所述第四加热丝和所述第五加热丝呈弯曲型设置。
4.根据权利要求3所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发器的底部具有第一区域和第二区域，所述第二加热丝位于所述第一区域，所述第三加热丝位于所述第二区域。
5.根据权利要求4所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述第四加热丝位于...
【专利技术属性】
技术研发人员：张信，金政泽，
申请(专利权)人：苏州方昇光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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