【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光波导，尤其涉及树脂晶圆旋涂胶水方法。
技术介绍
1、增强现实(ar，augmented reality)的近眼显示装置中，光学模块通常由两部分构成：光机(也称为光引擎)和光组合器。其中的光机由图像源和投影镜头组成，图像源用于生成待显示的图像，投影镜头将图像源所显示的图像投影到无穷远或指定距离处。其中的光组合器可将光机出射的信号光定向传输至人眼，在视网膜上形成待显示的图像；与此同时，光组合器对于真实世界的环境光具有良好的透过性，透过光组合器，人眼能够同时看清真实世界的景物和光机投影的图像，实现虚实结合。
2、衍射光波导因其厚度薄、重量轻、透光性好的特点，成为光组合器的优选方案，衍射光波导的整体的光波导性能的好坏对近眼显示装置的显示效果的优劣影响极大。
3、相关技术中，在对制作衍射光波导较薄的树脂晶圆进行旋涂时，真空吸附树脂晶圆并带动其旋转的过程中，树脂晶圆出现变形，且胶水厚度分布不均匀，导致制成的光栅结构不均匀，严重影响衍射光波导的光效。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提出了一种树脂晶圆旋涂胶水方法，旨在解决前述的至少一个技术问题，实现对较薄的树脂晶圆的均匀涂胶、树脂晶圆涂胶时不发生变形。
2、本专利技术提出的一种树脂晶圆旋涂胶水方法，包括以下步骤：提供硬质基底，在硬质基底的一面上贴合可剥离胶层；提供树脂晶圆，在所述树脂晶圆的第一面上添加一层疏水膜层；将所述树脂晶圆带有疏水膜层的第一面贴合在所述可剥离胶层上，形成旋涂复合结构
3、从上述的技术方案可以看出，本专利技术提出的树脂晶圆旋涂胶水方法，通过将较薄的树脂晶圆粘贴在硬质基底上，硬质基底为树脂晶圆提供了支撑力，硬质基底还可以被真空吸附并传递旋转作用力，带动树脂晶圆涂胶，使树脂晶圆在涂胶的过程中始终保持平展而不变形，从而使旋涂过程中，树脂晶圆的第二面能够按需高质量旋涂胶水。树脂晶圆朝向硬质基底的一面上设有疏水膜层，从而使树脂晶圆在剥离的过程中，由于疏水膜层与可剥离胶层之间的粘合度更低，因此，树脂晶圆更易克服与可剥离胶层之间的粘接力而实现剥离，剥离方便。当树脂晶圆剥离后，硬质基底与可剥离胶层可保留并重复使用，降低成本。
4、在本专利技术的一些实施例中，所述可剥离胶层为温敏胶；所述树脂晶圆旋涂胶水时所述可剥离胶层处于第一温度，所述树脂晶圆从所述硬质基底上剥离时，所述可剥离胶层处于第二温度，所述第二温度与所述第一温度不同，在所述第一温度下，所述可剥离胶层的粘性降低。
5、在本专利技术进一步地一些实施例中，所述第二温度小于所述第一温度；和/或，所述第二温度为60℃～80℃，所述第一温度为20℃～30℃。
6、在本专利技术的一些实施例中，所述将旋涂后的树脂晶圆从所述硬质基底的可剥离胶层上剥离前还包括以下步骤：对所述旋涂复合结构进行升温，使所述可剥离胶层的粘性降低，所述可剥离胶层与所述疏水膜层彼此分离。
7、在本专利技术的一些实施例中，所述可剥离胶层包括环氧树脂胶、丙烯酸酯胶或者聚氨酸酯胶中的至少一种。
8、在本专利技术的一些实施例中，所述提供硬质基底，在硬质基底的一面上贴合可剥离胶层的步骤中包括：提供硬质基底，处理所述硬质基底的一面形成亲水膜层，在具有所述亲水膜层的一面上贴合可剥离胶层。
9、在本专利技术的一些具体实施例中，所述亲水膜层的亲水角度小于或等于30度；和/或，所述疏水膜层的疏水角度大于110度。
10、在本专利技术的一些实施例中，所述硬质基底包括树脂衬底、玻璃衬底或硅衬底中的至少一种。
11、在本专利技术的一些实施例中，所述树脂晶圆的外轮廓在所述硬质基底上的正投影与所述硬质基底的外轮廓重合；或者，所述树脂晶圆的外轮廓在所述硬质基底上的正投影位于所述硬质基底的外轮廓内。
12、在本专利技术的一些实施例中，所述在硬质基底的一面上贴合可剥离胶层包括：通过滚轮滚压的方法在硬质基底的一面上贴合可剥离胶层；将所述树脂晶圆带有疏水膜层的第一面贴合在所述可剥离胶层上包括：通过滚轮滚压的方法将带有疏水膜层的所述树脂晶圆的第一面贴合在所述可剥离胶层上。
13、在本专利技术的一些实施例中，未贴合的所述可剥离胶层的相对两面分别设有第一保护膜和第二保护膜；所述在硬质基底的一面上贴合可剥离胶层前还包括以下步骤：将所述可剥离胶层的所述第一保护膜撕除；所述将所述树脂晶圆带有疏水膜层的第一面贴合在所述可剥离胶层上前还包括以下步骤：将所述可剥离胶层的所述第二保护膜撕除。
14、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术实施例的公开内容。
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1.一种树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述可剥离胶层为温敏胶；所述树脂晶圆旋涂胶水时所述可剥离胶层处于第一温度，所述树脂晶圆从所述硬质基底上剥离时，所述可剥离胶层处于第二温度，所述第二温度与所述第一温度不同，在所述第一温度下，所述可剥离胶层的粘性降低。
3.如权利要求2所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述第二温度小于所述第一温度；和/或，
4.如权利要求1所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述将旋涂后的树脂晶圆从所述硬质基底的可剥离胶层上剥离前还包括以下步骤：
5.如权利要求1-4中任一项所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述可剥离胶层包括环氧树脂胶、丙烯酸酯胶或者聚氨酸酯胶中的至少一种。
6.如权利要求1-4中任一项所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述提供硬质基底，在硬质基底的一面上贴合可剥离胶层的步骤中包括：
7.如权利要求6所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述亲水膜层的亲水角度小于或等于30度
8.如权利要求1-4中任一项所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述硬质基底包括树脂衬底、玻璃衬底或硅衬底中的至少一种。
9.如权利要求1-4中任一项所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述树脂晶圆的外轮廓在所述硬质基底上的正投影与所述硬质基底的外轮廓重合；或者，
10.如权利要求1-4中任一项所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述在硬质基底的一面上贴合可剥离胶层包括：通过滚轮滚压的方法在硬质基底的一面上贴合可剥离胶层；
11.如权利要求1-4中任一项所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，未贴合的所述可剥离胶层的相对两面分别设有第一保护膜和第二保护膜；
...【技术特征摘要】
1.一种树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述可剥离胶层为温敏胶；所述树脂晶圆旋涂胶水时所述可剥离胶层处于第一温度，所述树脂晶圆从所述硬质基底上剥离时，所述可剥离胶层处于第二温度，所述第二温度与所述第一温度不同，在所述第一温度下，所述可剥离胶层的粘性降低。
3.如权利要求2所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述第二温度小于所述第一温度；和/或，
4.如权利要求1所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述将旋涂后的树脂晶圆从所述硬质基底的可剥离胶层上剥离前还包括以下步骤：
5.如权利要求1-4中任一项所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述可剥离胶层包括环氧树脂胶、丙烯酸酯胶或者聚氨酸酯胶中的至少一种。
6.如权利要求1-4中任一项所述的树脂晶圆旋涂胶水方法，其特征在于，所述提供硬...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁周生，徐松，周兴，王兆民，
申请(专利权)人：珠海莫界科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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