【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏，具体涉及一种用于板式pecvd设备的传动结构。
技术介绍
1、现有板式pecvd真空腔体设备内部的用于传动的部件均为配装滚轮的磁流体，根据腔体尺寸及载板负载等数据设计磁流体之间间隔，从而决定每个腔体使用磁流体的总数量(市场主流腔体尺寸使用磁流体数量约14～18个/腔室)。磁流体之间使用皮带带动磁流体轴端的皮带轮传递动力，进而实现传动的功能。
2、现有板式pecvd设备使用的磁流体单价较高，单腔使用数量多，造成整线成本太高，另一方面，由于磁流体单腔使用数量多，磁流体密封面装配要求高，且损坏后更换备件的流程较复杂。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供了一种用于板式pecvd设备的传动结构，通过使用部分惰轮来代替滚轮，以及去掉了板式pecvd设备腔体中部的支撑滚轮，来精简了传动结构，降低设备制造成本和设备维护保养难度。
2、为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案：
3、一种用于板式pecvd设备的传动结构，包括：
4、第一磁流体和第二磁流体，板式pecvd设备腔体长度方向的两个侧壁外侧分别设置有一个所述第一磁流体和一个所述第二磁流体，且同侧的所述第一磁流体和所述第二磁流体之间存在间隙；
5、第一皮带轮和第二皮带轮，所述第一皮带轮连接在所述第一磁流体外侧，所述第二皮带轮连接在所述第二磁流体外侧，所述第一皮带轮和所述第二皮带轮通过第一皮带连接；
6、滚轮，设置在板式pecvd设备腔体长度方向的两个侧
7、惰轮，设置在板式pecvd设备腔体长度方向的同一侧壁的两个所述滚轮中间并与板式pecvd设备腔体转动连接，所述惰轮的轴线与所述滚轮的轴线平行且所述惰轮的最高处与所述滚轮的最高处平齐；
8、驱动装置，能驱动所述第一皮带轮转动并带动所述第二皮带轮转动，所述第一皮带轮和所述第二皮带轮转动时能带动所述第一磁流体和所述第二磁流体转动并带动所述滚轮转动；
9、载板放置在所述滚轮和所述惰轮上被所述滚轮带动沿板式pecvd设备腔体侧长度方向移动时，所述惰轮能沿自身轴线转动。
10、可选的，所述用于板式pecvd设备的传动结构沿板式pecvd设备宽度方向的中线对称设置。
11、可选的，设置在板式pecvd设备腔体长度方向同一侧壁的所述惰轮和所述滚轮沿直线排布，所述惰轮的宽度与所述滚轮的宽度相同。
12、可选的，所述惰轮通过轴承和连接轴转动连接在支架上，所述支架通过固定螺栓连接在板式pecvd设备腔体内。
13、可选的，所述支架上还设置有高度调节螺栓，调节所述高度调节螺栓能调整所述惰轮的高度。
14、可选的，所述轴承的材质为陶瓷材质，和/或，所述惰轮的材质为金属材质。
15、可选的，还包括第三皮带轮和第二皮带，所述第一皮带轮和所述第三皮带轮通过所述第二皮带相连接，板式pecvd设备两侧的所述第三皮带轮被同一个驱动装置驱动。
16、可选的，所述驱动装置为伺服电机，所述伺服电机通过联轴器分别连接至两个传动轴，每个所述传动轴均连接至一个所述第三皮带轮。
17、可选的，所述第一皮带轮和所述第二皮带轮的连线与所述第一皮带轮和所述第三皮带轮的连线之间存在夹角，所述第三皮带轮位于所述第一皮带轮下方远离所述第二皮带轮的一侧。
18、可选的，所述第一皮带轮和所述第三皮带轮之间还设置有中间轮，所述中间轮与所述第二皮带相接触。
19、本申请提供的用于板式pecvd设备的传动结构，通过将每个板式pecvd设备腔体对应的磁流体安装数量减少到4个，相应地减少了滚轮的数量，并用惰轮来代替部分滚轮对载板进行支撑；除了板式pecvd设备腔体两个内侧壁处设置的滚轮和惰轮之外，板式pecvd设备腔体内部也不需要设置任何其他轮体即可对载板进行有效支撑，有效地降低设备制造成本和设备维护保养难度。
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1.一种用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，所述用于板式PECVD设备的传动结构沿板式PECVD设备宽度方向的中线对称设置。
3.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，设置在板式PECVD设备腔体长度方向同一侧壁的所述惰轮和所述滚轮沿直线排布，所述惰轮的宽度与所述滚轮的宽度相同。
4.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，所述惰轮通过轴承和连接轴转动连接在支架上，所述支架通过固定螺栓连接在板式PECVD设备腔体内。
5.根据权利要求4所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，所述支架上还设置有高度调节螺栓，调节所述高度调节螺栓能调整所述惰轮的高度。
6.根据权利要求4所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，所述轴承的材质为陶瓷材质，和/或，所述惰轮的材质为金属材质。
7.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，还包括第三
8.根据权利要求7所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，所述驱动装置为伺服电机，所述伺服电机通过联轴器分别连接至两个传动轴，每个所述传动轴均连接至一个所述第三皮带轮。
9.根据权利要求7所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，所述第一皮带轮和所述第二皮带轮的连线与所述第一皮带轮和所述第三皮带轮的连线之间存在夹角，所述第三皮带轮位于所述第一皮带轮下方远离所述第二皮带轮的一侧。
10.根据权利要求7所述的用于板式PECVD设备的传动结构，其特征在于，所述第一皮带轮和所述第三皮带轮之间还设置有中间轮，所述中间轮与所述第二皮带相接触。
...【技术特征摘要】
1.一种用于板式pecvd设备的传动结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于板式pecvd设备的传动结构，其特征在于，所述用于板式pecvd设备的传动结构沿板式pecvd设备宽度方向的中线对称设置。
3.根据权利要求1所述的用于板式pecvd设备的传动结构，其特征在于，设置在板式pecvd设备腔体长度方向同一侧壁的所述惰轮和所述滚轮沿直线排布，所述惰轮的宽度与所述滚轮的宽度相同。
4.根据权利要求1所述的用于板式pecvd设备的传动结构，其特征在于，所述惰轮通过轴承和连接轴转动连接在支架上，所述支架通过固定螺栓连接在板式pecvd设备腔体内。
5.根据权利要求4所述的用于板式pecvd设备的传动结构，其特征在于，所述支架上还设置有高度调节螺栓，调节所述高度调节螺栓能调整所述惰轮的高度。
6.根据权利要求4所述的用于板式pecvd设备的传动结构，其特征在于，所述轴承的材质为陶瓷材...
【专利技术属性】
技术研发人员：何宗亮，
申请(专利权)人：株洲三一硅能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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