【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏制造设备领域，尤其涉及一种反应炉及光伏材料制造设备。
技术介绍
1、半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入反应炉中在一定温度和低压条件下进行反应来实现，而反应炉要形成密闭的低压腔，反应炉的密封状态起着至关重要的作用。
2、一般的反应炉是采用尾法兰对反应炉的端盖进行密封，但是端盖和尾法兰之间的密封圈的冷却效果差，造成密封圈容易受高温而发生碳化，导致反应炉漏气。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种反应炉，对密封圈进行冷却，从而提高密封圈的使用寿命，以保障反应炉的密封效果。
2、本申请提供一种反应炉，包括：炉管、内法兰、尾法兰、尾盖和第一密封圈。炉管具有相对的炉口和炉尾，沿炉管的轴向方向，炉尾设有开口，沿炉管的经向方向，炉尾的外侧壁设有固定部。内法兰套设于炉管，沿所述炉管的轴向方向，内法兰相对于固定部靠近开口，内法兰和固定部可拆卸连接。尾法兰套设于炉管，尾法兰与内法兰远离固定板的一侧可拆卸连接，尾法兰设有第一冷却通道，第一冷却通道内流通有第一冷却介质。尾盖与尾法兰可拆卸连接，尾盖盖合于开口，尾法兰设有第二冷却通道，第二冷却通道内流通有第二冷却介质。第一密封圈设于尾法兰与尾盖之间，沿所述炉管的轴向方向，所述第一密封圈分别与所述第一冷却通道和所述第二冷却通道至少部分重合。其中，所述第二冷却介质用于冷却所述第一密封圈。
3、上述实施例中，通过尾法兰和尾盖上均设置有冷却通道，使第一冷却介质和第二冷却介质分别对第一密封圈的两侧进行吸热
4、在一些实施例中，沿所述炉管的轴向方向，第一冷却通道开设于尾法兰朝向内法兰的一侧，和/或第二冷却通道开设于尾盖远离尾法兰的一侧。
5、在一些实施例中，尾法兰和/或尾盖上均设有两个水口，沿所述炉管的圆周方向，第一冷却通道和/或第二冷却通道分别具有第一端和第二端，所述尾法兰的两个水口分别与第一冷却通道的第一端和第二端连通。和/或尾盖的两个水口分别与第二冷却通道的第一端和第二端连通。
6、在一些实施例中，第一冷却通道呈环状设置，第一冷却通道内设有第一隔板，沿所述第一冷却通道的圆周方向，第一冷却通道的第一端和第二端分别位于第一隔板相对的两侧。和/或，第二冷却通道呈环状设置，第二冷却通道内设有第二隔板，所述第二冷却通道的圆周方向，所述第二冷却通道的第一端和第二端分别位于第二隔板相对的两侧。
7、在一些实施例中，尾法兰朝向尾盖设有第一容纳空间，第一容纳空间用于容纳第一密封圈的至少一部分，第一容纳空间在尾法兰的径向方向上的宽度自尾法兰向尾盖逐渐减小。
8、在一些实施例中，反应炉还包括设于尾盖和炉管之间的缓冲件，沿所述尾盖的径向方向，缓冲件位于第一密封圈的内侧。
9、在一些实施例中，内法兰设有第二容纳空间和第三容纳空间，所述第二容纳空间和所述第三容纳空间用于容纳所述炉管的一部分，沿所述炉管的轴线方向，所述第二容纳空间相对于第三容纳空间靠近所述尾法兰。反应炉还包括第二密封圈，第二容纳空间还用于容纳第二密封圈，所述第二密封圈能够套设于所述炉管的外侧。内法兰设有斜面，所述斜面分别与第二容纳空间的侧壁和第三容纳空间的侧壁连接，斜面朝向尾法兰和炉管，所述斜面用于朝向所述炉管和所述尾法兰支撑所述第二密封圈。
10、在一些实施例中，尾法兰设有朝向第二容纳空间内延伸的突出部，突出部被配置为朝向斜面作用于第二密封圈。
11、在一些实施例中，内法兰远离尾法兰的一侧设有第三冷却通道，第三冷却通道内流通有第三冷却介质。
12、一种光伏材料制造设备，包括机架和上述的反应炉，固定部与机架连接。
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1.一种反应炉，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，沿所述炉管的轴向方向，所述第一冷却通道开设于所述尾法兰朝向所述内法兰的一侧；
3.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述尾法兰和/或所述尾盖上均设有两个水口，沿所述炉管的圆周方向，所述第一冷却通道和/或所述第二冷却通道分别具有第一端和第二端，所述尾法兰的两个所述水口分别与所述第一冷却通道的所述第一端和所述第二端连通；和/或
4.根据权利要求3所述的反应炉，其特征在于，所述第一冷却通道呈环状设置，所述第一冷却通道内设有第一隔板，沿所述第一冷却通道的圆周方向，所述第一冷却通道的所述第一端和所述第二端分别位于所述第一隔板的两侧；
5.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述尾法兰朝向所述尾盖设有第一容纳空间，所述第一容纳空间用于容纳所述第一密封圈的至少一部分，所述第一容纳空间在所述尾法兰的径向方向上的宽度自所述尾法兰向所述尾盖逐渐减小。
6.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述反应炉还包括设于所述尾盖和所述炉管之间的缓冲件，沿所述
7.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述内法兰设有第二容纳空间和第三容纳空间，所述第二容纳空间和所述第三容纳空间用于容纳所述炉管的一部分，沿所述炉管的轴线方向，所述第二容纳空间相对于所述第三容纳空间靠近所述尾法兰；
8.根据权利要求7所述的反应炉，其特征在于，所述尾法兰设有朝向所述第二容纳空间内延伸的突出部，所述突出部被配置为朝向所述斜面作用于所述第二密封圈。
9.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述内法兰远离所述尾法兰的一侧设有第三冷却通道，所述第三冷却通道内流通有第三冷却介质。
10.一种光伏材料制造设备，其特征在于，包括机架和如权利要求1至9任意一项所述的反应炉，所述固定部与所述机架连接。
...【技术特征摘要】
1.一种反应炉，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，沿所述炉管的轴向方向，所述第一冷却通道开设于所述尾法兰朝向所述内法兰的一侧；
3.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述尾法兰和/或所述尾盖上均设有两个水口，沿所述炉管的圆周方向，所述第一冷却通道和/或所述第二冷却通道分别具有第一端和第二端，所述尾法兰的两个所述水口分别与所述第一冷却通道的所述第一端和所述第二端连通；和/或
4.根据权利要求3所述的反应炉，其特征在于，所述第一冷却通道呈环状设置，所述第一冷却通道内设有第一隔板，沿所述第一冷却通道的圆周方向，所述第一冷却通道的所述第一端和所述第二端分别位于所述第一隔板的两侧；
5.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述尾法兰朝向所述尾盖设有第一容纳空间，所述第一容纳空间用于容纳所述第一密封圈的至少一部分，所述第一容纳空间在所述尾法兰的径向方向上的宽度自所述尾法兰...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐楷源，刘再福，伍明辉，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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