【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及硅微粒子的制备方法及通过该方法制备的硅微粒子。
技术介绍
1、硅在太阳光及半导体等多种产业领域中使用，其需求呈飞跃式增长。
2、硅代表性地通过利用钟罩式反应器(bell-jar type reactor)的西门子法以及流化床反应器(fbr，fluidized bed reactor)方法来制备。
3、其中，西门子法为从设置在钟罩式反应器内的硅棒(rod)的表面析出硅的方法，由于硅的析出所需的表面积受限，通过析出反应增加的硅棒的直径受限，因此，无法进行连续的工序，而且硅的单位重量的电力消耗量大，具有生产性低的局限性。
4、而且，fbr方法为从以高温加热的硅种粒子(seed)的表面析出硅来使种粒子生长的方法。通过该方法制备的硅通常制备为毫米以上的大小。于是，为了获得微小的硅，需要额外的粉碎过程，粉碎过程中会产生微粉，还需要筛选(sieving)过程，工序复杂且增加时间和成本，因此具有不效率的问题。而且，在流化床反应器中使种粒子生长的生产过程中，具有硅与反应器内壁接触的过程中提高杂质含量的问题。
5、因此，为了解决所述问题，需要开发能够有效制备及生产在杂质含量最小化的同时粒度得到控制的硅微粒子的方法。
6、于是，本专利技术人确认到可以在没有硅棒或种粒子的情况下，在一个反应器内同时实现硅种粒子的形成和离子的生长来制备硅微粒子，从而完成本专利技术。
技术实现思路
1、技术问题
2、本专利技术的目的在于，提供
3、本专利技术的目的在于，提供无需额外的粉碎过程或筛选过程的经济且有效的硅微粒子的制备方法。
4、本专利技术的目的不限定于以上提及的目的，可以通过下述说明理解未提及的本专利技术的其他目的及优点，将通过本专利技术的实施例得以更明确的理解。并且，显而易见的是，本专利技术的目的及优点可以通过专利技术要求保护范围所示的手段及其组合来实现。
5、技术方案
6、为了实现所述目的，根据本专利技术，可以提供一种硅微粒子的制备方法，包括：使硅烷气体混合物流入反应器内的步骤；以及在所述反应器中分解所述硅烷气体混合物来制备硅微粒子的步骤，所述硅烷气体混合物包含第一硅烷气体及第二硅烷气体，所述第一硅烷气体的分解温度低于第二硅烷气体的分解温度。
7、而且，根据本专利技术，可以提供通过所述硅微粒子的制备方法制备的杂质的含量低的硅微粒子。
8、专利技术的效果
9、本专利技术的硅微粒子的制备方法可以在没有硅棒或硅种粒子的情况下制备硅微粒子，可以避免不必要的接触，由此可以在没有额外的追加工序的情况下降低金属杂质的含量。
10、本专利技术的硅微粒子的制备方法可以在一个反应器中同时实现硅种粒子的生成及离子的生长，因此更为经济、效率。
11、本专利技术的硅微粒子的制备方法因无需额外的粉碎过程而不产生微粉，也不需要筛选(sieving)过程，因此可以更为经济、效率地制备硅微粒子。
12、本专利技术的具体效果将与上述效果一同在以下具体实施方式的说明过程中一同记述。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种硅微粒子的制备方法，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，所述硅烷气体混合物为选自由化学式1或化学式2表示的硅烷气体中的两种以上，
3.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，所述第一硅烷气体与所述第二硅烷气体以1:30至1:2的摩尔比流入反应器内。
5.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，在一个所述反应器中，在分解所述硅烷气体混合物来生成硅种粒子的同时使之生长来制备硅微粒子。
6.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，不使用硅棒或硅种粒子。
7.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，使所述硅烷气体混合物在所述反应器中滞留5分钟至60分钟来制备所述硅微粒子。
8.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，所述反应器的温度为700℃至1000℃，压力为1bar至10bar。
9.一种硅微粒子，其特征在于，根据权利要求1至8中任
10.根据权利要求9所述的硅微粒子，其特征在于，
11.根据权利要求9所述的硅微粒子，其特征在于，所述硅微粒子的平均晶粒大小为60nm以下。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种硅微粒子的制备方法，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，所述硅烷气体混合物为选自由化学式1或化学式2表示的硅烷气体中的两种以上，
3.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，所述第一硅烷气体与所述第二硅烷气体以1:30至1:2的摩尔比流入反应器内。
5.根据权利要求1所述的硅微粒子的制备方法，其特征在于，在一个所述反应器中，在分解所述硅烷气体混合物来生成硅种粒子的同时使之生长来制备硅微粒子。
6.根据权利要求1所述的硅微粒...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢民镐，吴珉暻，蒋浚贤，姜秉昶，池银玉，
申请(专利权)人：OCI有限公司，
类型：发明
国别省市：
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