【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于处理衬底的加热板和制造加热板的方法。
技术介绍
1、为了制造半导体器件或平板显示面板，需要进行各种过程，诸如沉积、摄影、蚀刻和清洁。在这些过程中，摄影过程包括其中将光敏液体(诸如光致抗蚀剂)涂覆到衬底表面以形成膜的涂覆过程、其中将电路图案转印到衬底上形成的膜的曝光过程、以及其中从曝光区域或曝光区域的相对区域选择性地去除衬底上形成的膜的显影过程。此外，在涂覆过程、曝光过程和显影过程之前和之后执行热处理过程。
2、在此，通过将衬底传送到热处理室并加热所传送的衬底来进行热处理过程。在这种情况下，在相关技术中，衬底安装在加热板上，并且通过接收来自被加热的加热板的热量来进行热处理。
3、用于加热衬底的传统加热板形成为均匀地加热整个衬底，并且为了均匀地加热衬底的整个区域，需要调节安装在加热板上的电热丝的电阻，使得每根电热丝被加热到均匀的温度。
4、另一方面，存在通过向在线宽或厚度上未均匀形成的加热丝发射激光来去除一部分体积的传统方法，但是该方法难以均匀地应用于整个加热丝，因此难以精细地控制加热丝的电阻。
技术实现思路
1、本专利技术致力于提供一种能够容易地调节用于热处理衬底的电热丝的电阻的加热板以及制造加热板的方法。
2、本专利技术的目的不限于此，并且本领域的普通技术人员将从以下描述中清楚地理解未提及的其他目的。
3、本专利技术的示例性实施例提供了一种用于支撑和加热衬底的加热板，该加热板包括：基层，衬底安置在所述基层
4、根据示例性实施例，加热丝层可以包括：上层，其包含过渡金属材料；以及下层，其包括过渡金属材料和金属结合物，并且上层可以不提供有金属结合物。
5、根据示例性实施例，添加剂材料的熔点可以低于过渡金属材料的熔点。
6、根据示例性实施例，加热丝层可以包括贵金属、铂族金属或贵金属和铂族金属的合金。
7、根据示例性实施例，加热丝层还可以包括陶瓷材料和散热材料。
8、根据示例性实施例，散热材料可以是氧化铝。
9、根据示例性实施例，保护层包括二氧化硅作为陶瓷材料，并且包括pbo、v2o2和teo2中的任何一种作为添加剂材料。
10、根据示例性实施例，保护层还可以包括散热材料。
11、根据示例性实施例，散热材料可以是氧化铝。
12、根据示例性实施例，加热丝层可以被供电以被加热，并且加热丝层中产生的热量可以通过基层传导至衬底。
13、本专利技术的另一个示例性实施例提供了一种制造热处理衬底的加热板的方法，该方法包括：基底制备操作，其制备基层；加热丝层形成操作，其在基层上形成包括过渡金属材料的加热丝层；保护层形成操作，其形成包括陶瓷材料和添加剂材料的保护层以覆盖加热丝层；以及电阻调节操作，其调节加热丝层的电阻，其中在电阻调节操作中，加热丝层被加热到使得添加剂材料在保护层中熔化的温度或更高温度，所熔化的添加剂材料与加热丝层中的过渡金属材料结合以形成金属结合物，从而调节加热丝层的电阻。
14、根据示例性实施例，在电阻调节操作中，可以发射激光以穿透保护层的陶瓷材料来加热所述加热丝层。
15、根据示例性实施例，金属结合物可以形成在加热丝层和保护层相邻的界面处。
16、根据示例性实施例，添加剂材料的熔点可以低于过渡金属材料的熔点。
17、根据示例性实施例，加热丝层可以包括贵金属、铂族金属或贵金属和铂族金属的合金。
18、根据示例性实施例，加热丝层还可以包括陶瓷材料和散热材料。
19、根据示例性实施例，保护层包括二氧化硅作为陶瓷材料，并且包括pbo、v2o2和teo2中的任何一种作为添加剂材料。
20、根据示例性实施例，加热丝层形成操作可以包括：加热丝层打印操作，其基于基层打印加热丝层；以及热处理操作，其热处理所打印的加热丝层。
21、根据示例性实施例，方法还可以包括在基层和加热丝层之间形成绝缘层的绝缘层形成操作，其中绝缘层形成操作在基底制备操作和加热丝层形成操作之间进行，并且在基层包括导电材料的情况下进行。
22、本专利技术的又一个示例性实施例提供了一种制造用于热处理衬底的加热板的方法，所述方法包括：基底制备操作，其制备基层；绝缘层形成操作，其在基层上形成绝缘层；加热丝层形成操作，其在绝缘层上形成包括过渡金属材料、陶瓷材料和散热材料的加热丝层，其中加热丝层打印在绝缘层上，所打印的加热丝层被热处理，并且加热丝层包括贵金属、铂族金属或贵金属和铂族金属的合金；保护层形成操作，其形成包括陶瓷材料和添加剂材料的保护层以覆盖加热丝层，其中添加剂材料的熔点低于过渡金属材料的熔点，保护层使用二氧化硅作为陶瓷材料，并使用pbo、v2o2和teo2中的任何一种作为添加剂材料；以及电阻调节操作，其调节加热丝层的电阻，其中在电阻调节操作中，激光穿透保护层的陶瓷材料以将加热丝层加热到使得添加剂材料在保护层中熔化的温度或更高温度，并且所熔化的添加剂材料与加热丝层的过渡金属材料结合以在加热丝层和保护层相邻的界面上形成金属结合物，从而调节加热丝层的电阻。
23、本专利技术具有便于调节用于热处理衬底的加热丝的电阻的效果。
24、本专利技术的效果不限于上述效果，并且本领域技术人员从本说明书和附图中可以清楚地理解未提及的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于支撑和加热衬底的加热板，所述加热板包括：
2.根据权利要求1所述的加热板，其中所述加热丝层包括：
3.根据权利要求1所述的加热板，其中所述添加剂材料的熔点低于所述过渡金属材料的熔点。
4.根据权利要求1所述的加热板，其中所述加热丝层包括贵金属、铂族金属或所述贵金属和所述铂族金属的合金。
5.根据权利要求1所述的加热板，其中所述加热丝层还包括陶瓷材料和散热材料。
6.根据权利要求5所述的加热板，其中所述散热材料是氧化铝。
7.根据权利要求1所述的加热板，其中所述保护层包括二氧化硅作为所述陶瓷材料，并且包括PbO、V2O2和TeO2中的任何一种作为所述添加剂材料。
8.根据权利要求1所述的加热板，其中所述保护层还包括散热材料。
9.根据权利要求8所述的加热板，其中所述散热材料是氧化铝。
10.根据权利要求1所述的加热板，其中所述加热丝层被供电以被加热，并且
11.一种制造热处理衬底的加热板的方法，所述方法包括：
12.根据权利要求11所述的方
13.根据权利要求11所述的方法，其中所述金属结合物形成在所述加热丝层和所述保护层相邻的界面处。
14.根据权利要求11所述的方法，其中所述添加剂材料的熔点低于所述过渡金属材料的熔点。
15.根据权利要求11所述的方法，其中所述加热丝层包括贵金属、铂族金属或所述贵金属和所述铂族金属的合金。
16.根据权利要求11所述的方法，其中所述加热丝层还包括陶瓷材料和散热材料。
17.根据权利要求11所述的方法，其中所述保护层包括二氧化硅作为所述陶瓷材料，并且包括PbO、V2O2和TeO2中的任何一种作为所述添加剂材料。
18.根据权利要求11所述的方法，其中所述加热丝层形成操作包括：
19.根据权利要求11所述的方法，所述方法还包括：
20.一种制造热处理衬底的加热板的方法，所述方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于支撑和加热衬底的加热板，所述加热板包括：
2.根据权利要求1所述的加热板，其中所述加热丝层包括：
3.根据权利要求1所述的加热板，其中所述添加剂材料的熔点低于所述过渡金属材料的熔点。
4.根据权利要求1所述的加热板，其中所述加热丝层包括贵金属、铂族金属或所述贵金属和所述铂族金属的合金。
5.根据权利要求1所述的加热板，其中所述加热丝层还包括陶瓷材料和散热材料。
6.根据权利要求5所述的加热板，其中所述散热材料是氧化铝。
7.根据权利要求1所述的加热板，其中所述保护层包括二氧化硅作为所述陶瓷材料，并且包括pbo、v2o2和teo2中的任何一种作为所述添加剂材料。
8.根据权利要求1所述的加热板，其中所述保护层还包括散热材料。
9.根据权利要求8所述的加热板，其中所述散热材料是氧化铝。
10.根据权利要求1所述的加热板，其中所述加热丝层被供电以被加热，并且
11.一种制造热处理衬底的加热板的方法，...
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