【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体检测，尤其涉及一种激光尺测试装置。
技术介绍
1、随着半导体技术的迅速发展，晶圆的检测精度要求也随之提升。在对晶圆进行检测时，通常会采用激光尺这种高精度的测距设备进行检测，以保证对于晶圆的检测精度。
2、根据不同的检测环境，需要采用不同种类的激光尺进行对应的检测，并且激光尺在检测前需要采用专用测试装置进行测试，以完成激光尺的精度测试，判断激光尺是否符合检测要求。然而，不同型号的激光尺之间结构差异较大，需要根据不同的环境来匹配符合晶圆检测要求的激光尺，但目前的激光尺测试装置只能够检测单一型号或种类的激光尺，或者在测试不同型号的激光尺时，需要对测试装置的结构进行调整，并反复拆卸和安装不同型号的激光尺进行检测，测试效率较低。
技术实现思路
1、本申请提供一种激光尺测试装置，能够对不同型号的激光尺进行同步测试，提升了激光尺的测试效率。
2、本申请提供了一种激光尺测试装置，其中，包括：测试机构载台，用于安装多个反射镜，反射镜用于反射激光尺的激光至激光尺的接收部；多个安装座，多个安装座间隔设于测试机构载台的外周侧，各安装座均具有与自身对应设置的反射镜，各安装座均包括具有用于安装视窗的视窗固定部和用于安装激光尺的激光尺固定部，视窗用于加强激光尺发射的激光强度，视窗固定部处于自身对应的反射镜和激光尺固定部的连线上的位置；其中，第一部分安装座的视窗固定部与激光尺固定部分体设置，用于测定第一类规格的激光尺；第二部分安装座的视窗固定部与激光尺固定部集成设置，用于测
3、如上的激光尺测试装置，其中，第一部分安装座包括激光尺固定支架和视窗固定支架，视窗固定支架设于激光尺固定支架与对应的反射镜之间，激光尺固定部设于激光尺固定支架的顶部，视窗固定部则设于视窗固定支架，激光尺固定支架顶部的高度低于视窗固定部在视窗固定支架的设置高度。
4、如上的激光尺测试装置，其中，第二部分安装座包括集成固定支架，视窗固定部与激光尺固定部分别设于集成固定支架的不同侧壁，且视窗固定部设于集成固定支架的靠近其对应反射镜的侧壁，以使视窗设于反射镜与激光尺之间。
5、如上的激光尺测试装置，其中，多个安装座分布于测试机构载台在第一方向上的两侧，各侧的多个安装座沿第二方向相间隔排布；测试机构载台上设有两个沿第一方向相间隔的反射镜，两个反射镜均沿第二方向延伸，且各反射镜的延伸长度大于或等于其对应一侧的多个安装座的排布长度。
6、如上的激光尺测试装置，其中，测试机构载台还设有用于接收标准激光尺的激光的接收器，接收器安装于测试机构载台，且接收器的接收端的高度高于反射镜的高度。
7、如上的激光尺测试装置，其中，视窗固定部为贯穿于安装座的孔状结构，孔状结构沿其对应的激光尺固定部至其对应反射镜的方向延伸，视窗固定于孔状结构内。
8、如上的激光尺测试装置，其中，第二部分安装座还具有参考镜组件，参考镜组件包括参考镜和参考镜安装板，参考镜通过参考镜安装板连接于安装座的靠近反射镜的侧面，参考镜组件覆盖于视窗固定部的部分开口。
9、如上的激光尺测试装置，其中，视窗包括视窗本体、视窗安装部和密封圈，视窗本体通过两个环形结构的密封圈密封安装于视窗安装部内，两个密封圈分别连接于视窗本体的两侧，视窗安装部安装于视窗固定部。
10、如上的激光尺测试装置，其中，激光尺测试装置还包括安装基板和多个连接板，多个连接板可拆卸式连接于安装基板的边缘，测试机构载台可拆卸式地安装于安装基板，安装座可拆卸式地安装于连接板。
11、如上的激光尺测试装置，其中，激光尺测试装置还包括调节垫片，调节垫片可拆卸式地安装于连接板与安装座之间，用于调节安装座的高度，以使安装座的高度适配于其对应的激光尺。
12、本申请的激光尺测试装置包括测试机构载台和安装座，多个安装座间隔设于测试机构载台的外周侧，且各安装座均具有用于安装视窗的视窗固定部和用于安装激光尺的激光尺固定部，测试机构载台上安装有多个反射镜，各安装座均具有与自身相对应的反射镜，且各安装座的视窗固定部处于自身对应的反射镜和激光尺固定部的连线上的位置，在对激光尺进行测试时，可将多个激光尺分别安装于多个安装座的激光尺固定部，激光尺所发射的激光能够依次通过处于同一直线上的视窗和反射镜，并由反射镜反射回激光尺自身的接收部，从而获取各激光尺的测量数值，并能够通过此测量数值进行测量精度分析。
13、在多个安装座中，第一部分安装座的视窗固定部与激光尺固定部分体设置，用于测定第一类规格的激光尺，第二部分安装座的视窗固定部与激光尺固定部集成设置，用于测定第二类规格的激光尺，两类规格的激光尺的尺寸和安装方式均不同，通过此激光尺测试装置的不同安装座，能够对不同型号规格的激光尺进行同时安装和测试，并进行精度对比以选择测量精度更高的激光尺，避免了单独测试的反复的拆卸和安装，从而提升了激光尺的测试效率。
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1.一种激光尺测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，第一部分所述安装座(12)包括激光尺固定支架(131)和视窗固定支架(132)，所述视窗固定支架(132)设于所述激光尺固定支架(131)与对应的所述反射镜(22)之间，所述激光尺固定部设于所述激光尺固定支架(131)的顶部，所述视窗固定部(121)则设于所述视窗固定支架(132)，所述激光尺固定支架(131)顶部的高度低于所述视窗固定部(121)在所述视窗固定支架(132)的设置高度。
3.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，第二部分所述安装座(12)包括集成固定支架(14)，所述视窗固定部(121)与所述激光尺固定部分别设于所述集成固定支架(14)的不同侧壁，且所述视窗固定部(121)设于所述集成固定支架(14)的靠近其对应所述反射镜(22)的侧壁，以使所述视窗(21)设于所述反射镜(22)与所述激光尺(100)之间。
4.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，多个所述安装座(12)分布于所述测试机构载台(11)在第一方向(
5.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，所述测试机构载台(11)还设有用于接收标准激光尺(110)的激光的接收器(23)，所述接收器(23)安装于所述测试机构载台(11)，且所述接收器(23)的接收端(231)的高度高于所述反射镜(22)的高度。
6.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，所述视窗固定部(121)为贯穿于所述安装座(12)的孔状结构，所述孔状结构沿其对应的所述激光尺固定部至其对应所述反射镜(22)的方向延伸，所述视窗(21)固定于所述孔状结构内。
7.根据权利要求6所述的激光尺测试装置，其特征在于，第二部分所述安装座(12)还具有参考镜组件(24)，所述参考镜组件(24)包括参考镜(241)和参考镜安装板(242)，所述参考镜(241)通过所述参考镜安装板(242)连接于所述安装座(12)的靠近所述反射镜(22)的侧面，所述参考镜组件(24)覆盖于所述视窗固定部(121)的部分开口。
8.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，所述视窗(21)包括视窗本体(211)、视窗安装部(212)和密封圈(213)，所述视窗本体(211)通过两个环形结构的所述密封圈(213)密封安装于所述视窗安装部(212)内，两个所述密封圈(213)分别连接于所述视窗本体(211)的两侧，所述视窗安装部(212)安装于所述视窗固定部(121)。
9.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，所述激光尺测试装置还包括安装基板(15)和多个连接板(16)，多个所述连接板(16)可拆卸式连接于所述安装基板(15)的边缘，所述测试机构载台(11)可拆卸式地安装于所述安装基板(15)，所述安装座(12)可拆卸式地安装于所述连接板(16)。
10.根据权利要求9所述的激光尺测试装置，其特征在于，所述激光尺测试装置还包括调节垫片(17)，所述调节垫片(17)可拆卸式地安装于所述连接板(16)与所述安装座(12)之间，用于调节所述安装座(12)的高度，以使所述安装座(12)的高度适配于其对应的所述激光尺(100)。
...【技术特征摘要】
1.一种激光尺测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，第一部分所述安装座(12)包括激光尺固定支架(131)和视窗固定支架(132)，所述视窗固定支架(132)设于所述激光尺固定支架(131)与对应的所述反射镜(22)之间，所述激光尺固定部设于所述激光尺固定支架(131)的顶部，所述视窗固定部(121)则设于所述视窗固定支架(132)，所述激光尺固定支架(131)顶部的高度低于所述视窗固定部(121)在所述视窗固定支架(132)的设置高度。
3.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，第二部分所述安装座(12)包括集成固定支架(14)，所述视窗固定部(121)与所述激光尺固定部分别设于所述集成固定支架(14)的不同侧壁，且所述视窗固定部(121)设于所述集成固定支架(14)的靠近其对应所述反射镜(22)的侧壁，以使所述视窗(21)设于所述反射镜(22)与所述激光尺(100)之间。
4.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，多个所述安装座(12)分布于所述测试机构载台(11)在第一方向(x)上的两侧，各侧的多个所述安装座(12)沿第二方向(y)相间隔排布；所述测试机构载台(11)上设有两个沿所述第一方向(x)相间隔的所述反射镜(22)，两个所述反射镜(22)均沿所述第二方向(y)延伸，且各所述反射镜(22)的延伸长度大于或等于其对应一侧的多个所述安装座(12)的排布长度。
5.根据权利要求1所述的激光尺测试装置，其特征在于，所述测试机构载台(11)还设有用于接收标准激光尺(110)的激光的接收器(23)，所述接收器(23)安装于所述测试机构载台(11)，且所述接收器(23)的接收端(231)的高度高于所述反射镜(22)的高度。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：张禧晨，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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