【技术实现步骤摘要】
本申请涉及视觉检测，具体涉及一种镜片安装精度测量系统及镜片安装精度测量方法。
技术介绍
1、目前，在工业视觉检测中，许多地方会用到45°反射镜或者45°分光镜，例如：远心镜头内部利用45°分光镜实现同轴光光照明，显微镜筒内部也常使用45°分光镜实现同轴照明，需要同轴光路的激光自动对焦也会用到45°激光分光镜。在一些高精度成像光路中，在涉及到光路转折时，也会使用到45°反射镜而不使用直角棱镜，因为直角棱镜会改变光程，进而会影响成像质量。
2、在上述场景中，尤其是高精度的同轴自动对焦领域和高精度光路转折成像领域，如何保证45度镜片的精确测量与安装，是一项很重要的事情。
3、相关技术中，通常采用直接在管镜外壳的入射口接光源，然后在成像端观察图像亮度均匀性来判断安装镜片的位置及角度是否准确。但是这种测量方式测量效率和测量精度不高。
4、因此，有必要设计一种新的镜片安装精度测量系统及镜片安装精度测量方法，以克服上述问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种镜片安装精度测量系统及镜片安装精度测量方法，可以解决相关技术中通过观察图像亮度均匀性来判断镜片的位置和角度的方式测量效率和测量精度不高的技术问题。
2、第一方面，本申请实施例提供一种镜片安装精度测量系统，其包括：镜筒，所述镜筒内倾斜安装有待测镜片，所述镜筒的一侧具有第一接口，相邻的另一侧具有第二接口；第一导光筒，其与所述第一接口物理连接，所述第一导光筒内间隔设有相同的第一通光组件和第二通光组件，
3、结合第一方面，在一种实施方式中，所述第一通光组件和所述第二通光组件均为十字叉丝，两个所述十字叉丝的叉丝交点位于所述第一导光筒的轴线上，所述特征结构为十字叉丝中心的交点。
4、结合第一方面，在一种实施方式中，所述十字叉丝的叉丝交点设有中心通孔。
5、结合第一方面，在一种实施方式中，所述第一通光组件和所述第二通光组件均为具有中心通孔的组件，所述第一通光组件和所述第二通光组件的中心通孔位于所述第一导光筒的轴线上，所述特征结构为中心通孔。
6、结合第一方面，在一种实施方式中，所述观察板为晶圆或平板玻璃。
7、第二方面，本申请实施例提供了一种镜片安装精度测量方法，其包括以下步骤：
8、打开光源，使得所述光源发出的光经过第一导光筒平行入射至镜筒中的待测镜片，经过所述待测镜片反射后经物镜照射在待测物上；
9、其中，所述镜筒内倾斜安装有待测镜片，所述镜筒的一侧具有第一接口，相邻的另一侧具有第二接口,所述第一导光筒与所述第一接口物理连接，所述第一导光筒内间隔设有相同的第一通光组件和第二通光组件，所述第一、第二通光组件的中心均具有相同的特征结构，所述物镜与所述第二接口物理连接；
10、相机对所述待测物进行成像，获取成像画面，根据所述第一通光组件和所述第二通光组件的特征结构在所述成像画面上形成的特征点与成像画面中心点的偏差确定所述待测镜片的安装精度。
11、结合第二方面，在一种实施方式中，所述第一通光组件和所述第二通光组件均为具有中心通孔的组件，所述第一通光组件和所述第二通光组件的中心通孔位于所述第一导光筒的轴线上，所述特征结构为圆形的中心通孔。
12、结合第二方面，在一种实施方式中，若所述成像画面中特征点偏离至所述成像画面中心点的一侧，且特征点为圆形，则所述待测镜片的倾斜角度为45°，但所述待测镜片的安装位置有偏差，平移所述待测镜片，使得所述特征点与所述成像画面中心点重合；若所述特征点偏离至所述成像画面中心点的一侧，且特征点为椭圆形，则所述待测镜片的倾斜角度不为45°且所述待测镜片的安装位置有偏差，调整所述待测镜片的倾斜角度，使得所述特征点与所述成像画面中心点重合。
13、结合第二方面，在一种实施方式中，在安装所述物镜之前，还包括：
14、打开光源，使得所述光源发出的光经过第一导光筒入射至所述镜筒中的待测镜片，经过所述待测镜片反射后的光投影在待测物上；
15、基于待测物上所述第一通光组件和所述第二通光组件的特征结构在投影图案上分别形成的特征点的位置，判断所述光源的光轴是否与所述第一导光筒的轴线平行；
16、若不平行，则调整所述光源的位置或倾角，直至所述光源的光轴与所述第一导光筒的轴线平行。
17、结合第二方面，在一种实施方式中，若所述第一通光组件和所述第二通光组件的特征结构在所述成像画面上形成的特征点偏离所述成像画面中心点，则调整所待测镜片的位置，直至所述特征点与所述成像画面中心点重合，所述位置包括所述待测镜片的安装位置以及倾斜角度。
18、本申请实施例提供的技术方案带来的有益效果包括：
19、通过在光源的光路上设置安装有待测镜片的镜筒、安装有第一通光组件和第二通光组件的第一导光筒以及物镜，光源发出的光可以经过第一导光筒平行入射至待测镜片，经待测镜片反射后通过物镜出射至观察板，通过相机对观察板成像后，基于第一通光组件和第二通光组件的特征结构在成像画面上形成的特征点与成像画面中心点的偏差即可确定待测镜片的安装精度，采用这种方式巧妙地解决了相关技术中镜片安装精度的测量效率和测量精度不高的技术问题。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种镜片安装精度测量系统，其特征在于，其包括：
2.如权利要求1所述的镜片安装精度测量系统，其特征在于，
3.如权利要求2所述的镜片安装精度测量系统，其特征在于，所述十字叉丝的叉丝交点设有中心通孔。
4.如权利要求1所述的镜片安装精度测量系统，其特征在于，
5.如权利要求1所述的镜片安装精度测量系统，其特征在于，所述观察板(82)为晶圆或平板玻璃。
6.一种镜片安装精度测量方法，其特征在于，其包括以下步骤：
7.如权利要求6所述的镜片安装精度测量方法，其特征在于，所述第一通光组件(5)和所述第二通光组件(6)均为具有中心通孔的组件，所述第一通光组件(5)和所述第二通光组件(6)的中心通孔位于所述第一导光筒(4)的轴线上，所述特征结构(7)为圆形的中心通孔。
8.如权利要求7所述的镜片安装精度测量方法，其特征在于，
9.如权利要求6所述的镜片安装精度测量方法，其特征在于，在安装所述物镜(84)之前，还包括：
10.如权利要求6所述的镜片安装精度测量方法，其特征在于，若所述
...【技术特征摘要】
1.一种镜片安装精度测量系统，其特征在于，其包括：
2.如权利要求1所述的镜片安装精度测量系统，其特征在于，
3.如权利要求2所述的镜片安装精度测量系统，其特征在于，所述十字叉丝的叉丝交点设有中心通孔。
4.如权利要求1所述的镜片安装精度测量系统，其特征在于，
5.如权利要求1所述的镜片安装精度测量系统，其特征在于，所述观察板(82)为晶圆或平板玻璃。
6.一种镜片安装精度测量方法，其特征在于，其包括以下步骤：
7.如权利要求6所述的镜片安装精度测量方法，其特征在于，所述第一通光组件(5)和所述第二通光组件(6)均为具有中心通孔的组件，...
【专利技术属性】
技术研发人员：时强，欧昌东，彭骞，
申请(专利权)人：武汉精立电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。