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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶硅制备,尤其是涉及一种单晶硅的制备方法、晶棒和单晶生成系统。
技术介绍
1、在光伏行业中,需要利用直拉法拉制不同电阻率的p型或n型单晶硅棒,为了得到目标电阻率,需要在多晶硅料中加入不同的掺杂剂。目前单晶制备工艺中,可以采用固相掺杂的方式进行掺杂,将未经气化的固体掺杂剂(或含固体掺杂剂的掺杂料,以下均称为固态掺杂剂)与待投入的硅料进行混料,使固态掺杂剂与硅料一并融化反应,实现固相掺杂。在实际生产中,生产人员需要计算并称量出所需掺杂剂,会发生忘记加入掺杂剂、多加少加掺杂剂的情况发生,导致晶棒电阻率异常情况发生。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本专利技术在于提出一种单晶硅的制备方法,所述制备方法可以减少现场生产人员的操作步骤,降低犯错概率,从而可以提升晶棒的生产合格率。
2、根据本专利技术第一方面实施例的单晶硅的制备方法,所述制备方法包括:s1,对硅原料加掺掺杂剂,其中,所述掺杂剂为氮、砷、锑中的至少一种;s2,将所述硅原料提纯制备为多晶硅锭;s5,将所述多晶硅锭放入坩埚中熔化,采用直拉法生长成型单晶硅。
3、根据本专利技术实施例的单晶硅的制备方法,通过对提纯前的硅原料加掺掺杂剂,可以使得现场生产人员无需在硅料中添加掺杂剂,进而可以减少现场生产人员的操作步骤,降低犯错概率,从而可以提升晶棒的生产合格率。
4、根据本专利技术的一些实施例,所述掺杂剂为锑。
5、根据本专利技术的一些
6、根据本专利技术的一些实施例,所述硅原料中掺杂剂锑的质量浓度为35ppbw-70ppmw。
7、根据本专利技术的一些实施例,所述制备方法还包括:步骤s3,检测所述多晶硅锭的电阻率,确认所述电阻率满足预设电阻区间。
8、根据本专利技术的一些实施例,所述制备方法还包括:步骤s3,步骤s3包括:s31,检测所述多晶硅锭的电阻率;s32,确认所述电阻率小于预设电阻区间,计算所述电阻率与所述预设电阻区间的差值;所述步骤s5包括:s51,根据所述差值计算单晶炉中所需额外添加的所述掺杂剂的投放量;s52,将所述多晶硅锭和需添加的所述掺杂剂投入单晶炉中;s53,采用直拉法生长成型单晶硅。
9、根据本专利技术的一些实施例,所述制备方法还包括:步骤s4,对所述多晶硅锭进行破碎处理。
10、根据本专利技术的一些实施例,所述掺杂剂还为硼、镓或磷中的至少一种。
11、根据本专利技术第二方面的晶棒,所述晶棒根据本专利技术第一方面的单晶硅的制备方法制备而成。
12、根据本专利技术的晶棒,通过上述第一方面的单晶硅的制备方法制备而成,从而可以提高晶棒的生产精度。
13、根据本专利技术第三方面的单晶生成系统,根据本专利技术第一方面的单晶硅的制备方法适用于所述单晶生成系统。
14、根据本专利技术的单晶生成系统,包含上述第一方面的单晶硅的制备方法,从而可以提高单晶生成系统的生产质量。
15、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种单晶硅的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
2.根据权利要求1所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述掺杂剂为锑。
3.根据权利要求2所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述硅原料中掺杂剂锑的质量浓度小于70ppmw。
4.根据权利要求3所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述硅原料中掺杂剂锑的质量浓度为35ppbw-70ppmw。
5.根据权利要求1所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:步骤S3,检测所述多晶硅锭的电阻率,确认所述电阻率满足预设电阻区间。
6.根据权利要求1所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:步骤S3,步骤S3包括:
7.根据权利要求1所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:步骤S4,对所述多晶硅锭进行破碎处理。
8.根据权利要求1所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述掺杂剂还为硼、镓或磷中的至少一种。
9.一种晶棒,其特征在于,所述晶棒根据权利要求1-8中任一项中所述的单晶硅的制备方法制备而成。<
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
2.根据权利要求1所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述掺杂剂为锑。
3.根据权利要求2所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述硅原料中掺杂剂锑的质量浓度小于70ppmw。
4.根据权利要求3所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述硅原料中掺杂剂锑的质量浓度为35ppbw-70ppmw。
5.根据权利要求1所述的单晶硅的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:步骤s3,检测所述多晶硅锭的电阻率,确认所述电阻率满足预设电阻区间。
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【专利技术属性】
技术研发人员:周声浪,
申请(专利权)人:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,
类型:发明
国别省市:
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