【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏及半导体加工的，特别涉及一种排气机构及加工设备。
技术介绍
1、在光伏及半导体产品生产的过程中，部分片状材料需要在反应炉中进行高温处理。在对片状材料进行低压硼扩散处理时，反应炉中会产生成分中包括氧化硼的废气，废气可以通过与反应炉连接的尾排管排放出反应炉。但废气在排放过程中会因离开反应炉的高温环境而冷却，使部分氧化硼凝结在尾排管内壁上。当氧化硼受热后膨胀系数尾大于排管材质受热后膨胀系数时，在反应炉中进行多次高温处理使尾排管经历多次升温后，氧化硼的膨胀会牵引尾排管破裂，即导致了尾排管使用寿命不佳的缺陷。
技术实现思路
1、鉴于以上内容，有必要提供一种排气机构及加工设备，以解决上述缺陷。
2、第一方面，本申请的实施例提供一种排气机构，应用于反应炉，反应炉包括尾排套管，排气机构包括：排气管，排气管包括外管和内管，内管设置于外管内侧，外管及内管用于通过尾排套管进入反应炉，内管用于与反应炉连通；多个密封件，部分密封件套设于外管，剩余密封件套设于尾排套管；连接组件，连接组件套设于外管上，且用于套设于尾排套管，连接组件与多个密封件抵接，以使每一密封件贴合于外管或尾排套管。
3、可选地，连接组件包括：连接环，连接环套设于排气管，且用于套设于尾排套管；第一端盖，第一端盖套设于排气管，并可分离地连接于连接环；第二端盖，第二端盖用于套设于尾排套管，第二端盖可分离地连接于连接环。
4、可选地，第一端盖内侧开设第一收容槽，第一收容槽用于收容连接环的部分结构，使
5、可选地，第二端盖内侧开设第二收容槽，第二收容槽用于收容连接环的部分结构，使第二端盖套设于连接环；部分密封件位于第二收容槽内；连接组件还包括第二压环，第二压环位于第二收容槽内，并用于套设于尾排套管，第二压环用于与第二收容槽内壁抵接，第二压环用于与连接环配合夹持对应的密封件。
6、可选地，连接环的两端开设有缺口，缺口用于收容对应的密封件，每一个缺口的内壁与对应的密封件抵接，并用于与外管或尾排套管配合夹持密封件。
7、可选地，每一个缺口的内壁上开设抵接面，抵接面为斜面或弧面，每一个抵接面与对应的密封件抵接，以将密封件按压于外管或尾排套管上。
8、可选地，外管包括：第一管体，第一管体用于通过尾排套管进入反应炉；第一密封套，第一密封套凸设于第一管体的外侧并环绕第一管体，至少一个密封件套设于第一密封套，并与连接环抵接，连接环与第一密封套夹持对应的密封件。
9、可选地，连接环包括：连接部，连接部与第一端盖及第二端盖可分离地连接；抵接部，抵接部凸设于连接部内侧，抵接部的一端用于与第一密封套抵接，另一端用于与第二密封套抵接，其中，尾排套管包括第二管体和第二密封套，第二密封套凸设于第二管体外侧。
10、第二方面，本申请的实施例提供一种加工设备，包括：反应炉，反应炉包括炉体和尾排套管，尾排套管与炉体连接并连通；如上述任一项的排气机构，排气机构与尾排套管连接，并通过尾排套管连通于反应炉。
11、可选地，尾排套管包括：第二管体，排气机构的排气管的部分结构伸入第二管体；第二密封套，第二密封套凸设于第二管体外侧，排气机构的连接组件套设于第二管体外侧。
12、通过本申请提供的排气机构及加工设备，当反应炉内升温并排放废气时，废气中的部分成分(例如氧化硼)会附着在内管的内壁上。在反应炉内多次降温及升温之后，附着在内管内壁上的废气成分(例如氧化硼)的膨胀会导致内管破裂，而外管可以阻隔内管破裂产生的碎片及流动的废气从排气管的外侧壁泄漏，且外管上与内管破裂位置对应位置的内壁可以配合形成废气排放通道的内壁，使排气管可以继续实现废气的传输。如此，可以提高排气机构的使用寿命，减少排气机构由于管道破裂而更换的频率。
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1.一种排气机构，其特征在于，应用于反应炉，所述反应炉包括尾排套管，所述排气机构包括：
2.如权利要求1所述的排气机构，其特征在于，所述连接组件包括：
3.如权利要求2所述的排气机构，其特征在于，所述第一端盖内侧开设第一收容槽，所述第一收容槽用于收容所述连接环的部分结构，使所述第一端盖套设于所述连接环；部分所述密封件位于所述第一收容槽内；
4.如权利要求2所述的排气机构，其特征在于，所述第二端盖内侧开设第二收容槽，所述第二收容槽用于收容所述连接环的部分结构，使所述第二端盖套设于所述连接环；部分所述密封件位于所述第二收容槽内；
5.如权利要求2所述的排气机构，其特征在于，所述连接环的两端开设有缺口，所述缺口用于收容对应的所述密封件，每一个所述缺口的内壁与对应的所述密封件抵接并用于与所述外管或所述尾排套管配合挤压所述密封件。
6.如权利要求5所述的排气机构，其特征在于，每一个所述缺口的内壁上开设抵接面，所述抵接面为斜面或弧面，每一个所述抵接面与对应的所述密封件抵接，以将所述密封件按压于所述外管或所述尾排套管上。
8.如权利要求7所述的排气机构，其特征在于，所述连接环包括：
9.一种加工设备，其特征在于，包括：
10.如权利要求9所述的加工设备，其特征在于，所述尾排套管包括：
...【技术特征摘要】
1.一种排气机构，其特征在于，应用于反应炉，所述反应炉包括尾排套管，所述排气机构包括：
2.如权利要求1所述的排气机构，其特征在于，所述连接组件包括：
3.如权利要求2所述的排气机构，其特征在于，所述第一端盖内侧开设第一收容槽，所述第一收容槽用于收容所述连接环的部分结构，使所述第一端盖套设于所述连接环；部分所述密封件位于所述第一收容槽内；
4.如权利要求2所述的排气机构，其特征在于，所述第二端盖内侧开设第二收容槽，所述第二收容槽用于收容所述连接环的部分结构，使所述第二端盖套设于所述连接环；部分所述密封件位于所述第二收容槽内；
5.如权利要求2所述的排气机构，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐楷源，伍明辉，刘再福，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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