【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石英音叉谐振器的制造方法，属于谐振器制造。
技术介绍
1、石英晶体因为具有高压电转化效率、高绝缘性、低膨胀系数等优良的物化特性而被广泛应用于压电谐振器件，如afm探针、谐振器、加速度计、陀螺仪等。现有的传统石英加工技术采用的是双面多步套刻工艺，由于石英音叉谐振器表面具有立体分层结构，所以需要经过双面清洗、镀膜、旋/喷胶、光刻、显影、图形化、石英刻蚀等繁琐的工艺步骤，将音叉外形和表面分层结构分别加工制造，生产工序复杂，生产效率低下。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种石英音叉谐振器的制造方法，解决了
技术介绍
中披露的问题。
2、根据本公开的一个方面，提供一种石英音叉谐振器的制造方法，包括：
3、对石英晶体片依次进行清洗、烘干/吹干、镀金属膜，获得一次处理的石英晶体片；
4、对一次处理的石英晶体片的两个面均依次进行旋涂光刻胶、一步光刻、显影和后烘，获得二次处理的石英晶体片；其中，一步光刻为基于尺寸效应一步刻蚀出一面的石英音叉谐振器外形和电阻槽；
5、剥离二次处理的石英晶体片上的光刻胶，并去除非石英音叉谐振器区的金属膜，获得三次处理的石英晶体片；
6、对三次处理的石英晶体片进行化学腐蚀，获得石英音叉谐振器。
7、在本公开的一些实施例中，对石英晶体片进行清洗的过程包括：
8、将石英晶体片浸没在盛有混合处理液的容器中，将容易放入超声波槽内超声，将超声处理后的石英晶体片依次采用纯水和异丙醇冲
9、在本公开的一些实施例中，对烘干/吹干后的石英晶体片镀金属膜的过程包括：
10、将烘干/吹干后的石英晶体片固定在掩膜夹具上，采用真空热蒸发方法或磁控溅射方法对石英晶体片镀金属膜。
11、在本公开的一些实施例中，在石英晶体片的一个面一步光刻完成后进行另一面一步光刻时，先采用预设的标记进行对准，然后进行刻蚀。
12、在本公开的一些实施例中，一步光刻的过程包括：
13、确定石英音叉谐振器外形和电阻槽各处所需的刻蚀深度；
14、基于尺寸效应，确定刻蚀深度对应的刻蚀线宽，根据石英音叉谐振器外形和电阻槽各处对应的刻蚀线宽，一步刻蚀出石英音叉谐振器外形和电阻槽。
15、在本公开的一些实施例中，剥离二次处理的石英晶体片上的光刻胶的过程包括：将二次处理的石英晶体片依次浸泡在丙酮和异丙醇。
16、在本公开的一些实施例中，去除非石英音叉谐振器区的金属膜的过程包括：根据金属膜从外向内的材质，依次浸泡在对应材质的蚀液中。
17、在本公开的一些实施例中，对三次处理的石英晶体片进行化学腐蚀的过程包括：
18、将三次处理的石英晶体片放入装有腐蚀液的腐蚀槽中，并在腐蚀时对腐蚀液进行搅拌。
19、本专利技术所达到的有益效果：本专利技术基于尺寸效应可一步刻蚀出一面的石英音叉谐振器外形和电阻槽，简化了具有分层结构的石英谐振类器件的加工步骤，将生产效率提升45%，同时避免因加工流程过长导致的生产良率低、器件尺寸一致性差等问题，并且生产完成后的音叉器件有着外形对称、振动频率稳定的优点。
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1.一种石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，对石英晶体片进行清洗的过程包括：
3.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，对烘干/吹干后的石英晶体片镀金属膜的过程包括：
4.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，在石英晶体片的一个面一步光刻完成后进行另一面一步光刻时，先采用预设的标记进行对准，然后进行刻蚀。
5.根据权利要求1获4所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，一步光刻的过程包括：
6.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，剥离二次处理的石英晶体片上的光刻胶的过程包括：将二次处理的石英晶体片依次浸泡在丙酮和异丙醇。
7.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，去除非石英音叉谐振器区的金属膜的过程包括：根据金属膜从外向内的材质，依次浸泡在对应材质的蚀液中。
8.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，对三次处理的石英晶体片进
...【技术特征摘要】
1.一种石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，对石英晶体片进行清洗的过程包括：
3.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，对烘干/吹干后的石英晶体片镀金属膜的过程包括：
4.根据权利要求1所述的石英音叉谐振器的制造方法，其特征在于，在石英晶体片的一个面一步光刻完成后进行另一面一步光刻时，先采用预设的标记进行对准，然后进行刻蚀。
5.根据权利要求1获4所述的石英音叉谐振...
【专利技术属性】
技术研发人员：窦广彬，董一德，陈凯文，尹春燕，孙立涛，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：
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