【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种三自由度取料机械手。
技术介绍
1、目前，市面上的晶圆料盒有各种规格，料盒的层间距不统一，对于层间距小的料盒，存在取料臂不易进入取料以及真空吸附的情况；另外，由于晶圆本身存在翘曲变形问题，采用高度方向占空间小的薄壁平板型陶瓷臂不利于真空吸附，若采用整套robot机械手，则价格昂贵，且空间需求大。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种三自由度取料机械手，以缓解相关技术中取料臂或机械手吸附晶圆效果不理想的技术问题。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供的技术方案在于：
3、本技术提供的三自由度取料机械手包括取料臂机构，所述取料臂机构包括陶瓷臂和o型圈；
4、所述陶瓷臂呈板状，其内部设有第一真空腔道，其前端头的顶壁上设有与所述第一真空腔道连通的吸附孔；
5、所述o型圈以围合所述吸附孔的姿态固定于所述顶壁，并凸出于所述顶壁。
6、进一步的，所述取料臂机构还包括连接臂和气动接头；
7、所述陶瓷臂的后端头与所述连接臂的一端固定连接；
8、所述连接臂亦呈板状，其内部设有与所述第一真空腔道连通的第二真空腔道；
9、所述气动接头设置于所述连接臂，并与所述第二真空腔道连通。
10、进一步的，所述连接臂包括连接本体和真空盖板；
11、所述连接本体上设有型腔槽，所述真空盖板盖合于所述型腔槽的开口，并与所述连接本体围合形成所述第二真空腔道。
...【技术保护点】
1.一种三自由度取料机械手，其特征在于，包括：取料臂机构，所述取料臂机构包括陶瓷臂和O型圈；
2.根据权利要求1所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述取料臂机构还包括连接臂和气动接头；
3.根据权利要求2所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述连接臂包括连接本体和真空盖板；
4.根据权利要求2所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述后端头与所述连接臂搭接，并螺栓连接。
5.根据权利要求4所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述后端头与所述连接臂二者正对的壁面上分设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔分别与所述第一真空腔道和所述第二真空腔道连通；
6.根据权利要求1至5任一项所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述三自由度取料机械手还包括旋转机构，所述旋转机构与所述取料臂机构的连接臂传动连接，以驱动所述取料臂机构绕所述旋转机构的旋转中心线转动。
7.根据权利要求6所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述三自由度取料机械手还包括X轴机构，所述X轴机构与所述旋转机构传动连接，以驱动所述旋转
8.根据权利要求7所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述三自由度取料机械手还包括Y轴机构，所述Y轴机构与所述X轴机构传动连接，以驱动所述X轴机构在水平面上沿Y向移动。
9.根据权利要求8所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述Y轴机构包括安装架以及设置于所述安装架的传动组件、旋转驱动器以及溜板；
10.根据权利要求9所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述Y轴机构还包括张紧组件，所述张紧组件包括张紧轴、张紧轮和张紧块；
...【技术特征摘要】
1.一种三自由度取料机械手，其特征在于，包括：取料臂机构，所述取料臂机构包括陶瓷臂和o型圈；
2.根据权利要求1所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述取料臂机构还包括连接臂和气动接头；
3.根据权利要求2所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述连接臂包括连接本体和真空盖板；
4.根据权利要求2所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述后端头与所述连接臂搭接，并螺栓连接。
5.根据权利要求4所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述后端头与所述连接臂二者正对的壁面上分设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔分别与所述第一真空腔道和所述第二真空腔道连通；
6.根据权利要求1至5任一项所述的三自由度取料机械手，其特征在于，所述三自由度取料机械手还包括旋转机构，所述旋...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷越森，马林，王正根，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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