【技术实现步骤摘要】
本技术涉及传输阀领域，尤其涉及一种基于单机械开关换向的阀门。
技术介绍
1、传输阀是真空系统应用中不可或缺的基础元件，主要应用于各种需要在保持真空的同时进行物料传输的场合，例如半导体晶圆制造过程中各个工艺腔体之间的传输。
2、当前在传统真空领域应用较广泛的传输阀阀门大都采用如下形式的设计：
3、1、直接由单作用气缸驱动阀板进行上下运动，通过传统阀芯结构进行密封；
4、2、同样采用单作用气缸驱动阀板上下运动的同时，将阀板密封圈改为异形结构进行挤压密封。
5、但是以上形式的设计存在以下问题：
6、1.开关阀时，阀芯金属面与阀体金属面直接接触，易磨损产生粉尘和污染颗粒；
7、2.异形密封圈的材料为橡胶，在多次挤压后易产生严重磨损，进而产生污染颗粒。
8、因此，为了满足半导体等行业的高洁净性和高可靠性等要求，需要一种低粒子、可靠性高的传输阀。
技术实现思路
1、本技术的目的在于，针对现有传输阀易产生污染颗粒，无法适用于半导体行业的技术问题，提出一种基于单机械开关换向的阀门。
2、一种基于单机械开关换向的阀门，包括顶盖、法兰连接壳、阀板、压阀杆、阀杆、波纹管组件、运动块、阀杆固定座、开阀缓冲座、关阀缓冲座、关阀气嘴、关阀气路、开阀气嘴、开阀气路、背板、外壳、关阀机械开关、开阀机械开关、横向气缸、横向气缸盖、横向气缸活塞、横向气缸活塞密封件、活塞杆定位销、纵向气缸活塞杆、纵向气缸上密封塞、上密封件、
3、所述顶盖和法兰连接壳固定连接，阀板和压阀杆固定连接，阀杆和压阀杆固定连接，波纹管组件的一端固定连接阀杆，波纹管组件的另一端固定连接法兰连接壳，运动块和阀杆通过阀杆固定座固定连接，法兰连接壳和外壳固定连接；
4、所述关阀气嘴设置于顶盖下方，背板和外壳固定连接，关阀机械开关设置于外壳内部；
5、所述开阀气嘴设置于顶盖下方，开阀机械开关设置于外壳内部；
6、所述横向气缸设置于外壳上，所述活塞杆定位销设置于纵向气缸活塞杆外侧，所述纵向气缸设置于横向气缸下方；
7、所述圆柱导轨与运动块连接，触发片固定在圆柱导轨上。
8、进一步的，一种基于单机械开关换向的阀门，所述关阀气路的气路连通结构为：
9、所述关阀气嘴连通第一一气路，第一一气路连通第一二气路，第一二气路连通第一三气路，第一三气路连通第一四气路；
10、所述关阀气嘴连通第二一气路，第二一气路连通第二二气路，第二二气路连通关阀机械开关的入口，第二三气路连通关阀机械开关的出口，第二八气路和关阀机械开关的出口通过第二四气路、第二五气路、第二六气路、第二七气路连通。
11、进一步的，一种基于单机械开关换向的阀门，所述开阀气路的气路连通结构为：
12、所述开阀气嘴连通第三一气路，第三一气路连通第三二气路，第三二气路和开阀机械开关的入口通过第三三气路连通；
13、第四一气路连通开阀机械开关的出口，第四一气路连通第四二气路，第四三气路连接第四四气路。
14、进一步的，一种基于单机械开关换向的阀门，所述横向气缸包括横向气缸盖、横向气缸活塞、横向气缸活塞密封件；
15、所述横向气缸活塞设置于外壳的凹槽内，横向气缸活塞密封件设置于横向气缸活塞的凹槽内，横向气缸盖设置于横向气缸活塞的外侧。
16、进一步的，一种基于单机械开关换向的阀门，所述纵向气缸包括纵向气缸活塞杆、纵向气缸上密封塞、上密封件、纵向气缸活塞、纵向气缸下密封塞、下密封件；
17、所述纵向气缸活塞杆通过活塞杆定位销和运动块固定连接，运动块和活塞杆定位销水平滑动连接，上密封件、纵向气缸活塞、下密封件均设置于外壳的凹槽内，上密封件设置于纵向气缸活塞上方，纵向气缸下密封塞设置于下密封件上方。
18、进一步的，一种基于单机械开关换向的阀门，所述关阀机械开关包括关阀机械开关上密封塞、关阀弹性件、关阀轴套、关阀密封件、关阀开关座、关阀开关活塞杆、第一关阀开关流道、第二关阀开关流道；
19、所述轴套和关阀开关座均设置于外壳的凹槽内，关阀开关活塞杆设置于关阀开关座中，关阀密封件压缩于关阀轴套上，关阀开关活塞杆和关阀机械开关上密封塞通过关阀弹性件弹性连接，第一关阀开关流道连通第二二气路，第二关阀开关流道连通第二三气路。
20、进一步的，一种基于单机械开关换向的阀门，所述开阀机械开关包括开阀机械开关上密封塞、开阀弹性件、开阀轴套、开阀密封件、开阀开关座、开阀开关活塞杆、第一开阀开关流道、第二开阀开关流道；
21、所述开阀轴套和开阀开关座均设置于外壳的凹槽内，开阀开关活塞杆设置于开阀开关座中，开阀密封件压缩于开阀轴套上，开阀开关活塞杆和开阀机械开关上密封塞通过开阀弹性件弹性连接，第一开阀开关流道连通第四一气路，第二开阀开关流道连通第三三气路。
22、本技术的有益效果：
23、1、阀门的精简性：相比于传统阀门在壳体外需要外置一个气缸，本专利技术传输阀则整体结构更为精简，各个气路都置于阀门零部件内部，且两种气缸也置于壳体内部，与壳体一起整体加工，减少了阀门的占用空间，使阀门整体更为精简；
24、2、具有低振动、低粒子功能：阀门的壳体部分与法兰连接壳之间用金属波纹管连接，且在法兰连接壳内无金属摩擦，不会产生污染粒子来影响通过的产品，阀门的执行机构的动力源由用纵、横两种气缸结合而成，阀杆固定连接于运动块，运动块在圆柱导轨上运动，再带动阀杆，最后带动阀板运动，提高了阀门整体的稳定性，将振动降到了最低。
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1.一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，包括顶盖（1）、法兰连接壳（2）、阀板（3）、压阀杆（4）、阀杆（5）、波纹管组件（6）、运动块（7）、阀杆固定座（8）、开阀缓冲座（9）、关阀缓冲座（10）、关阀气嘴（11）、关阀气路（12）、开阀气嘴（13）、开阀气路（14）、背板（15）、外壳（16）、关阀机械开关（17）、开阀机械开关（18）、横向气缸（19）、横向气缸盖（20）、横向气缸活塞（21）、横向气缸活塞密封件（22）、活塞杆定位销（23）、纵向气缸活塞杆（24）、纵向气缸上密封塞（25）、上密封件（26）、纵向气缸活塞（27）、纵向气缸下密封塞（28）、下密封件（29）、圆柱导轨（30）、纵向气缸（31）；
2.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所述关阀气路（12）的气路连通结构为：
3.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所述开阀气路（14）的气路连通结构为：
4.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所述横向气缸（19）包括横向气缸盖（20）、横向气缸活
5.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所述纵向气缸（31）包括纵向气缸活塞杆（24）、纵向气缸上密封塞（25）、上密封件（26）、纵向气缸活塞（27）、纵向气缸下密封塞（28）、下密封件（29）；
6.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所述关阀机械开关（17）包括关阀机械开关上密封塞（171）、关阀弹性件（172）、关阀轴套（173）、关阀密封件（174）、关阀开关座（175）、关阀开关活塞杆（176）、第一关阀开关流道（177）、第二关阀开关流道（178）；
7.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所述开阀机械开关（18）包括开阀机械开关上密封塞（181）、开阀弹性件（182）、开阀轴套（183）、开阀密封件（184）、开阀开关座（185）、开阀开关活塞杆（186）、第一开阀开关流道（187）、第二开阀开关流道（188）；
...【技术特征摘要】
1.一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，包括顶盖（1）、法兰连接壳（2）、阀板（3）、压阀杆（4）、阀杆（5）、波纹管组件（6）、运动块（7）、阀杆固定座（8）、开阀缓冲座（9）、关阀缓冲座（10）、关阀气嘴（11）、关阀气路（12）、开阀气嘴（13）、开阀气路（14）、背板（15）、外壳（16）、关阀机械开关（17）、开阀机械开关（18）、横向气缸（19）、横向气缸盖（20）、横向气缸活塞（21）、横向气缸活塞密封件（22）、活塞杆定位销（23）、纵向气缸活塞杆（24）、纵向气缸上密封塞（25）、上密封件（26）、纵向气缸活塞（27）、纵向气缸下密封塞（28）、下密封件（29）、圆柱导轨（30）、纵向气缸（31）；
2.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所述关阀气路（12）的气路连通结构为：
3.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所述开阀气路（14）的气路连通结构为：
4.如权利要求1所述的一种基于单机械开关换向的阀门，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王莲冀，魏琼林，郭宇潇，周思遥，林江，罗一，
申请(专利权)人：成都中科唯实仪器有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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