【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种靶材烧结方法，尤其涉及一种管状靶材的烧结方法。
技术介绍
1、管状靶材烧结时通常采用竖置烧结，此烧结方法具有炉内利用率高、易操作、烧结效果好等优点，但是竖置烧结过程中由于重力原因，管靶内部无支撑物的情况下，易产生内塌、弯曲等变形。随着液晶模块产品轻薄化和低价化趋势的不断发展，相应的玻璃基板也出现了明显的大型化的趋势，靶材单片尺寸大型化不可避免，且减少拼接数量和高密度靶材在磁控溅射镀膜过程中能有效减少结瘤现象。为避免管状靶材烧结过程中密度低、内塌、弯曲等问题，行业内常规的方法是在管靶内部设计固定支撑柱，但是靶材烧结致密化过程中内径收缩，采用固定支撑内壁的方法会阻碍靶材收缩致密化。
2、中国技术专利cn218065947u公布了一种旋转靶材烧结用支架，该支架仍是设置不可移动的支撑柱，使用时旋转靶材套在支撑柱外，旋转靶材的内壁和支撑柱的外壁形成腔室，即支撑柱不与靶材接触，达不到有效的支撑效果，只有当靶材倒塌时支撑柱才能够提供支撑；由于支撑柱与管靶内壁间需要预留收缩空间，故管靶烧结时仍然存在变形的隐患。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是：提供一种管状靶材的烧结方法，该方法采用的管状靶材支撑装置设置有可活动的l型支撑块，该l型支撑块的竖向支撑块既能与管靶内壁接触为管靶提供有效的支撑，又可以随着管靶内径的收缩移动，能够有效防止管靶烧结时发生变形，又不会阻碍靶材收缩；该方法简单易操作，能够提高靶材密度和烧结成品率。
2、解决上述技术问题的技
3、所述管状靶材的烧结方法包括以下步骤：
4、（1）将管状靶材支撑装置放置在烧结炉内，在圆盘底座的滑道内和径向条形凹槽外侧的圆盘底座表面上铺上一层氧化铝细沙，l型支撑块的横向滑块置于圆盘底座滑道内的氧化铝细沙上，横向滑块的上端面高于圆盘底座的上端面1～3mm；
5、（2）将管状靶材素胚竖直放在圆盘底座上，l型支撑块的纵向支撑块位于管状靶材内圆中；
6、（3）调整l型支撑块位置，使l型支撑块的纵向支撑块贴合管状靶材素胚内壁；
7、（4）将管状靶材素胚进行烧结。
8、进一步的，步骤（4）中是将管状靶材素胚放在常压氧氛烧结炉中1500～1700℃烧结6～15小时。
9、进一步的，横向滑块宽度为20～50mm，纵向支撑块高度为100～800mm。
10、进一步的，所述氧化铝细沙的厚度为1～3mm。
11、进一步的，所述径向条形凹槽的宽度为3～10mm，深度为2～5mm。
12、进一步的，所述圆盘底座和l型支撑块的材质采用耐高温氧化铝或碳化硅。
13、由于采用上述结构，本专利技术具有以下有益效果：
14、1、本专利技术方法简单易操作，只需烧结前，将管靶素胚在管状靶材支撑装置上初步定位，使l型支撑块贴合管靶内壁即可，烧结过程中l型支撑块能够随着管靶的收缩移动，在不阻碍靶材致密化收缩的同时，又能够为靶材提供支撑，防止靶材塌陷、变形，提高了靶材密度和烧结成品率。实验证明，本专利技术方法烧结的成品率基本能达到100%。
15、2、本专利技术采用的管状靶材支撑装置中，l型支撑块的纵向支撑块与靶材接触的一侧设置有凸块和凹槽，凸块与管靶内壁接触提供支撑，凹槽为氧气流通提供空间，在不影响支撑效果的同时增加了靶材与氧气的接触面，有利于提高靶材密度。
16、3、本专利技术在l型支撑块的横向滑块与圆盘底座的滑道之间以及圆盘底座上表面铺设氧化铝细沙层，能够减少管靶的收缩阻力。
17、下面，结合附图和实施例对本专利技术之一种管状靶材的烧结方法的技术特征作进一步说明。
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1.一种管状靶材的烧结方法，其特征在于：采用管状靶材支撑装置，所述管状靶材支撑装置包括圆盘底座（1）和N个L型支撑块（2），所述圆盘底座中部开有通孔（13），所述圆盘底座上均布开设有N条滑道（11），相邻两条滑道的圆盘底座上开设有3～15条径向条形凹槽（12），所述L型支撑块（2）是由横向滑块（21）和连接在横向滑块一端的纵向支撑块（22）构成，纵向支撑块朝向横向滑块的一侧面上设置有多个用于支撑靶材的凸块（23），凸块之间形成凹槽（24），该凸块与靶材接触的端面为圆弧面，所述L型支撑块的横向滑块置于圆盘底座的滑道内，连接有纵向支撑块的横向滑块一端朝内，滑道的宽度大于横向滑块的宽度，N的取值为2～8中任意整数；
2.根据权利要求1所述的一种管状靶材的烧结方法，其特征在于：步骤（4）中是将管状靶材素胚放在常压氧氛烧结炉中1500～1700℃烧结6～15小时。
3.根据权利要求1或2所述的一种管状靶材的烧结方法，其特征在于：横向滑块宽度为20～50mm，纵向支撑块高度为100～800mm。
4.根据权利要求1或2所述的一种管状靶材的烧结方法，其特征在
5.根据权利要求1或2所述的一种管状靶材的烧结方法，其特征在于：所述径向条形凹槽的宽度为3～10mm，深度为2～5mm。
6.根据权利要求1或2所述的一种管状靶材的烧结方法，其特征在于：所述圆盘底座和L型支撑块的材质采用耐高温氧化铝或碳化硅。
...【技术特征摘要】
1.一种管状靶材的烧结方法，其特征在于：采用管状靶材支撑装置，所述管状靶材支撑装置包括圆盘底座（1）和n个l型支撑块（2），所述圆盘底座中部开有通孔（13），所述圆盘底座上均布开设有n条滑道（11），相邻两条滑道的圆盘底座上开设有3～15条径向条形凹槽（12），所述l型支撑块（2）是由横向滑块（21）和连接在横向滑块一端的纵向支撑块（22）构成，纵向支撑块朝向横向滑块的一侧面上设置有多个用于支撑靶材的凸块（23），凸块之间形成凹槽（24），该凸块与靶材接触的端面为圆弧面，所述l型支撑块的横向滑块置于圆盘底座的滑道内，连接有纵向支撑块的横向滑块一端朝内，滑道的宽度大于横向滑块的宽度，n的取值为2～8中任意整数；
2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：张倍维，黄誓成，马超宁，陆映东，姚远，宋春华，莫斌，黄作，
申请(专利权)人：广西晶联光电材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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