【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能光伏电池生产领域，尤其涉及硅片载具支撑装置及使用该硅片载具支撑装置的硅片反应设备。
技术介绍
1、光伏产业普遍被认为是一种极具发展前景的产业。太阳能光伏电池(以下简称光伏电池)是一种将太阳能转化为电能的电池，是光伏发电的核心部件之一。在光伏电池的制造过程中，炉管设备是核心设备之一。炉管设备包括扩散炉、氧化炉、退火炉、pecvd设备以及lpcvd设备等，广泛作为光伏电池的扩散、氧化、退火以及沉积等制程的反应腔室而使用。硅片的扩散、氧化、退火及沉积镀膜等热处理工艺基本都在上述设备的反应腔室中进行，反应腔室主要是提供一个密封的环境，将装满硅片的载具放置于反应腔室内部进行升温并通入工艺气体进行反应。
2、对于目前行业内的炉管设备而言，用于装载硅片的反应舟在反应腔室内有两种安装方式：一种是将反应舟直接放在反应腔室的石英炉管内(目前市面上普遍是石英管)，这种方式会导致反应腔室的石英炉管直接承受全部硅片及反应舟的重量，在使用过程中，石英炉管会逐渐变形，对于石英炉管的使用寿命会有较大的影响，需要频繁更换石英炉管，由于石英炉管价格较高，频繁更换带来的一系列损失已经成为了行业的痛点难点。另外一种是采用两根支撑杆承托反应舟并伸入反应腔室内，在工艺过程中，两根支撑杆在反应腔室中用于支撑反应舟，以使得石英炉管不受力，以延长石英炉管的使用寿命，但是反应过程中有两根支撑杆在反应腔室中，这对于工艺过程中需求的密封环境提出了很高的要求，经常有密封不严，漏气的现象。同时，工艺反应结束之后，两根支撑杆和反应舟同时退出反应腔室，会带走较多的
3、因此，市面上已经出现了一些新的炉管设备，该种炉管设备包括反应炉主体，反应炉主体内部设置有两端敞口的反应腔室，反应腔室的两端分别设置有两个固定法兰，每个固定法兰分别设置有两个支撑座，两根支撑杆相互平行且间隔地布置于反应腔室内，两根支撑杆的一端一一对应地安装于其中一个固定法兰的两个支撑座，两根支撑杆的另一端一一对应地安装于另外一个固定法兰的两个支撑座。上述的炉管设备用于硅片的反应工艺时，装载硅片的反应舟输送进反应腔室内部并放置两根支撑杆上表面，此时硅片及反应舟的重量通过两根支撑杆传递给两个固定法兰并由两个固定法兰荷载，既可以避免反应炉主体的英石炉管荷截硅片及反应舟的重量而容易变形损坏，同时可以解决现有的两根支撑杆频繁进出反应腔室而导致反应腔室热量损失大的技术问题，很好地满足了企业的生产需求。
4、但是企业在使用上述的炉管设备进行工艺反应的过程中，出现固定法兰的支撑座发生软化形变而导致支撑杆一端高、另一端低的情况，因而存在反应舟因支撑杆不平而容易倾倒的安全隐患。
技术实现思路
1、本技术旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本技术提出了一种结构简单的硅片载具支撑装置，有助于降低支撑座软化形变的机率，能够更好地支撑硅片载具；本技术还提出一种采用上述硅片载具支撑装置的硅片反应设备，可以更好地支撑硅片进行工艺反应。
2、根据本技术一些实施例的硅片载具支撑装置，包括第一固定法兰、第二固定法兰和至少一组支撑组件，所述第一固定法兰和所述第二固定法兰间隔布置；所述支撑组件包括第一支撑座、第二支撑座和支撑杆，所述第一支撑座设置于所述第一固定法兰，所述第二支撑座设置于所述第二固定法兰，所述支撑杆一端与所述第一支撑座抵接或连接，所述支撑杆另一端与所述第二支撑座抵接或连接；其中，所述第一支撑座内部设置有第一冷却液体通道和/或所述第二支撑座内部设置有第二冷却液体通道。
3、根据本技术一些实施例的硅片载具支撑装置，具有如下有益效果：
4、本实施例中的硅片载具支撑装置通过采用主要由第一固定法兰、第二固定法兰和支撑组件构成的结构，使得本实施例的硅片载具支撑装置用于硅片反应设备时，硅片载具支撑装置能够通过支撑组件的支撑杆荷载全部硅片及硅片载具的重量，而不会传递给硅片反应设备的炉管，既可以保护硅片反应设备，又不需要支撑杆频繁进出硅片反应设备，减少硅片反应设备热量的损失，而且通过在第一支撑座内部设置第一冷却液体通道，和/或在第二支撑座内部设置有第二冷却液体通道，使用时，能够往第一冷却液体通道和/或第二冷却液体通道内部通入冷却液体，进而使得第一支撑座和/或第二支撑座能够在高温的环境下保持相对较低的温度，因而第一支撑座和/或第二支撑座不会因为高温而容易发生软化形变，因此第一支撑座和/或第二支撑座可以保持足够的刚性以支撑承托支撑杆，使得支撑杆不容易出现一端高、一端低的情况，因此本实施例的硅片载具支撑装置可以更平稳地支撑硅片载具以进行工艺反应，满足用户的需求。
5、在本申请的一些实施例中，所述第一支撑座内部设置有所述第一冷却液体通道，所述第一固定法兰内部设置有与所述第一冷却液体通道相连通的第一进液通道，所述第一进液通道一端具有第一进液口，所述第一进液通道的另一端具有第一出液口。
6、在本申请的一些实施例中，所述第二支撑座内部设置有所述第二冷却液体通道，所述第二固定法兰内部设置有与所述第二冷却液体通道相连通的第二进液通道，所述第二进液通道一端具有第二进液口，所述第二进液通道的另一端具有第二出液口。
7、在本申请的一些实施例中，所述支撑组件的数量为两组，两组所述支撑组件相互平行且间隔地布置。
8、在本申请的一些实施例中，所述第一支撑座开设有与所述支撑杆一端形状相适配的第一嵌装槽，所述第二支撑座开设有与所述支撑杆另一端形状相适配的第二嵌装槽，所述支撑杆的一端嵌装于所述第一嵌装槽，所述支撑杆的另一端嵌装于所述第二嵌装槽。
9、在本申请的一些实施例中，所述第一支撑座具有第一辅助支撑座，所述第一嵌装槽开设于所述第一辅助支撑座；其中，所述第一辅助支撑座可拆卸安装于所述第一支撑座，或所述第一辅助支撑座与所述第一支撑座为一体式结构。
10、在本申请的一些实施例中，所述第二支撑座具有第二辅助支撑座，所述第二嵌装槽开设于所述第二辅助支撑座；其中，所述第二辅助支撑座可拆卸安装于所述第二支撑座，或所述第二辅助支撑座与所述第二支撑座为一体式结构。
11、在本申请的一些实施例中，所述第一支撑座可拆卸安装于所述第一固定法兰，所述第二支撑座可拆卸安装于所述第二固定法兰。
12、根据本技术一些实施例的硅片反应设备，包括反应炉主体，所述反应炉主体配置有上述的硅片载具支撑装置；其中，所述反应炉主体内部设置有两端敞口的反应腔室，所述第一固定法兰设置于所述反应腔室一端敞口处，所述第二固定法兰设置于所述反应腔室另一端敞口处。
13、根据本技术一些实施例的硅片反应设备，具有如下有益效果：
14、本实施例的硅片反应设备通过采用上述的硅片载具支撑装置，能够更好地支撑硅片于反应腔室内进行工艺反应，既不需要反应炉主体支撑荷载硅片及硅片载具，有助于保护反应炉主体，而且支撑杆不需要本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.硅片载具支撑装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
7.根据权利要求5所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
9.硅片反应设备，其特征在于，包括反应炉主体，所述反应炉主体配置有如权利要求1至8任一项所述的硅片载具支撑装置；
10.根据权利要求9所述的硅片反应设备，其特征在于，所述反应炉主体的一端设置有能够开启或关闭所述反应腔室一端敞口的第一炉门，所述反应炉主体的另一端设置有能够开启或关闭所述反应腔室另一端敞口的第二炉门。
【技术特征摘要】
1.硅片载具支撑装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的硅片载具支撑装置，其特征在于：
7.根据权利要求5所述的硅片载具支...
【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，易炜，彭亚萍，邓金生，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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