公开了一种基板处理设备，该基板处理设备包括：基板传送部，在其上接收传送对象；以及喷射系统部，该喷射系统部包括：喷墨主体，其在基板传送部的上表面之上将墨喷射并印刷在传送对象上；墨模块传送部，其传送喷墨主体；编码器，其设置在墨模块传送部周围，以按墨模块传送部的每单位移动距离输出移动信号；墨喷射控制器，其与喷墨主体互操作以控制喷墨主体的喷墨定时；以及信号分离器，其与编码器互操作以对移动信号进行计数，将所计数的移动信号的宽度重置，并将宽度被重置的移动信号传输到墨喷射控制器。
【技术实现步骤摘要】
在此描述的专利技术构思的实施例涉及基板处理设备，并且更具体地，涉及用于将墨喷射并印刷在基板上的基板处理设备和用于基板处理设备的控制方法。
技术介绍
1、在显示器制造设施中，存在将化学液体墨(诸如配向膜)喷射到玻璃上的喷射系统。
2、此类喷射系统以压电方式驱动头的喷嘴，以将墨喷射到用于显示器的玻璃上，同时在二维(2d)平面上移动喷墨头和喷射模块传送设备。
3、在这种情况下，通常，当在2d平面上划分x轴和y轴时，喷射系统将墨印刷在传送对象的整个上表面上，同时重复涂敷墨的过程，同时在下部传送基座上沿x轴以特定距离传送墨将被涂敷到的传送对象的状态中，沿y轴移动设置在传送对象之上并且耦合到墨喷射模块的喷射模块传送设备，并且在完成涂敷之后再次沿x轴以特定距离移动要被涂敷的传送对象，并且再次沿y轴传送喷射模块传送设备。
4、此时，喷射系统通过编码器接收脉冲波以识别喷射墨的时间点。编码器在喷射模块传送设备的每个具体移动间隔生成脉冲波并将脉冲波输入到墨喷射控制器。接收到脉冲波，墨喷射控制器基于接收到的脉冲波的数量识别喷射模块传送设备的位置以喷射墨。
5、在此，当分辨率设置为100nm时，并且当喷射模块传送设备移动100nm时，编码器生成一个脉冲波信号。此时，墨喷射控制器识别出喷射模块传送设备移动了100nm，并基于此对喷射模块传送设备进行各种控制驱动，诸如pid控制。在这种情况下，墨喷射控制器确定针对一个脉冲波信号喷射模块传送设备移动100nm，并且当对应的点为应在其上喷射墨的位置时喷射墨。
6、在这种情况下，喷射系统在喷射模块传送设备连续移动的过程中喷射墨。此时，当编码器的分辨率为100nm时，并且当喷射模块传送设备以20um的间隔移动时，喷射系统统计约200个脉冲波即可知道喷射位置。
7、由于常规喷射系统具有低的印刷分辨率并具有足够的生产时间，因此通常，其使用通过以菊花链方法连接多个墨喷射控制器来涂敷墨的方法。
8、然而，近年来，已经努力尽可能地缩短生产时间。因此，由于缆线长度的差异，已出现了信号延迟问题。为了解决这个问题，墨喷射控制器以即使当缆线的长度不同时也将信号分离器的输出定时设置为具有相同的时间延迟的方式来解决该问题。
9、然而，如此，尽管用于调整信号分离器等的时间延迟的设置，但由于印刷的分辨率应增加且生产时间应缩短，因此喷射模块传送设备应以比以前更高的速度移动。
10、因此，编码器每100nm生成的脉冲波的宽度比以前窄很多。例如，由于当喷射模块传送设备移动1m/s时，编码器的脉冲波的宽度形成为100ns，因此脉冲波的宽度比以前窄很多。
11、此时，为了使墨喷射控制器将编码器生成的脉冲波与瞬时输入噪声区分开，应该采用能够高速处理信号的昂贵的控制器。
12、然而，如此，当采用昂贵的墨喷射控制器时，由于与效果相比成本急剧增加，实际上除了找到另一种方法外别无选择。
13、因此，为了解决由编码器生成的脉冲波的宽度变窄引起的常规问题，应该能够区分编码器的脉冲波和噪声并且墨喷射控制器不应将编码器的脉冲波辨识为噪声。
14、例如，假设喷射模块传送设备移动1m/s，并且编码器每100nm生成的脉冲波的宽度为100ns，当缆线和信号处理级周围出现具有100ns的宽度的强噪声时，墨喷射控制器将具有100ns的宽度的强噪声辨识为编码器的脉冲波。因此，由于墨喷射控制器所辨识的位置是提前一步辨识的，因此喷墨位置与计划位置不同。
15、此外，当喷射模块传送设备在1m/s移动过程中瞬间加速时，脉冲波的宽度减小到100ns或更小。此时，当出现墨喷射控制器没有辨识到编码器的脉冲波的情况时，由于墨喷射控制器实际辨识的位置是倒退一步辨识的，因此喷墨位置与计划位置不同。
技术实现思路
1、本专利技术构思的实施例提供了：一种基板处理设备，用于将输入到墨喷射控制器的编码器的脉冲波与噪声区分开，使得不使用昂贵的墨喷射控制器而不增加生产成本，并且使得喷墨主体以比以前更高的速度移动以改善生产率；以及一种用于基板处理设备的控制方法。
2、根据实施例，一种基板处理设备可以包括：：基板传送部，在其上接收传送对象；以及喷射系统部，该喷射系统部包括：喷墨主体，其在基板传送部的上表面之上将墨喷射并印刷在传送对象上；墨模块传送部，其传送喷墨主体；编码器，其设置在墨模块传送部周围，并且按墨模块传送部的每单位移动距离输出移动信号；墨喷射控制器，其与喷墨主体互操作以控制喷墨主体的喷射定时；以及信号分离器，其与编码器互操作以对移动信号进行计数，重置所计数的移动信号的宽度，并将宽度被重置的移动信号传输到墨喷射控制器。
3、根据实施例，编码器可以将移动信号作为脉冲波输出。信号分离器可以对脉冲波的宽度进行计数并且可以重置所计数的宽度以输出替代脉冲波。
4、根据实施例，信号分离器可以针对每个定义单位对编码器所输出的脉冲波进行计数，并且可以重置所计数的脉冲波的宽度以输出替代脉冲波。
5、根据实施例，信号分离器可以以与定义单位偏离的非定义单位将用于精确移动的替代脉冲波与该替代脉冲波一起输出。
6、根据实施例，信号分离器可以在输出用于精确移动的替代脉冲波时，将与编码器所输出的一个或多个脉冲波相对应的宽度从编码器所输出的脉冲波中减去，或将与编码器所输出的一个或多个脉冲波相对应的宽度加到编码器所输出的脉冲波。
7、根据实施例，多个喷墨主体和多个墨喷射控制器可以彼此互操作以喷射墨。信号分离器可以向多个墨喷射控制器中的每一个输出替代脉冲波。
8、根据实施例，信号分离器可以使用乘法器生成替代脉冲波。
9、根据实施例，墨模块传送部可以包括：模块基座，其上安装有喷墨主体；致动器驱动部，其在一个方向上传送模块基座；以及墨模块位置控制器，其控制致动器驱动部传送模块基座并控制喷射墨的位置。
10、根据实施例，墨模块位置控制器可以与编码器互操作，以从编码器获得模块基座的位置信息。
11、根据实施例，基板传送部可以包括基座控制器，其使传送对象取决于预定工作命令。
12、根据实施例，一种用于基板处理设备的控制方法可以包括：通过被包括在基板处理设备中的墨模块传送部传送设置在传送对象之上的喷墨主体；按当喷墨主体移动时的每移动距离，通过被包括在基板处理设备中的编码器输出移动信号；通过被包括在基板处理设备中的信号分离器接收移动信号，通过信号分离器对移动信号进行计数，通过信号分离器重置所计数的移动信号的宽度，并且通过信号分离器输出宽度被重置的移动信号；通过信号分离器将宽度被重置的移动信号输出并分配到每个墨喷射控制器，并且通过墨喷射控制器基于宽度被重置的移动信号识别喷墨主体的位置；以及通过墨喷射控制器基于宽度被重置的移动信号调整并设置喷墨主体的位置信息，并且通过墨喷射控制器传输喷射命令，使得当经调整的位置对应于喷射位置时，喷墨主体喷射墨。
...
【技术保护点】
1.一种基板处理设备，包括：
2.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述编码器将所述移动信号作为脉冲波输出，并且
3.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中，所述信号分离器针对每个定义单位对所述编码器所输出的所述脉冲波进行计数，并且重置所计数的脉冲波的所述宽度以输出所述替代脉冲波。
4.根据权利要求3所述的基板处理设备，其中，所述信号分离器以与所述定义单位偏离的非定义单位将用于精确移动的替代脉冲波与所述替代脉冲波一起输出。
5.根据权利要求4所述的基板处理设备，其中，所述信号分离器在输出所述用于精确移动的替代脉冲波时，将与所述编码器所输出的一个或多个脉冲波相对应的宽度从所述编码器所输出的所述脉冲波中减去，或将与所述编码器所输出的一个或多个脉冲波相对应的宽度加到所述编码器所输出的所述脉冲波。
6.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中，多个喷墨主体和多个墨喷射控制器彼此互操作以喷射所述墨，并且
7.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中，所述信号分离器使用乘法器生成所述替代脉冲波。
8.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述墨模块传送部包括：
9.根据权利要求8所述的基板处理设备，其中，所述墨模块位置控制器与所述编码器互操作，以从所述编码器获得所述模块基座的位置信息。
10.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述基板传送部包括基座控制器，其被配置为使所述传送对象取决于预定工作命令。
11.一种用于基板处理设备的控制方法，所述控制方法包括：
12.根据权利要求11所述的控制方法，其中，所述编码器将所述移动信号作为脉冲波输出，并且
13.根据权利要求12所述的控制方法，其中，所述信号分离器针对每个定义单位对所述编码器所输出的所述脉冲波进行计数，并且重置所计数的脉冲波的所述宽度以输出所述替代脉冲波。
14.根据权利要求13所述的控制方法，其中，所述信号分离器以与所述定义单位偏离的非定义单位将用于精确移动的替代脉冲波与所述替代脉冲波一起输出。
15.根据权利要求14所述的控制方法，其中，所述信号分离器在输出所述用于精确移动的替代脉冲波时，将与所述编码器所输出的一个或多个脉冲波相对应的宽度从所述编码器所输出的所述脉冲波中减去，或将与所述编码器所输出的一个或多个脉冲波相对应的宽度加到所述编码器所输出的所述脉冲波。
16.根据权利要求12所述的控制方法，其中，所述信号分离器使用乘法器生成所述替代脉冲波。
17.根据权利要求11所述的控制方法，其中，所述墨模块传送部包括：
18.根据权利要求17所述的控制方法，其中，所述墨模块位置控制器与所述编码器互操作，以从所述编码器获得所述模块基座的位置信息。
19.根据权利要求11所述的控制方法，还包括：
20.一种基板处理设备，包括：
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【技术特征摘要】
1.一种基板处理设备，包括：
2.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述编码器将所述移动信号作为脉冲波输出，并且
3.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中，所述信号分离器针对每个定义单位对所述编码器所输出的所述脉冲波进行计数，并且重置所计数的脉冲波的所述宽度以输出所述替代脉冲波。
4.根据权利要求3所述的基板处理设备，其中，所述信号分离器以与所述定义单位偏离的非定义单位将用于精确移动的替代脉冲波与所述替代脉冲波一起输出。
5.根据权利要求4所述的基板处理设备，其中，所述信号分离器在输出所述用于精确移动的替代脉冲波时，将与所述编码器所输出的一个或多个脉冲波相对应的宽度从所述编码器所输出的所述脉冲波中减去，或将与所述编码器所输出的一个或多个脉冲波相对应的宽度加到所述编码器所输出的所述脉冲波。
6.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中，多个喷墨主体和多个墨喷射控制器彼此互操作以喷射所述墨，并且
7.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中，所述信号分离器使用乘法器生成所述替代脉冲波。
8.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述墨模块传送部包括：
9.根据权利要求8所述的基板处理设备，其中，所述墨模块位置控制器与所述编码器互操作，以从所述编码器获得所述模块基座的位置信息。
10.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述基板传送部包括基座...
【专利技术属性】
技术研发人员：河相民，赵亨濬，金宰弘，孙相睍，徐永周，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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