【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针冷热台，具体是一种磁吸式四探针冷热台。
技术介绍
1、探针冷热台是材料在不同温度条件下电学性能研究领域内重要的测试设备，这种设备通过控制温度和气氛环境，使测试样品达到设定温度，然后使用内部的固定探针压紧接触测试样品，通过探针输入和输出测试电学信号，从而对材料在不同温度和气氛环境下的电学性能进行研究，主要用于新材料升级和开发等研究。
2、探针冷热台内部的探针底座是固定结构，活动范围小，拆装复杂，不能满足不同形状、大小材料样品的测试需求，且无法兼顾气氛与真空环境的电学测试。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种磁吸式四探针冷热台，以解决现有技术中探针冷热台内部的探针底座是固定结构，活动范围小，拆装复杂，不能满足不同形状、大小材料样品测试需求的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种磁吸式四探针冷热台，包括腔体、顶盖、载样台芯组件和磁吸探针组件，所述腔体与顶盖组成密闭的测试腔体环境，所述腔体内设置有载样台芯组件和磁吸探针组件，所述磁吸探针组件通过磁铁吸附在腔体内，所述载样台芯组件通过温控法兰的连接口与腔体装配固定；所述腔体的一端设置有多个bnc接口，所述bnc接口通过连接线与磁吸探针组件连通。
3、优选的，所述腔体开设有多个气氛与真空接口；所述腔体开设有两个循环水接口。
4、优选的，所述顶盖的中部安装有视窗玻璃。
5、优选的，所述载样台芯组件包括温控法兰、锆珠固定板和台芯，所述温控
6、所述台芯位于两个锆珠固定板之间，所述台芯的两侧通过锆珠夹紧。
7、优选的，所述台芯内安装有加热棒和不锈钢管，所述不锈钢管延伸至腔体的外侧，所述台芯安装有温度传感器。
8、优选的，所述磁吸探针组件包括不锈钢压块、磁吸探针底座和探针，所述探针通过不锈钢压块和磁吸探针底座夹紧，所述不锈钢压块和磁吸探针底座之间通过固定螺丝固定，所述不锈钢压块为导体，探针与不锈钢压块为导通状态；所述不锈钢压块开设有固定端口，所述bnc接口的导线接头插入固定端口；所述磁吸探针底座为绝缘体，磁吸探针底座的底部安装有底座磁铁，所述磁吸探针底座通过磁铁与腔体内侧底部磁吸固定。
9、优选的，所述磁吸探针组件内部设计有圆形长槽，所述磁吸探针组件的圆形长槽内设置有内置弹簧，所述内置弹簧底部安装两颗钢珠，所述探针固定在两颗钢珠中间的缝隙中。
10、优选的，所述磁吸探针组件内部的圆形长槽侧边设置有探针角度调节螺丝，所述探针角度调节螺丝通过压住探针上下移动调节探针的俯仰角度。
11、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
12、1、将探针底座独立模块化，通过磁吸方式可以随意有效固定在底板的任何位置，灵活的接触到样品的各个位置，从而满足不同形状、大小材料样品的电学测试。探针与底座模块不使用时可灵活拆卸，扩大探针冷热台样品腔空间，同时优化设计了真空连接结构，可便捷拆装切换气氛和真空测试功能。
13、2、载样台芯组件：热胀冷缩自动补偿、电悬空的设计结构，确保了台芯固定可靠和电学测试的抗干扰能力。
14、3、磁吸探针组件：有效的电导通和电绝缘的兼容设计，探针浮动结构设计，确保了各种大小、形状样品的有效接触测量。
15、4、扩大了样品测量范围，磁吸探针组件可自由移动，对不同形状、大小、测量部位要求的情况都有有效满足；兼容性高，磁吸探针组件可轻松拆换节约测试时间。
16、5、提升电学测试精准度：台芯夹持自适应结构和电悬空设计能有效的杜绝样品测试过程中受到的外接电干扰，有效的电导通和电绝缘的兼容何探针浮动结构设计，进一步提高了电学测试的精准度。
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1.一种磁吸式四探针冷热台，其特征在于：包括腔体(1)、顶盖(2)、载样台芯组件(8)和磁吸探针组件(9)，所述腔体(1)与顶盖(2)组成密闭的测试腔体(1)环境，所述腔体(1)内设置有载样台芯组件(8)和磁吸探针组件(9)，所述磁吸探针组件(9)通过磁铁吸附在腔体(1)内，所述载样台芯组件(8)通过温控法兰(10)的连接口与腔体(1)装配固定；
2.根据权利要求1所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述腔体(1)开设有多个气氛与真空接口(5)；所述腔体(1)开设有两个循环水接口(4)。
3.根据权利要求1所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述顶盖(2)的中部安装有视窗玻璃(3)。
4.根据权利要求1所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述载样台芯组件(8)包括温控法兰(10)、锆珠固定板(12)和台芯(16)，所述温控法兰(10)的温控航空插头(6)延伸至腔体(1)外侧，所述温控法兰(10)包括两个对称设置的悬臂，每个所述悬臂均通过弹簧紧定螺钉(11)顶住锆珠固定板(12)，所述锆珠固定板(12)安
5.根据权利要求4所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述台芯(16)内安装有加热棒(15)和不锈钢管(14)，所述不锈钢管(14)延伸至腔体(1)的外侧，所述台芯(16)安装有温度传感器(17)。
6.根据权利要求1所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述磁吸探针组件(9)包括不锈钢压块(18)、磁吸探针底座(19)和探针(23)，所述探针(23)通过不锈钢压块(18)和磁吸探针底座(19)夹紧，所述不锈钢压块(18)和磁吸探针底座(19)之间通过固定螺丝(21)固定，所述不锈钢压块(18)为导体，探针(23)与不锈钢压块(18)为导通状态；所述不锈钢压块(18)开设有固定端口(20)，所述BNC接口(7)的导线接头插入固定端口(20)；所述磁吸探针底座(19)为绝缘体，磁吸探针底座(19)的底部安装有底座磁铁(24)，所述磁吸探针底座(19)通过磁铁与腔体(1)内侧底部磁吸固定。
7.根据权利要求6所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述磁吸探针组件(9)内部设计有圆形长槽，所述磁吸探针组件(9)的圆形长槽内设置有内置弹簧(25)，所述内置弹簧(25)底部安装两颗钢珠(26)，所述探针(23)固定在两颗钢珠(26)中间的缝隙中。
8.根据权利要求7所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述磁吸探针组件(9)内部的圆形长槽侧边设置有探针角度调节螺丝(22)，所述探针角度调节螺丝(22)通过压住探针(23)上下移动调节探针(23)的俯仰角度。
...【技术特征摘要】
1.一种磁吸式四探针冷热台，其特征在于：包括腔体(1)、顶盖(2)、载样台芯组件(8)和磁吸探针组件(9)，所述腔体(1)与顶盖(2)组成密闭的测试腔体(1)环境，所述腔体(1)内设置有载样台芯组件(8)和磁吸探针组件(9)，所述磁吸探针组件(9)通过磁铁吸附在腔体(1)内，所述载样台芯组件(8)通过温控法兰(10)的连接口与腔体(1)装配固定；
2.根据权利要求1所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述腔体(1)开设有多个气氛与真空接口(5)；所述腔体(1)开设有两个循环水接口(4)。
3.根据权利要求1所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述顶盖(2)的中部安装有视窗玻璃(3)。
4.根据权利要求1所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述载样台芯组件(8)包括温控法兰(10)、锆珠固定板(12)和台芯(16)，所述温控法兰(10)的温控航空插头(6)延伸至腔体(1)外侧，所述温控法兰(10)包括两个对称设置的悬臂，每个所述悬臂均通过弹簧紧定螺钉(11)顶住锆珠固定板(12)，所述锆珠固定板(12)安装有锆珠(13)；
5.根据权利要求4所述的一种磁吸式四探针(23)冷热台，其特征在于：所述台芯(16)内安装有加热棒(15)和不锈钢管(14)，所述不锈钢管(14)延伸至腔体(1)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪金文，罗赚，汪明炉，
申请(专利权)人：锦文测控科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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