【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体镀膜设备，具体为一种具有防堵塞功能的排气管路半导体镀膜设备。
技术介绍
1、在申请公告号为cn117512526a的专利申请中，其包括包括镀膜柜体、设于所述镀膜柜体内用于固定待镀膜半导体的夹持部件、设于镀膜柜体外用于真空所述镀膜柜体的真空部件、设于待镀膜半导体下方的电子枪设备；所述镀膜柜体内设有用于清理夹持部件的清理部件，所述清理部件包括设于所述镀膜柜体顶部的直线导轨、设于所述直线导轨的电动滑块上的清洁直杆、通过若干根清洁圆柱架设于所述清洁直杆下方的清洁条。优点为：首先夹持部件将待镀膜半导体固定于镀膜柜体的内腔，然后真空部件将镀膜柜体的内腔抽至真空状态。电子枪设备通电启动并对镀膜柜体的内腔进行加热，电子枪设备通过将电子的动能转换成热能而使得镀膜材料加热蒸发，镀膜材料形成束流吸附在待镀膜半导体的表面，最后直线导轨上的电动滑块通过清洁直杆和清洁圆柱带动清洁条移动，清洁条能够清理夹具框架和锁紧条板表面残留的镀膜材料，改善了改善夹具体表面的镀膜材料难清理的问题。
2、在包括上述的专利的现有技术中，半导体镀膜设备的管路阻塞往往来自于管路内部的温度不均匀导致结晶沉积，排气主管管路中出现阻塞会影响核心腔体内的抽真空性能，直接影响工艺质量；甚至更严重堵塞后腔体内气体排不出去会有设备损坏的风险。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的问题是：半导体镀膜设备内部管路容易发生结晶堵塞影响设备的正常使用及使用寿命。
2、为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：
3、所述辅助结构包括限位环，所述限位环的内壁与连接壳空腔的底部相固定连接，所述限位环的数量为两个且呈半圆状对称设置，所述限位环的表面呈圆周阵列状排列设有若干个滚珠，所述空腔的顶部和底部均转动设有控制轮，所述控制轮和限位环的表面设有皮带，两个所述控制轮通过皮带相传动连接。
4、作为优选，所述连接壳的一侧固定设有固定环，所述固定环的一侧开设有四个滑槽，所述控制轮的一侧固定设有螺纹杆，所述螺纹杆的一侧依次贯穿连接壳和固定环且延伸至固定环的外部。
5、作为优选，所述固定环的正面和背面均固定设有齿板，所述螺纹杆上螺纹配合有移动环，所述移动环一侧的前侧和后侧均开设有空槽，所述空槽呈半圆弧形。
6、作为优选，所述移动环的正面和背面均转动连接有转轴，所述转轴的内部设有扭矩弹簧，所述转轴的正面设有触碰板，所述转轴正面的顶部和底部均设有撞击板，所述撞击板正面的两侧均固定设有撞击针。
7、作为优选，所述连接壳内壁的顶部设有电机，所述电机的输出轴固定设有动力轮，其中一个所述控制轮的一侧固定设有从动轮，所述从动轮与动力轮相啮合。
8、作为优选，所述监测结构包括红外发射器，所述红外发射器的一侧与滑槽相滑动连接，所述红外发射器的顶部设有限位螺丝，所述限位螺丝可以控制红外发射器沿着滑槽上下移动。
9、作为优选，所述衔接座的顶部设有警报器，所述衔接座的一侧固定设有活动环，所述活动环的一侧设有有卡接槽，所述卡接槽与螺纹杆相适配。
10、作为优选，所述活动环的一侧设有红外接收器，所述红外接收器与红外发射器相互配合使用，所述红外接收器与警报器相电性连接。
11、作为优选，所述排气管的两侧均设有法兰盘，所述排气管顶部的两侧均固定连通有辅助管，所述辅助管的两侧均设有控制阀。
12、与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：
13、（1）半导体镀膜机内设置有辅助结构和监测结构，二者可以相互配合对设备管道的结晶进行监测和处理，辅助结构主要用于当管道内结晶凝结较厚时，使用者将管道的一段拆卸打开后可以通过移动环对管道内部凝结的结晶进行快速的清理，清洁效率高速度快，提高维修效率，移动环的移动通过两个螺纹杆配合控制，两个螺纹杆通过一个电机控制旋转，能耗降低更加节能环保，移动环的两侧还设置有撞击板，撞击板本身呈倾斜状在移动环移动的过程中可以与齿板发生联动，使得撞击板首先会以转轴为圆心旋转对结晶进行挤压，其次移动到齿板的中间位置时转轴内部的扭矩弹簧会控制撞击板迅速回弹对管壁产生震动撞击，形成一板两用挤压破碎结晶的同时通过震动减少避免管道有细小结晶依附残留，进一步的提高结晶的去除能力，让半导体镀膜设备运行的更加顺畅使用寿命更长；
14、（2）监测结构是通过一端的红外发射器和另一端的红外接收器对管道内结晶层的厚度变化进行实时的监测，在没有结晶层或者结晶层没有达到影响设备运行的厚度时，红外发射器发生的直线红外光会被红外接收器所接受，当结晶层挤压到一定厚度的时候，结晶层会挡住直线红外光，此时红外接收器在一段时间内没有接受到红外光后就会触发警报器，使用者可以根据警报器的响动达到第一时间的预警以及对洁净管道进行快速的定位，在若干根管道中迅速定位结晶管道，红外发射器和接收器的位置也可以进行位置调节，可以根据实际需要去调节结晶需要监测的厚度，衔接座这一端的活动环与螺纹杆和齿板为卡接式，可以进行直接手动拆卸处理，让使用者在清理管道时可以将破碎出来的结晶直接掉落到设备外部。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种具有防堵塞功能的排气管路半导体镀膜设备，包括半导体镀膜机，其特征在于：所述半导体镀膜机（1）的内部设有若干个排气管（2），所述排气管（2）用于半导体镀膜机（1）气体进出，所述排气管（2）的两侧分别设有连接壳（6）和衔接座（7），所述连接壳（6）的内部开设有空腔，所述连接壳（6）的一侧设有设有辅助结构（9），所述辅助结构（9）上设置有监测结构（8）；
2.根据权利要求1所述的一种具有防堵塞功能的排气管路半导体镀膜设备，其特征在于：所述连接壳（6）的一侧固定设有固定环（903），所述固定环（903）的一侧开设有四个滑槽，所述控制轮（910）的一侧固定设有螺纹杆（901），所述螺纹杆（901）的一侧依次贯穿连接壳（6）和固定环（903）且延伸至固定环（903）的外部。
3.根据权利要求2所述的一种具有防堵塞功能的排气管路半导体镀膜设备，其特征在于：所述固定环（903）的正面和背面均固定设有齿板（902），所述螺纹杆（901）上螺纹配合有移动环（904），所述移动环（904）一侧的前侧和后侧均开设有空槽（906），所述空槽（906）呈半圆弧形。
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。