【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种洗涤装置及多晶硅生产系统，属于应用化工领域。
技术介绍
1、目前国内主流的多晶硅生产工艺采用改良西门子法，在还原炉中使用氢气将气相三氯氢硅在还原，在还原炉内硅芯上化学气相沉积以生成棒状多晶硅。还原炉生产过程为间歇操作，需定期开炉卸出多晶硅棒、安装硅芯。还原炉停止沉积、开炉前，需使用氮气对还原炉内气体进行多次置换，置换得到含有硅粉的氮气进入洗涤塔，在洗涤塔中使用水进行喷淋洗涤。
2、现有技术中，常由洗涤塔底部抽取洗涤液，使用循环泵将洗涤液打入洗涤塔顶端用于喷淋洗涤。然而，由于洗涤液中含有硅粉，洗涤塔存在循环管路容易堵塞，持续运行时间较短的缺陷。
3、因此，开发一种不易堵塞、持续运行时间较长的洗涤装置成为研究方向。
技术实现思路
1、本技术提供一种洗涤装置，该装置具有不易堵塞、持续运行时间较长的特点。
2、本技术还提供一种多晶硅生产系统，该系统具有持续运行时间较长的特点。
3、本技术提供一种洗涤装置，其中，包括具有空腔的洗涤单元、驱动单元；
4、所述洗涤单元的洗涤液出口通过所述驱动单元与所述洗涤单元的洗涤液入口连通，所述洗涤单元的洗涤液入口高程高于所述洗涤单元的洗涤液出口；
5、所述洗涤单元包括洗涤塔，所述洗涤塔内设有包括固定端和自由端的导流软管，所述导流软管的固定端与所述洗涤单元的洗涤液出口连通，所述导流软管的自由端设有浮球。
6、如上所述的洗涤装置，其中，所述浮球的容积为0.2-0.5
7、如上所述的洗涤装置，其中，所述导流软管的公称直径为dn50-dn200。
8、如上所述的洗涤装置，其中，所述洗涤装置还包括与所述自由端连通的弯头管件，所述弯头管件的自由端方向背离洗涤液液面。
9、如上所述的洗涤装置，其中，所述弯头管件的角度为90°-135°。
10、如上所述的洗涤装置，其中，所述弯头管件的角度为90°。
11、如上所述的洗涤装置，其中，所述导流软管的自由端设有过滤精度为40-100目数的滤网。
12、如上所述的洗涤装置，其中，所述洗涤装置还包括沉淀单元，所述洗涤单元的洗涤液出口依次通过所述沉淀单元和所述驱动单元与所述洗涤单元的洗涤液入口连通；
13、所述沉淀单元包括依次连通的n个沉淀腔，每个沉淀腔底部设有至少一个沉淀腔硅粉排放口，n≥2。
14、如上所述的洗涤装置，其中，所述洗涤装置还包括供氮单元、还原单元和补水单元，所述供氮单元通过所述还原单元与所述洗涤单元的置换气入口连通，所述补水单元的补充水出口与所述洗涤单元的补充水入口连通。
15、本技术还提供一种多晶硅生产系统，其中，包括上述任一种洗涤装置。
16、本技术提供的洗涤装置具有不易堵塞、持续运行时间较长的特点。
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1.一种洗涤装置，其特征在于，包括具有空腔的洗涤单元、驱动单元；
2.根据权利要求1所述的洗涤装置，其特征在于，所述浮球的容积为0.2-0.5m3。
3.根据权利要求1所述的洗涤装置，其特征在于，所述导流软管的公称直径为DN50-DN200。
4.根据权利要求1所述的洗涤装置，其特征在于，所述洗涤装置还包括与所述自由端连通的弯头管件，所述弯头管件的自由端方向背离洗涤液液面。
5.根据权利要求4所述的洗涤装置，其特征在于，所述弯头管件的角度为90°-135°。
6.根据权利要求5所述的洗涤装置，其特征在于，所述弯头管件的角度为90°。
7.根据权利要求6所述的洗涤装置，其特征在于，所述导流软管的自由端设有过滤精度为40-100目数的滤网。
8.根据权利要求7所述的洗涤装置，其特征在于，所述洗涤装置还包括沉淀单元，所述洗涤单元的洗涤液出口依次通过所述沉淀单元和所述驱动单元与所述洗涤单元的洗涤液入口连通；
9.根据权利要求1-8中任一项所述的洗涤装置，其特征在于，所述洗涤装置还包括供氮单元、
10.一种多晶硅生产系统，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的洗涤装置。
...【技术特征摘要】
1.一种洗涤装置，其特征在于，包括具有空腔的洗涤单元、驱动单元；
2.根据权利要求1所述的洗涤装置，其特征在于，所述浮球的容积为0.2-0.5m3。
3.根据权利要求1所述的洗涤装置，其特征在于，所述导流软管的公称直径为dn50-dn200。
4.根据权利要求1所述的洗涤装置，其特征在于，所述洗涤装置还包括与所述自由端连通的弯头管件，所述弯头管件的自由端方向背离洗涤液液面。
5.根据权利要求4所述的洗涤装置，其特征在于，所述弯头管件的角度为90°-135°。
6.根据权利要求5所述的洗涤装置，其特征在于，所述弯头管件的角度为90°。
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【专利技术属性】
技术研发人员：段毓达，赵国强，马迎杰，薛皓中，葛蒙，柯曾鹏，陈维平，骆彩萍，陈斌，韦岗锁，
申请(专利权)人：华陆工程科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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