晶圆测试结构制造技术

本申请涉及晶圆测试技术领域，提供了一种晶圆测试结构，包括测试箱体、搬运门板、换卡门板和干燥组件。测试箱体具有测试腔以及连通于测试腔的晶圆搬运窗口和换卡窗口；搬运门板可活动的安装于晶圆搬运窗口处，且搬运门板与测试箱体之间设置有第一道密封；换卡门板可活动的安装于换卡窗口处，且换卡门板与测试箱体之间设置有第二道密封；干燥组件用于向测试腔通入干燥气体；干燥组件包括喷射管和汇流管，喷射管沿测试腔的周向环设于测试腔的腔壁，喷射管构造有多个间隔布置的喷射孔，汇流管连通于喷射管并伸出测试腔。本申请提供的晶圆测试结构用于满足晶圆在低温环境中的测试环境需求，并便于控制测试时的露点温度，保证测试安全性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆测试，特别是涉及一种晶圆测试结构。

技术介绍

1、由于部分晶圆产品会应用于低温环境，故而在晶圆制造时需要将其置于低温环境中进行测试，以确保低温使用性能良好。通常的，在低温测试时会将晶圆温度控制在0℃以下，甚至达到-55℃，此时若是低温环境中水汽含量较大、或者低温晶圆直接暴露在空气中，容易出现结霜或者结冰等问题。因此，在进行低温测试时如何使得测试腔内部始终处于相对干燥的测试环境是亟待解决的问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种晶圆测试结构，用于满足晶圆在低温环境中的测试环境需求，保证测试安全性。

2、一种晶圆测试结构，包括：

3、测试箱体，具有测试腔以及连通于所述测试腔的晶圆搬运窗口和换卡窗口；

4、搬运门板，可活动的安装于所述晶圆搬运窗口处，且所述搬运门板与所述测试箱体之间设置有第一道密封；

5、换卡门板，可活动的安装于所述换卡窗口处，且所述换卡门板与所述测试箱体之间设置有第二道密封；

6、干燥组件，用于向所述测试腔通入干燥气体；所述干燥组件包括喷射管和汇流管，所述喷射管沿所述测试腔的周向环设于所述测试腔内，所述喷射管构造有多个间隔布置的喷射孔，所述汇流管连通于所述喷射管并伸出所述测试腔。

7、可以理解的是，晶圆搬运窗口用于将晶圆移入或移出测试腔，换卡窗口用于更换测试腔中进行晶圆测试的测试机构。干燥组件向测试腔内通入干燥气体，以降低测试腔内空气中的水汽含量。待测试腔内的露点温度达到目标温度时，即可进行晶圆的低温测试，保证测试安全性。由于干燥组件中的喷射管环绕测试腔的周向布置，使得通入的干燥气体可以均匀的充斥于测试腔内，保证晶圆四周的空气水汽含量均匀降低并一致，进一步提高晶圆测试安全性。同时，正是由于第一道密封和第二道密封的设置，可以使得搬运门板密封晶圆搬运窗口、换卡门板密封换卡窗口，保证测试腔的密封性，避免干燥气体经晶圆搬运窗口和换卡窗口泄漏，进一步保证测试腔内的水汽含量处于较低的状态，避免晶圆在低温环境中结霜或结冰。

8、在其中一些实施例中，所述喷射管包括多个连接件和多个连接管段，多个所述连接管段沿所述测试腔的周向排布，且任意相邻的两个所述连接管段之间通过一所述连接件连通，至少一个所述连接管段连接有所述汇流管；和/或，所述干燥组件还包括干燥机，所述干燥机连接于所述汇流管远离所述喷射管的一端并设于所述测试箱体的外部；和/或，多个所述喷射孔沿所述测试腔的周向间隔布置于所述喷射管。

9、在其中一些实施例中，所述晶圆搬运窗口处设置有固定门框，所述固定门框和/或所述搬运门板设置有第一密封件，所述第一密封件形成所述第一道密封。

10、在其中一些实施例中，所述固定门框构造有密封翻边，所述搬运门板设置于所述固定门框沿z轴方向的一侧，所述搬运门板能够相对所述固定门框沿z轴方向移动，所述第一密封件压设于所述密封翻边与所述搬运门板之间。

11、在其中一些实施例中，沿z轴方向，所述固定门框具有相对且间隔布置的封闭侧和开启侧，且所述封闭侧在所述搬运门板关闭方向上位于所述开启侧的下游；所述密封翻边环设于所述晶圆搬运窗口，所述密封翻边构造有位于所述开启侧处的避让缺口，所述搬运门板凸设有远离所述封闭侧的抵接翻边，所述抵接翻边能够压设于所述避让缺口背离所述封闭侧的一侧边缘。

12、在其中一些实施例中，自所述封闭侧朝向所述开启侧，所述搬运门板沿第一方向的宽度渐增；所述第一方向、所述z轴方向和所述搬运门板的厚度方向，两两呈角度设置。

13、在其中一些实施例中，所述晶圆测试结构还包括动力源，所述动力源安装于所述测试箱体并连接于所述搬运门板，所述动力源用于驱动所述搬运门板沿所述z轴方向往复移动；和/或，所述搬运门板与所述测试箱体滑动连接，且两者之间设置有导向件。

14、在其中一些实施例中，所述换卡窗口处设置有门边框，所述门边框和/或所述换卡门板设置有第二密封圈，所述第二密封圈形成所述第二道密封。

15、在其中一些实施例中，所述晶圆测试结构还包括晶圆固定盘和露点传感器，所述晶圆固定盘与所述露点出啊干起均安装于所述测试腔内，所述晶圆固定盘的外侧环绕设有所述喷射管，且所述露点传感器靠近所述晶圆固定盘设置。

16、在其中一些实施例中，所述测试箱体至少由多个钣金板拼接形成，且各个所述钣金板的拼接处均设置有密封条。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆测试结构，其特征在于，所述晶圆测试结构包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述喷射管(21)包括多个连接件(212)和多个连接管段(211)，多个所述连接管段(211)沿所述测试腔(101)的周向排布，且任意相邻的两个所述连接管段(211)之间通过一所述连接件(212)连通，至少一个所述连接管段(211)连接有所述汇流管(22)；和/或，

3.根据权利要求1所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述晶圆搬运窗口(102)处设置有固定门框(11)，所述固定门框(11)和/或所述搬运门板(30)设置有第一密封件，所述第一密封件形成所述第一道密封。

4.根据权利要求3所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述固定门框(11)构造有密封翻边(111)，所述搬运门板(30)设置于所述固定门框(11)沿Z轴方向的一侧，所述搬运门板(30)能够相对所述固定门框(11)沿Z轴方向移动，所述第一密封件压设于所述密封翻边(111)与所述搬运门板(30)之间。

5.根据权利要求4所述的晶圆测试结构，其特征在于，沿Z轴方向，所述固定门框(11)具有相对且间隔布置的封闭侧(1101)和开启侧(1102)，且所述封闭侧(1101)在所述搬运门板(30)关闭方向上位于所述开启侧(1102)的下游；

6.根据权利要求5所述的晶圆测试结构，其特征在于，自所述封闭侧(1101)朝向所述开启侧(1102)，所述搬运门板(30)沿第一方向的宽度渐增；所述第一方向、所述Z轴方向和所述搬运门板(30)的厚度方向，两两呈角度设置。

7.根据权利要求4所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述晶圆测试结构还包括动力源(50)，所述动力源(50)安装于所述测试箱体(10)并连接于所述搬运门板(30)，所述动力源(50)用于驱动所述搬运门板(30)沿所述Z轴方向往复移动；和/或，

8.根据权利要求1或3所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述换卡窗口(103)处设置有门边框(12)，所述门边框(12)和/或所述换卡门板(40)设置有第二密封圈，所述第二密封圈形成所述第二道密封。

9.根据权利要求1所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述晶圆测试结构还包括晶圆固定盘和露点传感器，所述晶圆固定盘与所述露点传感器均安装于所述测试腔(101)内，所述晶圆固定盘的外侧环绕设有所述喷射管(21)，且所述露点传感器靠近所述晶圆固定盘设置。

10.根据权利要求1所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述测试箱体(10)至少由多个钣金板拼接形成，且各个所述钣金板的拼接处均设置有密封条。

...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆测试结构，其特征在于，所述晶圆测试结构包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述喷射管(21)包括多个连接件(212)和多个连接管段(211)，多个所述连接管段(211)沿所述测试腔(101)的周向排布，且任意相邻的两个所述连接管段(211)之间通过一所述连接件(212)连通，至少一个所述连接管段(211)连接有所述汇流管(22)；和/或，

3.根据权利要求1所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述晶圆搬运窗口(102)处设置有固定门框(11)，所述固定门框(11)和/或所述搬运门板(30)设置有第一密封件，所述第一密封件形成所述第一道密封。

4.根据权利要求3所述的晶圆测试结构，其特征在于，所述固定门框(11)构造有密封翻边(111)，所述搬运门板(30)设置于所述固定门框(11)沿z轴方向的一侧，所述搬运门板(30)能够相对所述固定门框(11)沿z轴方向移动，所述第一密封件压设于所述密封翻边(111)与所述搬运门板(30)之间。

5.根据权利要求4所述的晶圆测试结构，其特征在于，沿z轴方向，所述固定门框(11)具有相对且间隔布置的封闭侧(1101)和开启侧(1102)，且所述封闭侧(1101)在所述搬运门板(30)关闭方向上位于所述开启...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵树理，徐开涛，姚建强，王华彬，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：