【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于冷却背板，具体为一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板及其加工方法。
技术介绍
1、冷却背板在多种工业设备和系统中都扮演着关键角色，尤其是在需要高效热管理的场合，如磁控溅射镀膜设备、半导体制造设备、激光器等；
2、在磁控溅射镀膜设备的应用中，当靶材受到高能粒子轰击时，会产生大量热量，这些热量传导迅速传递到冷却背板上，通过冷却背板内的冷却液循环系统将热量带走并散发到周围环境中，从而保持靶材和设备的低温状态；
3、经检索，如专利：cn214842696u用于液晶半导体成膜的高效率冷却背板装置，包括冷却背板和冷却箱，所述冷却背板的上方设置有靶材，所述冷却背板设置在冷却箱的上方，所述冷却箱左侧端面固定连接有内腔连通的进水管道，所述进水管道的管口处固定连接有进水法兰盘，所述冷却箱的右侧端面固定连接有内腔连通的出水管道，所述出水管道的管口处固定连接有出水法兰盘，所述冷却箱包括多组安装槽，每组所述安装槽中包括有放置板，每组所述放置板上设置有永磁体，所述放置板与永磁体活动连接，所述永磁体与冷却背板接触，所述冷却箱中设置有两组监控芯片，所述冷却箱中设置有多组扰流机构，旨在解决靶材遇到高温容易损坏的问题；
4、在实际使用过程中，通过搅拌叶在冷却液内部竖直搅动的方式易使冷却液在冷却背板内部形成涡流或湍流，这些非层流状态会使冷却液在背板内分布不均匀，导致部分区域过热或过冷，从而影响整体的散热效果。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种用于磁控溅射镀膜
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，包括背板主体，所述背板主体的两侧分别固定安装有进水管和出水管，所述背板主体的内部设置有扰流组件；
3、其中，所述扰流组件包括设置在背板主体内部的移动轴，所述移动轴设置有多个，每个所述移动轴的内部皆通过转动组件安装有第一转动轴，所述第一转动轴的外壁固定连接有第一转动板，每个所述移动轴底端的内部皆螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底端固定安装有第一齿轮，所述第一齿轮的外壁啮合连接有链条，所述链条的内部啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮的内部固定安装有第二转动轴，所述第二转动轴的顶端安装有马达，所述马达设置在背板主体的内部。
4、作为本专利技术进一步的技术方案，所述第一转动轴的外壁固定安装有第一滤板。
5、作为本专利技术进一步的技术方案，所述转动组件包括安装在移动轴内部的第三转动轴，所述第三转动轴的底端嵌入在螺纹杆的内部，所述螺纹杆的内部固定安装有滑块，所述滑块滑动安装在滑槽的内部，所述滑槽开设在第三转动轴的外壁，所述第三转动轴的顶端固定安装有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的顶端啮合连接有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮固定安装在第一转动轴的一端。
6、作为本专利技术进一步的技术方案，所述移动轴的外壁安装有套环，所述套环的外壁固定连接有第二转动板，所述第二转动板设置有多个。
7、作为本专利技术进一步的技术方案，所述套环和移动轴转动连接。
8、作为本专利技术进一步的技术方案，所述套环的外壁固定安装有第二滤板。
9、作为本专利技术进一步的技术方案，所述背板主体的内部设置有导流板，所述导流板设置在进水管的一侧，所述导流板对称设置有两个。
10、作为本专利技术进一步的技术方案，所述链条的内壁啮合连接有第四齿轮，所述第四齿轮的内部固定安装有第四转动轴，所述第四转动轴的外壁固定安装有第三齿轮，所述第三齿轮的一侧啮合连接有齿条板，所述齿条板的顶端固定安装有连接板，所述连接板固定安装在导流板的底端。
11、作为本专利技术进一步的技术方案，所述连接板滑动安装在背板主体的内部，所述连接板的一侧安装有弹簧。
12、一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板的加工方法，包括以下步骤：
13、s1：在磁控溅射镀膜设备工作时，冷却液经进水管排入背板主体内，并通过导流板导流均匀分布在背板主体内；
14、s2：同时通过plc控制马达启动，马达的启动带动第二转动轴的转动，第二转动轴的转动带动第二齿轮的转动，第二齿轮的转动通过链条传动带动第一齿轮和第三齿轮转动，第一齿轮的转动带动螺纹杆的转动，螺纹杆的转动带动移动轴上下滑动，移动轴的移动通过第一转动轴带动第一转动板移动，对背板主体内部的冷却液进行扰流；
15、s3：当移动轴在螺纹杆的外壁上下移动时，移动轴的移动带动第三转动轴在螺纹杆的内部上下移动，同时滑槽在滑块的外壁上滑动，通过其导向迫使第三转动轴发生转动，第三转动轴的转动带动第一锥形齿轮的转动，第一锥形齿轮的转动带动第二锥形齿轮的转动，第二锥形齿轮的转动带动第一转动轴的转动，第一转动轴的转动带动第一转动板和第一滤板的转动，使移动轴在带动第一转动板和第一滤板上下移动时，第一转动板和第一滤板同时发生转动；
16、s4：当链条转动时第四齿轮发生转动，第四齿轮的转动带动第四转动轴的转动，第四转动轴的转动带动第三齿轮的转动，第三齿轮的转动带动齿条板的移动，齿条板的移动带动连接板的移动，连接板的移动带动导流板的移动，使导流板在进水管的一侧移动，增加冷却液与背板主体内腔室壁面的接触时间和面积；
17、s5：最后经出水管排出进行循环对背板主体冷却。
18、本专利技术的有益效果如下：
19、1、本专利技术通过扰流组件的设置，在磁控溅射镀膜设备工作时，通过plc控制马达启动，马达的启动带动第二转动轴的转动，第二转动轴的转动带动第二齿轮的转动，第二齿轮的转动通过链条传动带动第一齿轮转动，第一齿轮的转动带动螺纹杆的转动，螺纹杆的转动带动移动轴上下滑动，移动轴的移动通过第一转动轴带动第一转动板移动，对背板主体内部的冷却液进行扰流，使其可以在背板主体的内部充分流动，防止冷却液形成涡流或湍流，以加速冷却液的循环从而提高散热效率。
20、2、本专利技术通过转动组件的设置，当移动轴在螺纹杆的外壁上下移动时，移动轴的移动带动第三转动轴在螺纹杆的内部上下移动，同时滑槽在滑块的外壁上滑动，通过其导向迫使第三转动轴发生转动，第三转动轴的转动带动第一锥形齿轮的转动，第一锥形齿轮的转动带动第二锥形齿轮的转动，第二锥形齿轮的转动带动第一转动轴的转动，第一转动轴的转动带动第一转动板和第一滤板的转动，使移动轴在带动第一转动板和第一滤板上下移动时，第一转动板和第一滤板同时发生转动，进一步提高对冷却液的搅动效果，从而提高冷却背板的散热效果。
21、3、本专利技术通过导流板的设置，当冷却液从进水管排入背板主体内时，通过导流板导流使其向中间与两侧分布，使冷却液流动分布的范围更广，便于覆盖背板主体内部的整个腔室，从而增强冷却效果。
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1.一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，包括背板主体(1)，其特征在于：所述背板主体(1)的两侧分别固定安装有进水管(2)和出水管(3)，所述背板主体(1)的内部设置有扰流组件；
2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述第一转动轴(5)的外壁固定安装有第一滤板(13)。
3.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述转动组件包括安装在移动轴(4)内部的第三转动轴(17)，所述第三转动轴(17)的底端嵌入在螺纹杆(7)的内部，所述螺纹杆(7)的内部固定安装有滑块(21)，所述滑块(21)滑动安装在滑槽(20)的内部，所述滑槽(20)开设在第三转动轴(17)的外壁，所述第三转动轴(17)的顶端固定安装有第一锥形齿轮(18)，所述第一锥形齿轮(18)的顶端啮合连接有第二锥形齿轮(19)，所述第二锥形齿轮(19)固定安装在第一转动轴(5)的一端。
4.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述移动轴(4)的外壁安装有套环(14)，所述套环(14)的外壁固定连
5.根据权利要求4所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述套环(14)和移动轴(4)转动连接。
6.根据权利要求4所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述套环(14)的外壁固定安装有第二滤板(16)。
7.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述背板主体(1)的内部设置有导流板(22)，所述导流板(22)设置在进水管(2)的一侧，所述导流板(22)对称设置有两个。
8.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述链条(9)的内壁啮合连接有第四齿轮(27)，所述第四齿轮(27)的内部固定安装有第四转动轴(26)，所述第四转动轴(26)的外壁固定安装有第三齿轮(25)，所述第三齿轮(25)的一侧啮合连接有齿条板(24)，所述齿条板(24)的顶端固定安装有连接板(23)，所述连接板(23)固定安装在导流板(22)的底端。
9.根据权利要求8所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述连接板(23)滑动安装在背板主体(1)的内部，所述连接板(23)的一侧安装有弹簧(28)。
10.一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板的加工方法，该方法适用于上述权利要求1-9所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，包括背板主体(1)，其特征在于：所述背板主体(1)的两侧分别固定安装有进水管(2)和出水管(3)，所述背板主体(1)的内部设置有扰流组件；
2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述第一转动轴(5)的外壁固定安装有第一滤板(13)。
3.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述转动组件包括安装在移动轴(4)内部的第三转动轴(17)，所述第三转动轴(17)的底端嵌入在螺纹杆(7)的内部，所述螺纹杆(7)的内部固定安装有滑块(21)，所述滑块(21)滑动安装在滑槽(20)的内部，所述滑槽(20)开设在第三转动轴(17)的外壁，所述第三转动轴(17)的顶端固定安装有第一锥形齿轮(18)，所述第一锥形齿轮(18)的顶端啮合连接有第二锥形齿轮(19)，所述第二锥形齿轮(19)固定安装在第一转动轴(5)的一端。
4.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在于：所述移动轴(4)的外壁安装有套环(14)，所述套环(14)的外壁固定连接有第二转动板(15)，所述第二转动板(15)设置有多个。
5.根据权利要求4所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的冷却背板，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙仁杰，
申请(专利权)人：苏州康普雷森精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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